一种采用电火花切割技术快速切割CdS单晶体的方法与流程

文档序号:12372058阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种采用电火花切割技术快速切割CdS单晶体的方法,其特征在于:步骤如下,

第一步,用高温蜡(3)将CdS晶锭(1)的剥离面(1-1)粘贴在一个总厚度变化小于5 μm的铸铁托(2)上,用平面磨床将CdS晶锭(1)的生长面(1-2)磨平;

第二步,用X射线衍射仪对磨平的端面进行定向,根据晶向偏离(0001)的偏移量进行调整,对生长面(1-2)再次进行平面磨,直到该端面偏离正晶向的角度小于0.5°;

第三步,将CdS晶锭(1)从铸铁托(2)上取下,用高温蜡(3)将已磨平的生长面(1-2)贴在铸铁托(2)上,用平面磨床将晶锭的剥离面(1-1)磨平,然后将铸铁块(2)装卡到滚圆磨床的样品台上,先对CdS晶锭(1)进行滚圆,然后进行主参考面(1-3)和副参考面(1-4)制作;

第四步,滚圆和参考面制作完成之后,将CdS晶锭(1)从铸铁块(2)上取下,用酒精将CdS晶锭(1)擦洗干净,然后用真空吸附台(4-2)将CdS晶锭(1)吸附住,晶锭的主参考面(1-3)朝下,主参考面(1-3)与卡具(4-1)水平面留有一定间隙,可以放下一个石墨条(6),在石墨条(6)上涂覆上一层厚度约为5mm的固体胶(5),将石墨条(6)放到该间隙中,使CdS晶锭(1)主参考面(1-3)与固体胶(5)接触,固定台子侧面的螺丝,使石墨条(6)固定,静置使固体胶(5)凝固,CdS晶锭(1)就粘贴在石墨条(6)上,这样切割后的晶片会靠胶的作用不会脱离石墨条(6),可以防止切完的晶片掉落,或者发生倾斜与其他晶片发生磕碰而出现碎片事故;调整电火花切割机(4)切割参数,对晶锭进行切割,脉冲宽度为15-20,脉间倍数为6-10,功放为4-6,进给速度为0.8-2.8 mm/min;

第五步,切割完成后,依次采用煤油浸泡、热酒精对切割后的晶片进行冲洗,然后将切割卡具(4-1)放在温度为80℃的热水中,使胶软化,将晶片取下,进行下一步操作。

2.根据权利要求1所述的一种采用电火花切割技术快速切割CdS单晶体的方法,其特征在于:所述真空吸附台(4-2)为圆状体,在真空吸附台(4-2)一端面上,设有四个固定孔(4-2-1),在四个固定孔(4-2-1)之间的台面上设有十字槽(4-2-2),十字槽(4-2-2)交叉中心点为吸附气孔(4-2-3),沿吸附气孔(4-2-3)向外的十字槽(4-2-2)上,间隔设有两道圆形刻槽(4-2-4),十字槽(4-2-2)与两道圆形刻槽(4-2-4)相通。

3.根据权利要求1所述的一种采用电火花切割技术快速切割CdS单晶体的方法,其特征在于:所示真空吸附台(4-2)的材质为有机玻璃。

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