一种可防止硅片震碎的硅片带锯机的制作方法

文档序号:12754145阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可防止硅片震碎的硅片带锯机,包括机体(1)、从动锯轮(2)、带锯(3)、下部进给轮支架(4)、下部进给轮(5)、上部进给轮支架(6)、上部进给轮(7)、从动带轮(8)、传动带(9)、主动带轮(10)、主动锯轮(11)、电机(12);其特征在于:上部进给轮(7)与上部进给轮支架(6)连接,下部进给轮(5)与下部进给轮支架(4)连接,上部进给轮支架(6)与下部进给轮支架(4)均与机体(1)固定连接,机体(1)与电机(12)固定连接,电机(12)与主动带轮(10)同轴连接,主动带轮(10)通过传动带(9)与从动带轮(8)连接,从动带轮(8)与主动锯轮(11)同轴连接,主动锯轮(11)通过带锯(3)与从动锯轮(2)连接。

2.根据权利要求1所述的一种可防止硅片震碎的硅片带锯机,其特征在于:下部进给轮(5)与上部进给轮(7)均采用硅胶材质。

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