一种防止硅片受热变形的硅片倒角机的制作方法

文档序号:12754148阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种防止硅片受热变形的硅片倒角机,包括机体(1)、第一电机(2)、蜗杆(3)、蜗轮(4)、传动轴(5)、固定块(6)、第二电机(7)、主动带轮(8)、冷却液箱(9)、管道(10)、传动带(11)、从动带轮(12)、倒角刀(13);其特征在于:机体(1)与第一电机(2)固定连接,第一电机(2)与蜗杆(3)同轴连接,蜗杆(3)与蜗轮(4)啮合连接,蜗轮(4)通过传动轴(5)与固定块(6)固定连接,第二电机(7)与主动带轮(8)同轴连接,主动带轮(8)通过传动带(11)与从动带轮(12)连接,从动带轮(12)与倒角刀(13)固定连接,冷却液箱(9)与管道(10)连通。

2.根据权利要求1所述的一种防止硅片受热变形的硅片倒角机,其特征在于:倒角刀(13)内部设有导流管(14)。

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