本实用新型涉及硅片倒角设备技术领域，尤其是一种防止硅片受热变形的硅片倒角机。
背景技术：
当前，企业在对硅片进行倒角时由于摩擦产生大量的热，使硅片温度升高，当温度超过临界值时会导致硅片变形与组织变性，降低硅片的力学性能，存在不足。
技术实现要素：
本实用新型的目的是提供一种防止硅片受热变形的硅片倒角机，为克服上述的不足，采用对硅片进行冷却的方式，避免硅片受热变形，提高硅片的质量。
本实用新型的技术方案：
一种防止硅片受热变形的硅片倒角机，包括机体、第一电机、蜗杆、蜗轮、传动轴、固定块、第二电机、主动带轮、冷却液箱、管道、传动带、从动带轮、倒角刀；其中：机体与第一电机固定连接，第一电机与蜗杆同轴连接，蜗杆与蜗轮啮合连接，蜗轮通过传动轴与固定块固定连接，第二电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与倒角刀固定连接，冷却液箱与管道连通。
一种防止硅片受热变形的硅片倒角机，其中：倒角刀内部设有导流管。
本实用新型的优点在于：本装置采用对硅片进行冷却的方式，避免硅片受热变形，提高硅片的质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意简图。
附图标记：机体1、第一电机2、蜗杆3、蜗轮4、传动轴5、固定块6、第二电机7、主动带轮8、冷却液箱9、管道10、传动带11、从动带轮12、倒角刀13、导流管14。
具体实施方式
实施例1、一种防止硅片受热变形的硅片倒角机，包括机体1、第一电机2、蜗杆3、蜗轮4、传动轴5、固定块6、第二电机7、主动带轮8、冷却液箱9、管道10、传动带11、从动带轮12、倒角刀13；其中：机体1与第一电机2固定连接，第一电机2与蜗杆3同轴连接，蜗杆3与蜗轮4啮合连接，蜗轮4通过传动轴5与固定块6固定连接，第二电机7与主动带轮8同轴连接，主动带轮8通过传动带11与从动带轮12连接，从动带轮12与倒角刀13固定连接，冷却液箱9与管道10连通。
实施例2、一种防止硅片受热变形的硅片倒角机，其中：倒角刀13内部设有导流管14，通过冷却液对硅片进行冷却，避免硅片受热变形，提高硅片的质量。其余同实施例1。
工作原理：
将待加工的硅片放置于固定块6之上并固定，启动第一电机2，第一电机2带动蜗杆3旋转，蜗杆3带动蜗轮4旋转，蜗轮4通过传动轴5带动固定块6旋转，第二电机7带动主动带轮8旋转，主动带轮8通过传动带11带动从动带轮12旋转，从动带轮12带动倒角刀13旋转，进而对硅片进行倒角加工，同时，冷却液由冷却液箱9中流出，经过管道10与导流管14流向硅片表面，对硅片倒角部位进行冷却，降低温度，防止硅片由于温度过高导致力学性能与内部组织转变，动作结束。