技术总结
本实用新型涉及一种防止硅片受热变形的硅片倒角机。当前，企业在对硅片进行倒角时由于摩擦产生大量的热，使硅片温度升高，当温度超过临界值时会导致硅片变形与组织变性，降低硅片的力学性能，存在不足。本实用新型涉及一种防止硅片受热变形的硅片倒角机，其中：机体与第一电机固定连接，第一电机与蜗杆同轴连接，蜗杆与蜗轮啮合连接，蜗轮通过传动轴与固定块固定连接，第二电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与倒角刀固定连接，冷却液箱与管道连通。本装置采用对硅片进行冷却的方式，避免硅片受热变形，提高硅片的质量。
技术研发人员：支秉旭
受保护的技术使用者：江西大杰新能源技术有限公司
文档号码：201620669583
技术研发日：2016.06.30
技术公布日：2017.01.25