一种硅片切割机用喷水装置的制作方法

文档序号:14225565阅读:836来源:国知局
一种硅片切割机用喷水装置的制作方法

本实用新型涉及硅片切割机应用技术领域,尤其涉及一种硅片切割机用喷水装置。



背景技术:

硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片,直径有6英寸、8英寸、12英寸等规格,主要用来生产集成电路,硅片只是原料,而芯片则是成品,由硅片制成的芯片是有名的“神算子”,主要应用于微电子行业,特别是当今急速发展的电子行业,其需求量更大,高速发展的电子行业带动了硅片产业的发展,在硅片生产成芯片之前,需要对硅片进行切割,而切割就会用到专业的硅片切割机。

目前,市场上用来切割硅片的切割机是用一种特制的金刚线带水切割,其中加水可以对金刚线起到冷却的作用,避免金刚线与硅片之间摩擦产生大量热量而是金刚线断裂,而这种切割方式对水质的要求要很高,特别是水中不能含有固体小颗粒,因此在喷水之前需要对水进行过滤处理,而过滤机构一般安装在喷水装置的内部,因此长时间过滤容易导致过滤机构堵塞,而且不方便对其内部进行清洗,由此需要更换整个装置,这就带来了经济损失,为此我们提出了一种硅片切割机用喷水装置来解决以上问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种硅片切割机用喷水装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种硅片切割机用喷水装置,包括通水管,所述通水管的内部安装有过滤网,所述过滤网的一侧表面垂直安装有多组挡板,且多组挡板之间形成多个空格,所述过滤网远离挡板的一侧安装有与通水管连接的喷头,所述喷头的内部安装有推杆电机,且推杆电机通过支架与喷头的内壁连接,所述推杆电机的输出轴安装有活塞,所述通水管的一侧外壁焊接有第一水管,所述第一水管靠近通水管的一侧安装有多组喷嘴,所述通水管远离第一水管的一侧外壁开设有滑槽,所述滑槽内滑动安装有两组滑块,两组所述滑块伸出滑槽的一端连接有第二水管,所述第二水管远离通水管的一侧安装有移动装置,所述移动装置远离第二水管的一端安装有轨道,所述轨道的外部套接有与通水管连接的固定壳体。

优选的,所述移动装置包括驱动电机、移动轮和安装板,所述驱动电机的输出轴连接移动轮的转动轴,所述移动轮活动安装在轨道内,所述安装板与第二水管连接。

优选的,所述通水管靠近第二水管的一侧壳壁上开设有多组通孔,多组所述通孔与空格保持一致,多组所述喷嘴远离第一水管的一端伸入通水管内,且多组喷嘴与空格保持一致。

优选的,所述通水管靠近第一水管的一侧连通有进水管的一端,所述进水管的另一端与第一水管连通。

优选的,所述第二水管的两端连接有出水管,且出水管伸出固定壳体内。

优选的,所述第二水管靠近通水管的一侧开设有进水孔,且进水孔与通孔相对应,所述第二水管与通水管之间安装有密封垫。

优选的,所述第一水管和第二水管均为弧形结构。

与现有的技术相比,本实用新型的有益效果是:通过安装水管、移动装置、滑轨、喷嘴、推杆电机、活塞、挡板和过滤网等结构,其中移动装置可以带动水管滑动,推杆电机推动活塞将喷水口堵住,水会有水管进入喷嘴,再从喷嘴中将水喷出对隔板之间的空格进行冲洗,该装置结构简单,设计新颖,可以对其内部的过滤网进行清洗,减少了杂质的堆积,提高了过滤网的使用寿命,从而不用更换喷水装置,减少了经济损失,同时避免了杂质对金刚线的影响而使金刚线断裂。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种硅片切割机用喷水装置的正视结构示意图;

图2为本实用新型提出的一种硅片切割机用喷水装置的侧视结构示意图;

图3为本实用新型提出的一种硅片切割机用喷水装置的过滤网和隔板的侧视结构示意图。

图中:1通水管、2过滤网、3挡板、4喷头、5推杆电机、6活塞、7第一水管、8喷嘴、9固定壳体、10轨道、11移动装置、12第二水管、13通孔、14进水管、15滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

参照图1-3,一种硅片切割机用喷水装置,包括通水管1,通水管1的内部安装有过滤网2,过滤网2的一侧表面垂直安装有多组挡板3,且多组挡板3之间形成多个空格,过滤网2远离挡板3的一侧安装有与通水管1连接的喷头4,喷头4的内部安装有推杆电机5,且推杆电机5通过支架与喷头4的内壁连接,推杆电机5的输出轴安装有活塞6,通水管1的一侧外壁焊接有第一水管7,第一水管7靠近通水管1的一侧安装有多组喷嘴8,通水管1远离第一水管7的一侧外壁开设有滑槽15,滑槽15内滑动安装有两组滑块,两组滑块伸出滑槽15的一端连接有第二水管12,第二水管12远离通水管1的一侧安装有移动装置11,移动装置11远离第二水管12的一端安装有轨道10,轨道10的外部套接有与通水管1连接的固定壳体9。

移动装置11包括驱动电机、移动轮和安装板,驱动电机的输出轴连接移动轮的转动轴,移动轮活动安装在轨道10内,安装板与第二水管12连接,通水管1靠近第二水管12的一侧壳壁上开设有多组通孔13,多组通孔13与空格保持一致,多组喷嘴8远离第一水管7的一端伸入通水管1内,且多组喷嘴8与空格保持一致,通水管1靠近第一水管7的一侧连通有进水管14的一端,进水管14的另一端与第一水管7连通,第二水管12的两端连接有出水管,且出水管伸出固定壳体9内,第二水管12靠近通水管1的一侧开设有进水孔,且进水孔与通孔13相对应,第二水管12与通水管1之间安装有密封垫,第一水管7和第二水管12均为弧形结构。

本实施例中,工作使,水由通水管1进入喷头4内,从喷头4的出水口出去,同时,第二水管12上的进水孔与通孔13不连通,而对过滤网2进行清洗时,则启动推杆电机5和移动装置11,推杆电机5推动活塞6将喷头4的出水口堵住,移动装置11带动第二水管12沿滑槽15滑动,使第二水管12上的进水孔与通孔13连通,水则会进入进水管14内,再从进水管14进入第一水管7内,最后再从第一水管7上的喷嘴8处喷出,因此水会对隔板3之间的空格进行冲洗,从而将各个空格之间的过滤网2上的杂质冲走,废水再从通孔13进入第二水管12中,再从第二水管12两端的出水管流走,从而完成对过滤网2的清洗。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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