一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具的制作方法

文档序号:14911802发布日期:2018-07-10 23:37阅读:114来源:国知局

本实用新型涉及一种冷等静压模具,特别涉及一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具。



背景技术:

氧化铟锡靶材是磁控溅射镀制氧化铟锡薄膜溅射源,是氧化铟锡薄膜的原材料。氧化铟锡薄膜是一种透明导电薄膜,主要用于制作透明电极,广泛应用于平面显示器、触摸屏等领域。目前应用较多的是平面的氧化铟锡靶材,平面氧化铟锡靶材利用率低,在35%以下。旋转氧化铟锡靶材是管状的,由于利用率高,在70%以上,已经开始在触摸屏、彩色滤光片用氧化铟锡薄膜产品中广泛应用。

氧化铟锡旋转靶材通常采用冷等静压成型,然后对粗坯进行修坯后,竖直放入烧结炉中烧结。有一种新的烧结方式是将冷等静压成型后的坯体躺着放置于炉中,这样可以避免在烧结长径比大的旋转靶材时,发生倾倒。但是目前未见有能够成型长径比大的旋转靶材素坯的模具,故需要研发一种能够成型长径比大的旋转靶材素坯的模具,用于成型躺烧的旋转靶材素坯。



技术实现要素:

本实用新型要解决的主要技术问题是:提供一种用于成型长径比大的旋转靶材素坯的椭圆形旋转靶材冷等静压模具,该模具结构简单,可以用于成型躺烧的旋转靶材素坯,成型的素坯形状良好,无需修坯,可直接烧结,解决了上述现有技术中存在问题。

解决上述技术问题的技术方案是:一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具,包括下端盖、椭圆芯杆、柔性胶套、定形套和上端盖,所述的定形套是由椭圆环形塑料板、丝杆和螺母构成,所述的椭圆芯杆位于柔性胶套内,椭圆芯杆和柔性胶套的底端套装在下端盖上,椭圆芯杆和柔性胶套的顶端套装在上端盖上,所述的椭圆环形塑料板设置有数个,分别套装在柔性胶套外侧面上,数个椭圆环形塑料板通过丝杆连接并通过螺母定位,丝杆的下端和上端分别安装在下端盖和上端盖上。

所述的下端盖和上端盖上分别设置有用于安装椭圆芯杆和柔性胶套的椭圆环形凸起。

所述的下端盖上还设置有丝杆插槽,上端盖上还设置有丝杆穿入通孔;丝杆的下端插入下端盖的丝杆插槽内,丝杆的上端穿入上端盖的丝杆穿入通孔。

所述的丝杆设置有2~8根。

本实用新型是一种能够成型长径比大的旋转靶材素坯的模具,可用于成型躺烧的旋转靶材素坯,可成型出截面为椭圆形的大型陶瓷管坯体。该模具主要由2个椭圆形的端盖、1根椭圆形的芯杆、1个柔性管状胶套、1个定形套构成,其中定形套由丝杆、螺母和椭圆环形塑料板组成,该模具结构简单,采用该模具成型的素坯形状良好,后期不需要进行修坯,可直接烧结。

下面,结合附图和实施例对本实用新型之一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具的技术特征作进一步的说明。

附图说明

图1:本实用新型之一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具立体图。

图2:本实用新型之下端盖立体图。

图3:本实用新型之下端盖与椭圆芯杆连接立体图。

图4:本实用新型之下端盖、椭圆芯杆与柔性胶套连接立体图。

图5:本实用新型之下端盖、椭圆芯杆、柔性胶套与定形套连接立体图。

图中:1-下端盖,11-丝杆插槽,2-椭圆芯杆,3-柔性胶套,4-椭圆环形塑料板,5-丝杆,6-螺母,7-上端盖,8-椭圆环形凸起。

具体实施方式

实施例1:一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具,如图1-图5所示,包括下端盖1、椭圆芯杆2、柔性胶套3、定形套和上端盖7,所述的定形套是由椭圆环形塑料板4、丝杆5和螺母6构成,所述的椭圆芯杆2位于柔性胶套3内,椭圆芯杆和柔性胶套的底端套装在下端盖1上,椭圆芯杆和柔性胶套的顶端套装在上端盖7上,所述的椭圆环形塑料板4设置有数个,分别均布套装在柔性胶套3外侧面上,数个椭圆环形塑料板通过丝杆5连接并通过螺母6定位,丝杆5的下端和上端分别安装在下端盖和上端盖上,即所述的下端盖1上还设置有丝杆插槽11,上端盖7上还设置有丝杆穿入通孔;丝杆5的下端插入下端盖的丝杆插槽11内,丝杆的上端穿入上端盖7的丝杆穿入通孔。

本实施例中,所述的下端盖和上端盖上分别设置有用于安装椭圆芯杆2和柔性胶套3的椭圆环形凸起8,椭圆芯杆2套装在椭圆环形凸起8的内圆内,柔性胶套3套装在椭圆环形凸起8的外圆上。作为一种变换,所述的下端盖和上端盖还可以采用其他结构安装椭圆芯杆2和柔性胶套3。

本实施例中,所述的丝杆5设置有4根,椭圆环形塑料板4设置有9个。作为一种变换,所述的丝杆和椭圆环形塑料板的数量可以根据实际需要确定,丝杆一般为2~8根,椭圆环形塑料板一般为4~20个。

本实用新型模具的组装顺序和使用方法:将下端盖1放置在操作台上,将椭圆芯杆2插入下端盖的中心槽(即椭圆环形凸起8的内圆),然后将柔性胶套3套到下端盖椭圆环形凸起8的外圆上,形成模腔。将椭圆环形塑料板4、丝杆5、螺母6组装成的定形套安装到柔性胶套3上,4个丝杆插入下端盖对应的4个丝杆插槽11中;这样就可以向模腔中装入成型用粉体。装好粉体后,将上端盖7与椭圆芯杆和柔性胶套配合装好,定形套上面的4根丝杆插入上端盖对应的丝杆穿入通孔中,即完成模具的组装和粉体的封装;密封好后就可以放入冷等静压机中进行压制。

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