一种硅片切割机绕线装置的制作方法

本实用新型涉及硅片切割技术领域，具体为一种硅片切割机绕线装置。

背景技术：

目前，随着全球各国绿色能源的推广和近年来半导体产业的超常规发展，硅片市场的供需已极度不平衡，切割加工能力的落后和产能的严重不足已构成了产业链的瓶颈。作为硅片(晶圆)上游生产的关键技术，近年来崛起的新型硅片多丝切割技术具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。

多丝切割是将多股切割钢丝绕在三个绕线筒上，然后由其驱动切割钢丝转动，之后对硅锭进行切割，在切割过程中，不仅会对切割钢丝造成磨损，同时还会对绕线筒造成磨损，影响绕线装置的使用寿命。因此，我们提出一种硅片切割机绕线装置。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种硅片切割机绕线装置，通过在绕线筒外圈设置橡胶槽，并使橡胶槽内通过软磁铁固定有橡胶垫，使橡胶垫表面开设有固定切割钢丝的线槽，切割时橡胶垫能够减少绕线筒和切割钢丝之间的磨损且能够方便更换橡胶垫，软磁铁的卡块与卡槽啮合能够避免橡胶垫在橡胶槽内滑动，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片切割机绕线装置，包括绕线筒和橡胶槽，所述橡胶槽为多个，且多个橡胶槽均匀的开设在绕线筒的外圈表面；

所述橡胶槽内环绕固定有软磁铁，且软磁铁的外圈表面环绕固定有橡胶垫，且橡胶垫的中部表面环绕开设有线槽，所述绕线筒的橡胶槽内部表面开设有卡槽，且软磁铁的内侧设置有卡块，卡块和卡槽均为多个，且卡块置于卡槽内。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述绕线筒的两端均连接有转杆，且转杆与绕线筒传动连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述软磁铁和橡胶垫的宽度与橡胶槽的内部宽度相等。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述橡胶垫通过贴合的方式固定在软磁铁的表面。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述绕线筒为铁合金制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型的硅片切割机绕线装置，通过在绕线筒外圈设置橡胶槽，并使橡胶槽内通过软磁铁固定有橡胶垫，使橡胶垫表面开设有固定切割钢丝的线槽，切割时橡胶垫能够减少绕线筒和切割钢丝之间的磨损且能够方便更换橡胶垫，软磁铁的卡块与卡槽啮合能够避免橡胶垫在橡胶槽内滑动。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型硅片切割机绕线装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型硅片切割机绕线装置的橡胶槽处截面结构示意图；

图3为本实用新型硅片切割机绕线装置的软磁铁固定结构示意图。

图中：1、绕线筒；2、转杆；3、橡胶槽；4、橡胶垫；5、软磁铁；6、线槽；7、卡块；8、卡槽。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置；本实用新型中提供的用电器的型号仅供参考。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据实际使用情况更换功能相同的不同型号用电器，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片切割机绕线装置，包括绕线筒1和橡胶槽3，所述橡胶槽3为多个，且多个橡胶槽3均匀的开设在绕线筒1的外圈表面；

所述橡胶槽3内环绕固定有软磁铁5，且软磁铁5的外圈表面环绕固定有橡胶垫4，且橡胶垫4的中部表面环绕开设有线槽6，所述绕线筒1的橡胶槽3内部表面开设有卡槽8，且软磁铁5的内侧设置有卡块7，卡块7和卡槽8均为多个，且卡块7置于卡槽8内。

本实施例中(请参阅图1、图2和图3)通过在绕线筒1外圈设置橡胶槽3，并使橡胶槽3内通过软磁铁5固定有橡胶垫4，使橡胶垫4表面开设有固定切割钢丝的线槽6，切割时橡胶垫4能够减少绕线筒1和切割钢丝之间的磨损且能够方便更换橡胶垫4，软磁铁5的卡块7与卡槽8啮合能够避免橡胶垫4在橡胶槽3内滑动。

其中，所述绕线筒1的两端均连接有转杆2，且转杆2与绕线筒1传动连接。

本实施例中(请参阅图1)通过转杆2可以由驱动设备带动绕线筒1转动。

其中，所述软磁铁5和橡胶垫4的宽度与橡胶槽3的内部宽度相等。

其中，所述橡胶垫4通过贴合的方式固定在软磁铁5的表面。

其中，所述绕线筒1为铁合金制成。

本实施例中(请参阅图1)通过使绕线筒1为铁合金制成，能够具有磁性而被软磁铁5吸附。

需要说明的是，本实用新型为一种硅片切割机绕线装置，包括绕线筒1、转杆2、橡胶槽3、橡胶垫4、软磁铁5、线槽6、卡块7、卡槽8，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本领域技术人员可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，工作时，使绕线筒1被固定在多丝切割装置上，然后使软磁铁5带着橡胶垫4环绕贴合固定在橡胶槽3内，并且使软磁铁5的卡块7与卡槽8啮合固定，保证橡胶垫4不会在橡胶槽3内滑动，然后使切割钢丝被绕在橡胶垫4的线槽6内，在机器带动绕线筒1转动对硅锭进行切割时，橡胶垫4能够减小切割钢丝和绕线筒1之间的磨损，在更换切割钢丝和橡胶垫4时，可以方便的直接将橡胶垫4从橡胶槽3内拨出。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：

1.一种硅片切割机绕线装置，包括绕线筒(1)和橡胶槽(3)，其特征在于：所述橡胶槽(3)为多个，且多个橡胶槽(3)均匀的开设在绕线筒(1)的外圈表面；

所述橡胶槽(3)内环绕固定有软磁铁(5)，且软磁铁(5)的外圈表面环绕固定有橡胶垫(4)，且橡胶垫(4)的中部表面环绕开设有线槽(6)，所述绕线筒(1)的橡胶槽(3)内部表面开设有卡槽(8)，且软磁铁(5)的内侧设置有卡块(7)，卡块(7)和卡槽(8)均为多个，且卡块(7)置于卡槽(8)内。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机绕线装置，其特征在于：所述绕线筒(1)的两端均连接有转杆(2)，且转杆(2)与绕线筒(1)传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机绕线装置，其特征在于：所述软磁铁(5)和橡胶垫(4)的宽度与橡胶槽(3)的内部宽度相等。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割机绕线装置，其特征在于：所述橡胶垫(4)通过贴合的方式固定在软磁铁(5)的表面。

5.根据权利要求1所述的一种硅片切割机绕线装置，其特征在于：所述绕线筒(1)为铁合金制成。

技术总结
本实用新型公开了一种硅片切割机绕线装置，包括绕线筒和橡胶槽，所述橡胶槽为多个，且多个橡胶槽均匀的开设在绕线筒的外圈表面，所述橡胶槽内环绕固定有软磁铁，且软磁铁的外圈表面环绕固定有橡胶垫，且橡胶垫的中部表面环绕开设有线槽，所述绕线筒的橡胶槽内部表面开设有卡槽，且软磁铁的内侧设置有卡块，卡块和卡槽均为多个，且卡块置于卡槽内。本实用新型通过在绕线筒外圈设置橡胶槽，并使橡胶槽内通过软磁铁固定有橡胶垫，使橡胶垫表面开设有固定切割钢丝的线槽，切割时橡胶垫能够减少绕线筒和切割钢丝之间的磨损且能够方便更换橡胶垫，软磁铁的卡块与卡槽啮合能够避免橡胶垫在橡胶槽内滑动。

技术研发人员：张银鹏;周锋;龚蓉;陈伟;张海龙;何俊
受保护的技术使用者：宇泽(江西)半导体有限公司
技术研发日：2020.04.17
技术公布日：2020.11.24