线切割工艺中用的脱胶槽的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及单晶硅行业技术领域，特别是线切割工艺中用的脱胶槽。
【背景技术】
[0002]现有的脱胶槽，包括一级脱胶室和二级脱胶室，在脱胶室内盛有酸性溶液，温度需要控制在54摄氏度，单晶硅需要先在一级脱胶室内进行第一次脱胶，再在二级脱胶室内进行第二次脱胶，但是将单晶硅从一级脱胶室拿出到二级脱胶室内时，会将一级脱胶室内的酸液带入一部分到二级脱胶室内，多次操作后会使一级脱胶室内的酸液减少和二级脱胶室内增多，从而需要对一级脱胶室进行加液操作并对二级脱胶室进行排液操作，造成不必要的浪费，并且一级脱胶室和二级脱胶室内酸液为不流通的“死水”状态，长时间静置后会出现酸液与水的分层现象，导致脱胶的效果下降。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的不足，本实用新型设计了线切割工艺中用的脱胶槽，将一级脱胶室和二级脱胶室相连通，使酸液循环流通，避免酸液的浪费和脱胶室内分层现象的发生。
[0004]本实用新型采用的技术方案是，线切割工艺中用的脱胶槽，包括一级脱胶室和二级脱胶室，所述的一级脱胶室和二级脱胶室并排设置，所述的一级脱胶室和二级脱胶室的顶端都设置有密封盖，关键是:所述的一级脱胶室和二级脱胶室借助连通管相连通，所述的连通管包括第一连通管和第二连通管，所述的第二连通管上固定有循环泵。
[0005]所述的一级脱胶室内设置有加热棒。
[0006]所述的二级脱胶室内设置有加热棒。
[0007]所述的第一连通管与第二连通管上下对称设置。
[0008]所述的第一连通管与第二连通管并排设置。
[0009]本实用新型的有益效果是，将一级脱胶室和二级脱胶室相连通，并在循环泵的作用下使两个脱胶室内的酸液循环流通，避免硅棒从一级脱胶室拿到二级脱胶室后酸液容量改变，和脱胶室静置发生分层现象的发生。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
[0011]附图中，I是一级脱胶室，2是二级脱胶室，3是密封盖，4是第一连通管，5是第二连通管，6是循环泵，7是加热棒。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
[0013]具体实施例，如图1所示，线切割工艺中用的脱胶槽，包括一级脱胶室I和二级脱胶室2，所述的一级脱胶室I和二级脱胶室2并排设置，为了避免脱胶室内酸液的挥发，所述的一级脱胶室I和二级脱胶室2的顶端都设置有密封盖3，为了避免硅棒从一级脱胶室拿到二级脱胶室后酸液容量发生改变，该装置设计为所述的一级脱胶室I和二级脱胶室2借助连通管相连通，所述的连通管包括第一连通管4和第二连通管5，由于脱胶室内温度需要控制在54摄氏度，当温度降低时，一级脱胶室I内设置有加热棒7，二级脱胶室2内设置有加热棒7，通过加热棒7和控制开关来控制温度，所述的第一连通管4与第二连通管5上下对称设置，或者所述的第一连通管4与第二连通管5并排设置，所述的第二连通管5上固定有循环泵6，循环泵6为一级脱胶室I和二级脱胶室2内的酸液循环流通提供动力。该装置将一级脱胶室和二级脱胶室相连通，并在循环泵的作用下使两个脱胶室内的酸液循环流通，避免硅棒从一级脱胶室拿到二级脱胶室后酸液容量改变，和脱胶室静置发生分层现象的发生。
【主权项】
1.线切割工艺中用的脱胶槽，包括一级脱胶室(I)和二级脱胶室(2)，所述的一级脱胶室(I)和二级脱胶室(2)并排设置，所述的一级脱胶室(I)和二级脱胶室(2)的顶端都设置有密封盖(3)，其特征在于:所述的一级脱胶室(I)和二级脱胶室(2)借助连通管相连通，所述的连通管包括第一连通管(4)和第二连通管(5)，所述的第二连通管(5)上固定有循环泵出)。
2.根据权利要求1所述的线切割工艺中用的脱胶槽，其特征在于:所述的一级脱胶室(1)内设置有加热棒(X)。
3.根据权利要求1所述的线切割工艺中用的脱胶槽，其特征在于:所述的二级脱胶室(2)内设置有加热棒(7)。
4.根据权利要求1所述的线切割工艺中用的脱胶槽，其特征在于:所述的第一连通管(4)与第二连通管(5)上下对称设置。
5.根据权利要求1所述的线切割工艺中用的脱胶槽，其特征在于:所述的第一连通管(4)与第二连通管(5)并排设置。
【专利摘要】线切割工艺中用的脱胶槽，包括一级脱胶室和二级脱胶室，所述的一级脱胶室和二级脱胶室并排设置，所述的一级脱胶室和二级脱胶室的顶端都设置有密封盖，关键是：所述的一级脱胶室和二级脱胶室借助连通管相连通，所述的连通管包括第一连通管和第二连通管，所述的第二连通管上固定有循环泵。本实用新型涉及单晶硅行业技术领域，特别是线切割工艺中用的脱胶槽。本实用新型的有益效果是，将一级脱胶室和二级脱胶室相连通，并在循环泵的作用下使两个脱胶室内的酸液循环流通，避免硅棒从一级脱胶室拿到二级脱胶室后酸液容量改变，和脱胶室静置发生分层现象的发生。
【IPC分类】B28D5-04
【公开号】CN204566419
【申请号】CN201520164307
【发明人】王聪, 陈世杰, 李世杰, 朱琛浩, 李其甲, 田会藏
【申请人】宁晋赛美港龙电子材料有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年3月23日