本实用新型涉及机械传动技术领域，尤其涉及一种真空转换室密封设备和带真空转换室的设备。
背景技术：
在半导体或电子电路当中，通常需要置于真空条件中实现，一般会在设备中设置一个用于放置待处理元器件、组件或装置的真空转换室，该真空转换室设置有一个门板，当打开该门板时可以放置或从中取出待处理的元器件、组件或装置，而此时该真空转换室为大气状态，并非为真空状态，那么为了使其变为真空状态，则需要将门板关闭并使该真空转换室处于密闭的状态，进而真空转换室设置的抽气机构，在接收到相关指令后执行抽气操作，使得真空转换室内的环境为真空。
如图1所示，发明人在使用用于开启或关闭真空转换室的真空转换室密封设备时发现，该装置包括设置有顶板111的门板110、上下气缸120、至少两个夹紧气缸130、导轴140和导向槽150；其中，上下气缸120包括浮动支撑柱121、第一导气管122、第二导气管123和气压缸124；导轴140和导向槽150分别设置一组在门板110的两侧。
以下将结合上述装置的结构图描述当关闭真空转换室时上述装置的工作原理：
第一步：外部的CDA充气设备通过上下气缸120的第一导气管122将空气导入气压缸124中以向上推动门板110向上移动，同时浮动支撑柱121也往上支撑顶板111，由于门板110的两侧与导向槽150连接，因而在向上推动门板110的过程中门板110和导向槽150沿着导轴140向上平移至门板110正对真空转换室的窗口的位置；
第二步：外部的CDA充气设备通过上下气缸120的第二导气管123将空气导进夹紧气缸130中，夹紧气缸130为泄漏型的夹紧气缸，此时，夹紧气缸130内的气压使得门板110往前推动，门板110贴合真空转换室的窗口。
但是上述技术方案存在以下缺点：
1、长时间的使用，气压缸124内的空气会使金属制作的导轴140和浮动支撑柱121的头部产生腐蚀。
2、在门板110上下移动的过程，门板110的导向槽150会刮擦导轴140，以及夹紧气缸130内部的设置由于上下摩擦，均会产生细微颗粒物，该细微颗粒物会被带进真空室内部，而当真空转换室内存在类似元器件、组件的产品需要进行处理时，细微粒子会影响到这些产品处理过程，甚至造成产品异常。
3、导轴140和浮动支撑柱121的头部也会因长期使用过程中都会有摩擦的操作，磨损过大，需要经常更换。
技术实现要素：
本实用新型实施例提供一种真空转换室密封设备和带真空转换室的设备，以解决或缓解现有技术中的一项或更多项技术问题。
作为本实用新型实施例的一个方面，本实用新型实施例提供一种真空转换室密封设备，包括：
框架主体，与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；
门板，设置在所述框架主体内，用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准，以及在第二阶段，沿水平方向移动以密封所述真空转换室；其中，所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔，以及
传送机构，包括与所述门板连接以带动所述门板沿垂直或水平方向移动的第一传送组件，以及与所述第一传送组件连接且用于带动所述第一传送组件沿水平方向移动的第二传送组件。
结合第一方面，在第一方面的第一种实施方式中，所述真空转换室密封设备还包括：设置在所述框架主体下方且为所述第一传送组件和所述第二传送组件提供动力的气压缸，所述气压缸包括缸体，和在所述缸体中往复运动的第一活塞和第二活塞；所述第一活塞分别与所述第一传送组件和所述第二传送组件接，所述第二活塞与所述第二传送组件连接。
结合第一方面的第一种实施方式，在第一方面的第二种实施方式中，所述第一传送组件包括支撑杆，所述支撑杆的一端与所述门板连接，所述支撑杆的另一端与所述第一活塞连接，以在所述第一活塞的带动下沿垂直方向移动。
结合第一方面的第二种实施方式，在第一方面的第三种实施方式中，所述第一活塞的上表面包括第一凸起，所述第二活塞的下表面包括第二凸起；以及所述第二传送组件包括：
第一推动件，设置在所述第一活塞的上方，包括第一固定转轴和用于与所述第一凸起衔接的第一凹槽，所述第一凹槽的尺寸不大于所述第一凸起；
第二推动件，设置在所述第二活塞的下方，包括第二固定转轴和用于与所述第二凸起衔接的第二凹槽，所述第二凹槽的尺寸不大于所述第二凸起；
其中，当所述第一活塞沿垂直方向向上移动，且所述第一凸起与所述第一凹槽接触时，所述第一固定转轴在所述第一凸起的压力下往上滑动，带动所述第一推动件绕所述第一固定转轴顺时针旋转，进而带动所述第一活塞连接的支撑杆沿水平方向朝背向所述窗口的方向移动；以及
当所述第二活塞沿垂直方向向下移动，且所述第二凸起与所述第二凹槽接触时，所述第二固定转轴在所述第二凸起的压力下往下滑动，带动所述第二推动件绕所述第二固定转轴逆时针旋转，以带动所述第二活塞以及所述第一活塞连接的支撑杆均沿水平方向朝向所述窗口的方向移动。
结合第一方面的第二种实施方式或第三种实施方式，在第一方面的第四种实施方式中，所述气压缸包括：
第一导气孔，用于将气体导入所述缸体和/或从所述缸体中导出气体，以使所述第一活塞在所述缸体中进行往复运动；以及
第二导气孔，用于将气体导入所述缸体和/或从所述缸体中导出气体，以使所述第二活塞在所述缸体中进行往复运动。
结合第一方面的第二种实施方式，在第一方面的第五种实施方式中，所述支撑杆包括至少三个竖杆，以及使所述竖杆相互连接的固定连接件。
结合第一方面，在第一方面的第六种实施方式中，所述预设间隔在18mm至22mm之间。
结合第一方面，在第一方面的第七种实施方式中，所述真空转换室密封设备还包括：
密封圈，设置在所述门板与所述窗口贴合的表面上，以在所述第二阶段中，使所述真空转换室密封，其中，所述密封圈的周长大于所述窗口的周长。
结合第一方面的第七种实施方式，在第一方面的第八种实施方式中，所述密封圈由塑胶构成。
第二方面，本实用新型实施例还提供一种带真空转换室的设备，其包括第一方面提供的任一项所述的真空转换室密封设备。
本实用新型采用上述技术方案，通过设置门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔，可以避免门板在沿垂直方向移动时与框架主体的内壁产生摩擦，一方面可以避免细微颗粒进入真空室，另一方面可以减少组件磨损，提高设备使用寿命。以及，由于第一传送组件可以带动门板垂直运行至与真空转换室的窗口对准，此时由于门板与窗口也是具有一定的间隔的，需要第二传送组件推动第一传送组件沿水平方向移动，从而使门板与与窗口贴合，进行实现真空转换室的关闭。
上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本实用新型进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。
附图说明
在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本实用新型公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本实用新型范围的限制。
图1是现有技术提供的真空转换室密封设备的结构示意图；
图2是本实用新型提供的一种真空转换室密封设备的正视结构示意图；
图3是本实用新型提供的一种真空转换室密封设备的侧视结构示意图；
图4是本实用新型提供的真空转换室密封设备的门板与密封圈之间的位置关系示意图；
图5是本实用新型提供的真空转换室密封设备的第二传送组件与气压缸的结构示意图；
图6是本实用新型提供的一种带真空转换室的设备的侧视结构示意图。
附图标记说明：
110：门板；111：顶板；
120：上下气缸；121：浮动支撑柱；122：第一导气管；123：第二导气管；
124：气压缸；
130：夹紧气缸；140：导轴；150：导向槽；
200：真空转换室密封设备；
210：框架主体；220：门板；221：密封圈；
230：传送机构；
231：第一传送组件；
2311：支撑杆；2312：横板；2313：固定连接件；
232：第二传送组件；
2321：第一推动件；2322：第一固定转轴；2323：第一凹槽；
2324：第二推动件；2325：第二固定转轴；2326：第二凹槽；
240：气压缸；
241：缸体；242：第一活塞；243：第二活塞；
245：第一导气孔；246：第二导气孔；2421：第一凸起；2431：第二凸起；
A框架主体210的横向宽度；
B门板220的横向宽度；
C框架主体210的竖向宽度；
D传送机构230的缸体的截面的长边宽度；
E传送机构230的缸体的高度；
F框架主体210的厚度；
G门板220的厚度；
H传送机构230的缸体的截面的短边宽度；
1：向下滑动方向；
2：逆时针旋转方向；
3：向上滑动方向；
4：顺时针旋转方向；
300：带真空转换室的设备；
310：真空转换室。
具体实施方式
在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。
实施例一
请参阅附图2～附图4，本实施例提供的真空转换室密封设备200包括：框架主体210、门板220、传送机构230；其中，框架主体210用于与真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；门板220设置在框架主体210内，用于在第一阶段在框架主体210中沿垂直方向移动以与窗口对准，以及，门板220边缘与框架主体210的内壁具有预设间隔，可以避免门板220在第一阶段运行时与框架主体210的内壁摩擦产生细微粒子，进而可以避免细微粒子进入真空转换室，以及门板220还用于在第二阶段沿水平方向移动以密封真空转换室，从而真空转换室内部可以进行真空抽气使内部空间变成真空状态；另外，传送机构230包括与门板220连接以带动门板220沿垂直或者水平方向移动的第一传送组件231，以及与第一传送组件231连接且用于带动第一传送组件231沿水平方向移动的第二传送组件232，即第一传送组件231能控制门板220的第一阶段的运动过程，第二传送组件232能控制门板220的第二阶段的运行过程。其中，图2示例的第二传送组件232仅示意为与第一传送组件231的连接关系，具体结构可参见附图5具体示例，实施过程中，可以通过缸体241连接第一传送组件231和第二传送组件232。
本实用新型实施例提供的真空转换室密封设备200通过设置门板220边缘与所述框架主体210的内壁具有预设间隔，可以避免门板220在沿垂直方向移动时与框架主体210的内壁产生摩擦，一方面可以避免细微颗粒进入真空转换室，另一方面可以减少组件磨损，提高设备使用寿命。以及，由于第一传送组件231可以带动门板220垂直运行至与真空转换室的窗口对准，此时由于门板220与窗口也是具有一定的间隔的，需要第二传送组件232推动第一传送组件231沿水平方向移动从而使门板220与窗口贴合，进而实现真空转换室的关闭。
优选地，为了提供动力给第一传送组件231和第二传送组件232，真空转换室密封设备200还包括气压缸240，其设置在框架主体210下方，为第一传送组件231和第二传送组件232提供动力；气压缸240包括缸体241、第一活塞242和第二活塞243；其中，第一活塞242和第二活塞243在缸体241中可以做往复运动，第一活塞242分别与第一传送组件231和第二传送组件232连接，第二活塞243与第二传送组件232连接，其中，如图5所示，第一活塞242可以通过缸体241与第二传送组件232连接。
优选地，气压缸240还包括第一导气孔245和第二导气孔246，第一导气孔245可以将气体导入缸体241和/或从缸体241中导出气体进而以使第一活塞242在缸体241中进行往复运动；以及第二导气孔246可以将气体导入缸体241和/或从缸体241中导出气体进而以使第二活塞243在缸体241中进行往复运动。更为细化地，设置一个气压泵，其可以与第一导气孔245和第二导气孔246连接，用于调整缸体241内的压力以带动第一活塞242和第二活塞243在缸体241内做往复运动。
具体地，第一传送组件231包括支撑杆2311，支撑杆2311的一端与门板220连接，支撑杆2311的另一端与气压缸240的第一活塞242连接以在第一活塞242的带动下沿垂直方向移动。门板220包括与窗口贴合的表面和与支撑杆2311连接的表面，可以在与支撑杆2311连接的门板220的表面设置一横板2312与支撑杆2311连接，加强支撑杆2311对门板220的支撑力度；更为优化的，可设置支撑杆2311包括多个竖杆，优选地设置3个竖杆，第一竖杆与门板220的横向中点位置连接，第二竖杆与门板220的横向左侧位置连接，第三竖杆与门板220的横向右侧位置连接，更为优选地，第一竖杆与第二竖杆之间的间隔和第一竖杆与第三竖杆之间的间隔可相同，如此可以增加门板220在第一阶段运动时，可以平稳地平移，而不会使得门板220的两侧受力不均而导致运动过程中左右摇摆。更细化地，设置一个固定连接件2313，连接所有的竖杆，以固定竖杆。
优选地，如图4所示与窗口贴合的门板220的表面可以设置密封圈221，以在第二阶段中使真空转换室密封，其中，密封圈221的周长大于窗口的周长。优选地，该密封圈221可以由塑胶构成。
具体地，如图5所示，所述第一活塞242的上表面包括第一凸起2421，所述第二活塞243的下表面包括第二凸起2431；以及所述第二传送组件232包括第一推动件2321和第二推动件2324，其中，第一推动件2321设置在所述第一活塞242的上方，其包括第一固定转轴2322和用于与所述第一凸起2421衔接的第一凹槽2323，所述第一凹槽2323的尺寸不大于所述第一凸起2421；以及第二推动件2324设置在所述第二活塞243的下方，其包括第二固定转轴2325和用于与所述第二凸起2431衔接的第二凹槽2326，所述第二凹槽2326的尺寸不大于所述第二凸起2431。
以下描述气压缸240如何带动第一传送组件231和第二传送组件232工作，以密封真空转换室。
首先，当通过第一导气孔245充气进气压缸240时，第一活塞242沿垂直方向向上运动，即沿Z轴正向运动，带动第一传送组件231(2311、2312和2313)垂直向上运动，由于门板220与支撑杆2311连接，门板220也相应地垂直向上运动，直至门板220对准真空转换室的窗口时停止充气，以使第一活塞242停止运动。
然后，通过第二导气孔246充气进气压缸240，所述第二活塞243沿垂直方向向下移动，即沿Z轴反向运动，且所述第二凸起2431与所述第二凹槽2326接触，所述第二固定转轴2325在所述第二凸起2431的压力下往下滑动(如图5所示的1方向)，带动所述第二推动件2324绕所述第二固定转轴2325逆时针旋转，即绕X轴且沿Y轴正向旋转(如图5所示的2方向)，以带动所述第二活塞243以及所述第一活塞242连接的支撑杆2311均沿水平方向朝向所述窗口的方向移动，即沿Y轴正向移动，直至门板220贴合真空转换室的窗口时停止充气，以使第二活塞243停止运动。
以下描述气压缸240如何带动第一传送组件231和第二传送组件232工作，以开启真空转换室。
首先，通过第一导气孔245充气进气压缸240时，所述第一活塞242继续微微沿垂直方向向上移动，即沿Z轴正向运动，且所述第一凸起2421与所述第一凹槽2323接触，所述第一固定转轴2322在所述第一凸起2421的压力下往上滑动(如图5所示的3方向)，带动所述第一推动件2321绕所述第一固定转轴2322顺时针旋转，即绕X轴且沿Y轴反向旋转(如图5所示的4方向)，进而带动所述第一活塞242连接的支撑杆2311沿水平方向朝背向所述窗口的方向移动，即沿Y轴反向移动，直至门板220从贴合真空转换室的窗口变为与真空转换室的窗口具有一定的间隔停止充气，以使第一活塞242停止运动。
然后，通过所述第一导气孔245从气压缸240导出气体时，所述第一活塞242沿垂直方向向下移动，即沿Z轴反向运动，带动第一传送组件231垂直向下运动，门板220相对真空转换室的窗口向下平移，使真空转换室的窗口不被门板220遮挡。以及，所述第一凸起2421不与所述第一凹槽2323接触，所述第一固定转轴2322不受到所述第一凸起2421的压力进而往下滑动(如图5所示的3方向的反向)以恢复原位，带动所述第一推动件2321绕所述第一固定转轴2322逆时针旋转，即绕X轴且沿Y轴正向旋转(如图5所示的4方向的反向)恢复原位。
另一方面，通过所述第二导气孔246从气压缸240导出气体时，所述第二活塞243沿垂直方向向上移动，即沿Z轴正向移动，且所述第二凸起2431与所述第二凹槽2326不再接触，所述第二固定转轴2325不受到所述第二凸起2431的压力进而往上滑动(如图5所示的1方向的反向)以恢复原位，带动所述第二推动件2324绕所述第二固定转轴2325顺时针旋转，即绕X轴且沿Y轴反向旋转(如图5所示的2方向的反向)恢复原位。
由于第一活塞242和第二活塞243设置在气压缸240内，而第二传送组件232与第一活塞242以及第二活塞243均有连接关系，那么第二传送组件232也是设置在气压缸240内部，而气压缸240设置在框架主体210下方，那么第二传送组件232也必然会设置在框架主体210下方。第二传送组件232的构成导致第二传送组件232的内部构件运行过程中无摩擦则无细微粒子产生，而且即使有细微粒子产生，也因第二传送组件232设置在框架主体210下方，细微粒子也无法进入到真空转换室。
优选地，框架主体210的内壁与门板220边缘之间的预设间隔在18mm至22mm之间，其中，在一个具体示例中，设置密封设备200的尺寸如图2和图3所示，框架主体210的横向宽度A为450mm±10％，竖向宽度C为265mm±10％，厚度F为40mm±10％，；门板220的横向宽度B为430mm±10％，门板220的横向宽度大于真空转换室的窗口的横向宽度，以及门板220的竖向宽度大于真空转换室的窗口的竖向宽度，以及门板220的厚度G为6mm±10％，则框架主体210的内壁与门板220边缘之间的预设间隔可以在18mm至22mm之间。更为细化的是，传送机构230可为方型也可为圆柱型结构，例如图2和图3所示，传送机构230的缸体241的高度E为235mm±10％，截面的长边宽度D为120mm±10％；截面的短边宽度H为52mm±10％。
实施例二
请参阅图6，本实用新型实施例还提供一种带真空转换室的设备300，其包括上述实施例一提供的真空转换室密封设备200和真空转换室310，真室转换室密封设备200的框架主体210与真空转换室310具有窗口的一侧的外侧壁贴合，可以通过螺丝或铆钉的形式连接。其中，真空转换室密封设备200的工作原理如前所述，在此不再赘述。
上述实施例一提供的真空转换室密封设备200一方面可以避免细微颗粒进入真空转换室310，另一方面可以减少组件磨损，提高设备使用寿命。此外，本实用新型实施例提供的带真空转换室的设备300结构简单，可以减少设备维护和复机时间。
以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到其各种变化或替换，这些都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。