一种输送机构及切割装置的制作方法

本发明涉及自动化设备技术领域，尤其涉及一种输送机构及切割装置。

背景技术：

为满足获得小尺寸工件的需求，需要使用切割装置切割大尺寸的工件。其中，工件可以为基板，以基板为oled基板为例，随着技术的不断发展，oled基板的初始尺寸越来越大。目前国内较为常见的oled基板的初始尺寸规格包括g6(1500mm×1850mm)以及g6half(1500mm×925mm)，且有向更大尺寸规格发展的趋势。然而，手机、笔记本电脑和电视等电子设备一般采用小尺寸的oled基板，故需要使用切割装置切割初始尺寸较大的oled基板。

现有技术中，如图1所示，切割装置包括输送机构1′、龙门架2′及激光切割头3′，其中，输送机构1′包括基座11′、沿x向延伸的直线导轨12′、直线驱动源(未图示)及运动组件13′，其中，直线驱动源和直线导轨12′均设置在基座11′上，运动组件13′通过滑块与直线导轨12′滑动配合，直线驱动源能够驱动运动组件13′相对于基座1′沿x向直线运动，运动组件13′包括转动驱动源和载台，载台用于承载工件4′，工件例如为基板，基板可以是oled基板，转动驱动源用于驱动载台绕竖直方向(即z向)的z轴转动，龙门架2′设置在基座11′上，激光切割头3′设置在龙门架2′上并可相对于龙门架2′沿y向运动。其中，x向、y向和z向两两垂直。

现有技术中，为扩大输送机构1′的适用范围，尤其是为适用于大尺寸的工件，一般采用较大水平尺寸及较大z向高度的运动组件13′，运动组件13′的重心高度高于设置在基座11′上的直线驱动源的重心高度，从而使直线驱动源对运动组件13′的驱动力与运动组件13′的重心位置沿z向具有一定距离，故在被直线驱动源的驱动力驱动沿x向进行直线运动时，运动组件13′在x向会产生偏摆问题(即运动组件13′沿x向的两端的高度发生上下起伏)，如果偏摆幅度较大，则会造成运动组件13′与基座11′之间和/或造成运动组件13′与直线驱动源之间发生磨损，影响输送机构1′的工作稳定性，降低输送机构1′的使用寿命，且可能会造成输送机构1′卡死。

对于切割装置，一方面，切割装置包括输送机构1′，因此，切割装置相应具有以上问题；另一方面，在现有技术中，采用激光切割头3′对输送中的工件进行切割，而运动组件13′的偏摆会导致工件产生偏摆，因此，工件切割的尺寸精度低，切割面的质量差。

因此，亟需发明一种输送机构及切割装置来解决上述问题。

技术实现要素：

本发明的第一个目的在于提出一种能抗偏摆的输送机构，以降低运动组件的磨损，提高输送机构的工作稳定性及使用寿命。

本发明的第二个目的在于提出一种切割装置，以降低运动组件的磨损，提高切割装置的工作稳定性及使用寿命，且提高其加工的工件的切割面质量及切割尺寸精度。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种输送机构，包括：

基座，所述基座上设置有沿预设方向延伸的凹槽；

运动组件，所述运动组件部分容纳于所述凹槽内，所述运动组件用于承载待加工工件；

直线驱动源，设置在所述基座上，所述直线驱动源能驱动所述运动组件沿预设方向移动，所述直线驱动源对所述运动组件的驱动力和所述运动组件的重心在水平面内共面。

可选地，所述运动组件包括：

连接板，设置在所述基座上侧并与所述直线驱动源的输出端相连接；

载台，设置在所述连接板的上侧；

悬浮组件，连接于所述载台的下表面，所述悬浮组件的下端伸入所述凹槽内，所述悬浮组件能够悬浮在所述凹槽的槽底上。

可选地，所述运动组件还包括：

转动驱动源，固定连接在所述连接板上，所述载台与所述转动驱动源的输出端相连接。

可选地，所述悬浮组件包括：

转轴，所述转轴的上端连接在所述载台的下表面；

气浮组件，连接在所述转轴的下端，所述气浮组件用于向所述凹槽的槽底吹入正压气体，以使所述载台受到向上的上浮力；

所述悬浮组件还包括预载组件，所述预载组件用于对所述载台施加向下的预载力。

可选地，所述悬浮组件包括转轴和轴套，所述转轴的上端连接在所述载台的下表面，所述轴套套设于所述转轴的外侧，且上端与所述连接板连接，下端伸入所述凹槽内，所述轴套与所述转轴之间形成环形腔，与所述凹槽的侧壁之间形成过气间隙，所述环形腔与所述过气间隙相连通，所述环形腔和所述过气间隙内分别通入正压气体。

可选地，所述运动组件还包括设置在连接板与所述载台之间的至少三组辅助支撑，

所述辅助支撑包括壳体和滚珠，所述连接板与所述载台中的至少一个上连接有所述壳体，所述壳体上设置有球槽，所述滚珠可滚动地设置在所述球槽内，所述滚珠设置在所述连接板和所述载台之间；或

所述辅助支撑包括滚珠以及设置在所述连接板和所述载台中的其中至少一个上的球槽，所述滚珠可滚动地设置在所述球槽内，所述滚珠设置在所述连接板和所述载台之间。

可选地，所述输送机构还包括测量组件，所述测量组件用于检测所述运动组件的位置，且所述测量组件与所述运动组件的重心在水平面内共面。

可选地，所述输送机构还包括沿所述预设方向延伸的直线导轨，所述基座上还设置有沿所述预设方向延伸的沉槽，所述直线导轨设置在所述沉槽内，所述运动组件包括滑块，所述滑块与所述直线导轨滑动配合。

可选地，所述直线导轨上端平行于所述预设方向的两个棱边处设置有倒角，沿所述预设方向，所述沉槽的底面为中间高两端低的弧面，所述直线导轨通过紧固件固定在所述底面。

一种切割装置，包括上述的输送机构。

本发明有益效果为：

本发明的输送机构，运动组件的部分结构容纳在基座的凹槽内，则相应有部分结构凸出于基座的上表面，使直线驱动源对运动组件的驱动力与运动组件的重心位置在水平面内共面，从而能够降低运动组件在x向的偏摆幅度，降低运动组件和基座之间的磨损，降低运动组件和直线驱动源之间的磨损，提高输送机构的工作稳定性和使用寿命；凹槽一方面能够辅助运动组件降低重心，有利于实现运动组件的重心与直线驱动源对运动组件的驱动力的共面；另一方面还能够对运动组件起到一定的导向作用。

本发明的切割装置，通过设置上述的输送机构，可实现直线驱动源对运动组件的驱动力与运动组件的重心共面，能够降低工件输送过程中沿x向的偏摆幅度，一方面能够降低运动组件与基座之间的磨损，降低运动组件和直线驱动源之间的磨损，提高输送机构的工作稳定性和使用寿命；另一方面，能够提高工件输送过程中的稳定性，进而提高工件切割的尺寸精度和切割面的质量。

附图说明

图1是现有技术中切割装置的结构示意图；

图2是本发明具体实施方式提供的输送机构和工件的结构示意图；

图3是本发明具体实施方式提供的输送机构的局部结构示意图；

图4是本发明具体实施方式提供的输送机构的剖视图；

图5是本发明具体实施方式提供的运动组件的分解结构示意图(未在图中示意滑块)；

图6是图4中的a处放大图；

图7a现有技术中直线导轨和滑块配合的横截面的结构示意图；

图7b为图7a中直线导轨在横截面各处的受力分布图；

图8a为本发明具体实施方式提供的直线导轨和滑块配合的横截面的结构示意图；

图8b为图8a中直线导轨在横截面各处的受力分布图。

图中：

1′-输送机构；11′-基座；12′-直线导轨；13′-运动组件；2′-龙门架；3′-激光切割头；4′-工件；

100-oled基板；

1-基座；11-凹槽；12-沉槽；121-底面；

2-直线驱动源；

3-运动组件；31-连接板；32-转动驱动源；33-载台；34-悬浮组件；341-转轴；342-容纳腔；343-气浮组件；3431-安装板；3432-气浮垫；344-预载组件；345-轴套；346-环形腔；347-过气间隙；35-辅助支撑；351-壳体；352-滚珠；36-滑块；

4-直线导轨；41-倒角。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

目前，切割装置中，输送机构的直线驱动源对运动组件的驱动力与运动组件的重心位置不共面，从而使运动组件在运动过程中沿直线运动方向上出现偏摆的问题，造成工件加工精度差、切割面质量差等问题。对此，本实施例提供了一种输送机构及切割装置，其中，切割装置包括用于输送工件的输送机构，工件可以为基板，但不限于此，切割装置可用于对oled基板、玻璃面板等板状基板进行切割加工，以下以输送机构对oled基板100进行输送为例进行说明。如图2所示，图中x向为水平面内的一预设方向，y向为水平面内垂直于x向的方向，z向为竖直方向，其中，x向、y向和z向互相垂直，分别代表空间方向。

如图2-图4所示，输送机构包括基座1、直线驱动源2及运动组件3，其中，基座1上设置有沿预设方向延伸的凹槽11，在本实施例中，凹槽11的长度方向为预设方向，即x向，凹槽11的宽度方向为y向，运动组件3用于承载待加工工件，且运动组件3部分容纳于凹槽11内，直线驱动源2设置在基座1上，直线驱动源2用于驱动运动组件3沿预设方向移动，直线驱动源2对运动组件的驱动力和运动组件的重心在水平面内共面。

运动组件3的部分结构容纳在基座1的凹槽11内，则相应有部分结构凸出于基座1的上表面，使直线驱动源2对运动组件3的驱动力与整个运动组件3的重心位置在水平面内共面，从而能够降低运动组件在x向的偏摆幅度(x向偏摆是指运动组件在沿x向的两端的高度产生上下起伏)，降低运动组件3和基座1之间的磨损，降低运动组件和直线驱动源之间的磨损，提高输送机构的工作稳定性和使用寿命；在输送机构与激光加工结构配合对工件切割时，例如激光加工结构包括龙门架和设置在龙门架上的激光切割头，输送机构将工件在龙门架下方输送的过程，激光切割头对输送机构上的工件进行切割，输送机构沿x向偏摆幅度的降低能够提高工件的加工精度和提高工件切割面的质量。此外，凹槽11一方面能能够辅助运动组件3降低重心，有利于实现运动组件3的重心与直线驱动源对运动组件3的驱动力的共面；另一方面还能够对运动组件3起到一定的导向作用。

具体而言，本实施例中，如图2所示，直线驱动源2为直线电机，直线电机的定位精度高，从而能够满足对oled基板100进行高精度的输送。优选地，本实施例中，直线电机设置有两组，两组直线电机的定子端沿x向延伸并分别设置在凹槽11的两侧，运动组件3的两端分别与两组直线电机的动子端相连接，且连接位置位于基座1的上表面处，其他实施例中，直线电机的定子和动子的安装位置可以互换。本实施例中，运动组件3中间部位部分伸入凹槽11内，两组直线电机共同驱动运动组件3，可以保证运动组件3运动的平稳性。

优选地，基座1由大理石材料制成。相对于铁制材料而言，一方面，大理石基座1不易发生应力变形，故在运动组件3相对于基座1运动的过程中，基座1可以保持形状精度，进而提高输送机构的输送精度和使用寿命；另一方面，大理石材料相对密度较低，故能够降低整个输送机构的重量，便于输送机构的运输和装配。

进一步地，输送机构还包括测量组件，测量组件用于检测运动组件3在x向的位置，以反馈运动组件3的位置状态。优选地，测量组件与运动组件3的重心在水平面内共面，故此时直线驱动源2对运动组件3的驱动力、运动组件3的重心及测量组件三者在水平面内共面，进而避免因偏摆使测量组件检测的位置信息不准确的问题，使检测到的运动组件3的位置信息的准确性更高，进而能够将更准确的信息反馈给直线驱动源2，直线驱动源2结合测量组件反馈的运动组件3的位置信息调整运动组件3的运动量，保证输送机构的输送准确性。具体地，测量组件的固定位置与运动组件3的重心在水平面内共面，本实施例中，测量组件为检测光栅，检测光栅包括刻度尺和读数头，刻度尺固定在基座1上，读数头固定在连接板31上。在其他实施例中，测量组件还可以是位置传感器或者其他能够检测位置信息的元件。

优选地，如图3和图4所示，运动组件3包括连接板31、转动驱动源32、载台33及悬浮组件34，其中，连接板31设置在基座1上侧，连接板31与基座1滑动连接，并与直线驱动源2的输出端相连接，转动驱动源32固定连接在连接板31上，载台33设置在连接板31的上侧，并与转动驱动源32的输出端相连接，悬浮组件34连接于载台33的下表面，且下端伸入凹槽11内，悬浮组件34能够悬浮在凹槽11的槽底上。本实施例的输送机构不仅可以实现驱动oled基板100沿x向运动，还可以通过转动驱动源32驱动载台33绕z轴转动，进而带动oled基板100绕z轴转动实现方位的调整，使oled基板100能够以不同的方位姿态进行加工。此外，通过调整连接板31、转动驱动源32、载台33及悬浮组件34中至少一个的重量和/或几何形状，可以调节整个运动组件3的重心高度，进而满足运动组件3的重心高度与直线驱动源2对其的驱动力的位置在水平面内共面的要求。为了调整连接板31、转动驱动源32、载台33及悬浮组件34中至少一个的重量，可以通过选择适合的材料和/或尺寸来实现。

具体而言，本实施例中，若直线电机的动子设置在基座1上，则连接板31与直线电机的定子相连接，若直线电机的定子固定在基座1上，则连接板31与直线电机的动子相连接。连接板31上设置有避让孔，悬浮组件34穿过连接板31上的避让孔后伸入凹槽11内。本实施例中，连接板31的中间区域设置有避让孔。进一步地，转动驱动源32为弧形直线电机，弧形直线电机的定子固定在连接板31的上表面，且环设于避让孔周围，弧形直线电机的动子端连接在载台33的下表面，悬浮组件34的上端连接在载台33下表面，且位于弧形直线电机的动子端围起的区域内。其他实施例中，弧形直线电机的定子和动子的安装位置可以互换。

悬浮组件34可以采用磁悬浮或气动悬浮的方案。在本实施例中，为降低成本，悬浮组件34采用气动悬浮的方案。具体地，如图4和图5所示，悬浮组件34包括转轴341和气浮组件343，本实施例中，转轴341的上端连接在载台33的下表面，并与载台33围成容纳腔342，以使转轴341为筒状结构，可以用于减轻整个运动组件3的重量，气浮组件343连接在转轴341的下端，气浮组件343用于向凹槽11的槽底吹入正压气体，以使载台33受到向上的上浮力，正压气体经凹槽11的槽底作用后反向运动至容纳腔342内，从而对载台33产生向上的上浮力，避免运动组件3与凹槽11的槽底接触，故运动组件3与凹槽11的槽底不会产生摩擦力，从而降低整个输送机构的摩擦力，减少直线驱动源2驱动整个运动组件3所需要的动力。凹槽11与悬浮组件34之间的通气区域在x向上与外部空气连通，容纳腔342上设置排气口，容纳腔342内的正压气体能够通过排气口及该通气区域进行泄气，可以保证容纳腔342内气体的压强稳定，提供稳定的上浮力。容纳腔342上也可不设置排气口，容纳腔342内的正压气体能够通过该通气区域进行泄气，也可保证容纳腔342内气体的压强稳定。

本实施例中，输送机构包括气源，如图4所示，气浮组件343包括安装板3431和气浮垫3432，安装板3431连接在转轴341底部，气浮垫3432固定在安装板3431上，且气浮垫3432的进气口与气源连通，气浮垫3432用于改变气源的气流方向，使得气浮垫3432的出口向凹槽11的槽底排气，气体经槽底反向作用于运动组件3，进而为载台33提供上浮力。经槽底反向作用于运动组件3的气体可以作用在安装板3431和/或容纳腔342内，从而对载台33产生向上的上浮力。

本实施例中，悬浮组件34还包括预载组件344，预载组件344用于对载台33施加向下的预载力(也可称为预紧力)，以限制载台33上浮的位移，使得载台33与凹槽11的槽底之间保持合适的气膜厚度，避免载台33出现上下抖动。预载组件344对载台33施加的向下的预载力与气浮组件对载台向上的上浮力相配合，从而实现将载台上浮的位移控制在合理范围内，保证载台运动的平稳性。

本实施例中，预载组件344包括电磁铁和铁磁件(也可为另一个电磁铁)，其中，电磁铁设置在安装板3431朝向凹槽11的槽底的一侧，铁磁件设置在凹槽11的槽底上并与电磁铁相对设置，当电磁铁通电后，电磁铁与凹槽11内的铁磁件相吸引，即铁磁件对电磁铁施加向下的力，进而通过安装板3431和转轴341对载台33施加向下的力。其他实施例中，电磁铁与铁磁件的安装位置可以互换。在另一实施例中，预载组件344可以为真空预载组件，且预载组件344设置在安装板3431朝向凹槽11的槽底的一侧。优选地，本实施例中，预载组件344沿周向均匀地布置在安装板朝向凹槽11的槽底的一侧，从而能够保证载台33受力均衡。

上述将直线驱动源2对运动组件3的驱动力和运动组件3的重心调整至共面可以降低整个运动组件3在x向的偏摆，但是，一方面，由于基座1不平整或存在外力扰动等因素，运动组件3还可能产生y向的偏摆(y向的偏摆是指运动组件在沿y向的两端的高度产生上下起伏)，从而导致载台33及载台33上的工件出现y向的偏摆；另一方面，即便在重心共面的情况下，在直线驱动源2驱动运动组件3启动或停止时，由于惯性作用会产生在x方向的偏摆问题。

为解决此问题，如图4-图6所示，悬浮组件34还包括轴套345，轴套345套设于转轴341的外侧，且上端与连接板31固定连接，下端伸入凹槽11内，轴套345与转轴341之间形成环形腔346，轴套345与凹槽11的侧壁之间形成过气间隙347，环形腔346与过气间隙347相连通，环形腔246和过气间隙347内分别通入正压气体。在本实施例中，轴套345上设有进气口，进气口与气浮组件343相连通，气浮组件343能够通过轴套345上的进气口向环形腔346内和过气间隙347内分别通入正压气体，以使正压气体分别吹向转轴341的外壁和凹槽11的侧壁，一方面，沿y向两侧的过气间隙347内气体分别对轴套345沿y向的两侧提供夹持力，从而可以降低整个运动组件3沿y向的偏摆幅度；另一方面，环形腔346内的气体对转轴341提供夹持力，该夹持力覆盖在转轴341的环形外壁上，从而可以降低整个运动组件3沿x向以及沿y向的偏摆幅度。因此，在本实施例中，轴套345的内外两侧分别受到气体的压力，可以通过控制气体的流量以稳定轴套345的位置，降低因为运动组件3偏摆使得轴套345与凹槽11的侧壁或者与转轴341的外壁产生磨损的可能性，有利于避免运动组件3因为磨损而卡死。

在其他实施例中，气源直接通过轴套345上的进气口向环形腔346内和过气间隙347内分别通入正压气体，而无需通过气浮组件343向轴套345输气。过气间隙347与外部大气相连通，环形腔346内的气体可以通过与其相连通的过气间隙347实现泄压，以保证环形腔346内气体的压强稳定，提供稳定的夹持力。环形腔346内可保持正压环境，从而可以沿转轴341的外周向对对转轴341的外壁产生夹持力，其中，对转轴341外侧壁的夹持力既包括x向，又包括y向，从而能够同时降低运动组件3在x向的偏摆幅度和在y向的偏摆幅度。需要说明的是，运动组件3实际运动过程中的偏摆方向不限于x和y方向，实际偏摆方向如果不是x向或y向，则可以在x向和y向上进行分解，故无论实际偏摆方向如何，本实施例气浮夹持的方式均可以起到减轻偏摆幅度的作用。

具体而言，本实施例中，气浮垫3432包括两组出口，其中，一组出口用于向凹槽11的槽底排气，另一组出口通过管件连接轴套345的进气口，进而与环形腔346及过气间隙347相连通。可以理解的是，当环形腔346内的正压力一定时，环形腔346的侧面表面积越大，即转轴341的表面积越大，环形腔346内的正压气体对转轴341的夹持力越大，相应地对载台沿x向和沿y向的偏摆问题的改善效果越好。而当转轴341的表面积一定时，环形腔346内的气压越大，则对转轴341的夹持力越大，相应地对载台沿x向和沿y向的偏摆问题的改善效果越好。故可通过调整环形腔346内气体的压力、转轴341的长度及转轴341的外径等参数，来调节环形腔346内的正压气体对转轴341的夹持力。

优选地，可以分别调节向环形腔346及过气间隙347通入的气流流量，使得轴套345外壁受到的力与内壁受到的力相平衡，最终实现避免轴套345与凹槽11侧壁发生磨损。此外，大理石材质的基座1的加工精度不易控制，轴套345可以单独进行加工，且尺寸精度易保证，本实施例通过设置轴套345，使得环形腔346由轴套345和转轴341共同围成，从而通过调节轴套345的厚度尺寸，可以精确控制环形腔346的厚度尺寸。

若转轴341在转动过程中与轴套345发生磨损，容易造成轴套345或转轴341局部变形，若变形达到一定的尺寸，则会导致轴套345和转轴341之间出现卡死的现象，本实施例中，转轴341和轴套345选用碳质量分数为0.9％的碳钢制成，0.9％的碳钢硬度相对较高，使即便转轴341和轴套345发生磨损，也不易发生变形，进而避免轴套345和转轴341卡死的问题。进一步地，对转轴341的外表面及轴套345的内表面进行渗碳处理，渗碳处理可以进一步提高转轴341内表面和轴套345外表面的硬度。

直线驱动源2对运动组件3的驱动力与运动组件3重心共面的方案可以降低运动组件在x向的偏摆幅度，无法在y向降低偏摆，故难以消除运动组件3的偏摆，环形腔346内正压气体的气浮夹持可以同时降低运动组件3在x和y方向的偏摆幅度，且过气间隙347内的正压气体能够降低运动组件3沿y向的偏摆幅度，但是，运动组件3往往有较大的重量，尤其是载台33往往有较大的重量，而气浮夹持的夹持力较小，该夹持力难以消除载台33的偏摆，而运动组件3实际运动时，往往在x向和y向均有偏摆，因此，采用气浮夹持和/或重心共面的方案均难以消除运动组件3的偏摆。

为解决此问题，如图3和图5所示，在本实施例中，运动组件3包括设置在连接板31与载台33之间的至少三组辅助支撑35，辅助支撑35包括壳体351和滚珠352，其中，载台33和连接板31中的至少一个上连接有壳体351，壳体351上设置有球槽，滚珠352可滚动地设置在球槽内，滚珠352设置在载台33和连接板31之间。当载台33和连接板31中的一个上连接有壳体351时，滚珠352露出球槽的部分与载台33和连接板31中的另一个相抵接；当载台33和连接板31上分别连接有壳体351时，每个壳体351上均包括一个球槽，滚珠352可滚动地设置在两个球槽内。至少三组辅助支撑35能够对载台33的下表面起到稳定的支撑，且在运动组件3运动过程中，滚珠352在球槽内发生滚动能够使载台33在水平面内产生自行调整，从而同时降低载台33沿x向的偏摆幅度和沿y向的偏摆幅度，同样地，载台33的实际偏摆方向不限于x和y方向，实际偏摆方向如果不是x向或y向，则可以在x向和y向上进行分解，故无论载台33的实际偏摆方向如何，辅助支撑35均可以起到减轻偏摆幅度的作用。此外，当转轴341或轴套345受到偏摆作用时，通过滚珠352在壳体351内发生滚动，可以降低或者避免载台33和连接板31之间在水平面内的相对位置浮动，进一步降低运动组件3的偏摆幅度，从而降低或避免运动组件3产生磨损，可降低或避免转轴341与轴套345之间发生磨损，防止转轴341与轴套345卡死的问题发生。

在其他实施例中，辅助支撑35可以不设置壳体，而是直接在连接板31和载台33中的其中一个或两个上开设球槽，滚珠352可滚动地设置在球槽内，且滚珠352设置在连接板31和载台33之间，当在连接板31和载台33中的其中一个上开设球槽时，滚珠352露出球槽的部分抵接于连接板31和载台33中的另一个；当在连接板31和载台33中的两个上开设球槽时，滚珠352可滚动地设置在两个球槽内。

可选地，至少三组辅助支撑35沿转动驱动源32的周向间隔布置，保证载台33对连接板31的作用力在各辅助支撑35处均衡分布，保证oled基板100输送的平稳性，进而保证oled基板100的加工精度。具体地，在一实施例中，沿转动驱动源32的一个周向均匀布置至少三组辅助支撑35；在另一实施例中，沿转动驱动源32的至少两个周向均匀布置辅助支撑35，每一周向上分别布置至少三组辅助支撑35，能够进一步降低运动组件3的偏摆幅度，有利于避免产生运动组件3磨损及卡死的问题。

此外，通过调整连接板31、转动驱动源32、载台33、悬浮组件34及辅助支撑35中的至少一个的重量和/或几何形状，可以调节整个运动组件3的重心高度，进而满足运动组件3的重心高度与直线驱动源2对其的驱动力的位置在水平面内共面的要求。

优选地，如图3和图4所示，输送机构还包括沿x向延伸的直线导轨4，基座1上还设置沿预设方向(x向)延伸的有沉槽12，直线导轨4设置在沉槽12内，并通过紧固件固定在沉槽12的底面121上，运动组件3包括滑块36，滑块36与直线导轨4滑动配合。一方面，通过调整连接板31、转动驱动源32、载台33、悬浮组件34、辅助支撑35及滑块36中的至少一个的重量和/或几何形状，可以调节整个运动组件3的重心高度，进而满足运动组件3的重心高度与直线驱动源2对其的驱动力的位置在水平面内共面的要求；另一方面，通过设置直线导轨4与滑块36的配合，可以使运动组件3运动过程更为平稳，且运动方向更为准确；通过调节沉槽12的深度，可以调节连接板31的高度，有利于实现直线驱动源2对运动组件3的驱动力与运动组件3的重心位置在水平面内共面。具体而言，本实施例中，滑块36连接在连接板31的底部，基座1上设置有两个沉槽12，两个沉槽12分别位于凹槽11宽度方向的两侧，每个沉槽12内设置至少一个直线导轨，例如每个沉槽12内有两个直线导轨4，直线导轨4与滑块36滑动配合。

通常情况下，沉槽12的底面121为平面，直线导轨4的底面与沉槽12的底面121完全贴合，并通过紧固件固定在沉槽12的底面121上。运动组件3如果产生偏摆，则其在运动过程中会对直线导轨4产生一定的冲击力，紧固件会受到冲击力的作用，可能引起紧固件松动，进而影响直线导轨4连接的稳定性和可靠性。在本实施例中，由于基座1采用大理石材质，故沉槽12的底面121不易发生变形，且直线导轨4与沉槽12的底面121贴合设置，使得即便直线导轨4为金属材质也没有空间发生弹性变形，故运动组件3对直线导轨4的冲击力会集中作用在紧固件处，可能引起紧固件松动，进而影响直线导轨4安装的稳定性和可靠性。为解决此问题，本实施例中，沿沉槽12的长度方向(即x向)，沉槽12的底面121呈中间高两端低的弧形，故当直线导轨4通过紧固件固定在弧形的底面121上后，直线导轨4的底面不会完全与凹槽11的底面121贴合，当运动组件3对直线导轨4产生冲击力时，直线导轨4可以通过发生一定的弹性变形来分散冲击力，避免冲击力集中作用在紧固件处，从而提高直线导轨4连接的稳定性和可靠性。

进一步地，现有技术中，如图7a所示，直线导轨4与滑块36的配合面相贴合设置，则滑块36对直线导轨4的作用力在直线导轨4的横截面上分布如图7b所示，即在直线导轨4的横截面上，其两端受力集中，而中间部位受力较小，这种受力分布情况会影响直线导轨4的使用寿命，为解决此问题，如图8a所示，直线导轨4上端平行于预设方向的两个棱边处设置有倒角41。设置倒角41后，滑块36对直线导轨4的作用力在直线导轨4横截面上的分布情况如图8b所示，即避免了直线导轨4横截面上两端受力集中的问题，从而能够提高直线导轨4的使用寿命。本实施例中，倒角41的轨迹为对数曲线，其他实施例中，根据有限元分析获取直线导轨4的横截面的应力分布，再根据应力分布获得倒角的轨迹曲线。此外，倒角41的设置，使得直线导轨4与滑块36的配合面之间产生了一定的间隙，从而可以容纳较多的润滑剂，使得直线导轨4与滑块36的配合面之间更容易形成油膜，减少摩擦阻力，降低直线导轨4和滑块36之间的磨损。

本实施例还提供了一种切割装置，切割装置包括上述的输送机构。通过设置上述的输送机构，可实现直线驱动源对运动组件3的驱动力与运动组件3的重心共面，切割装置能够降低工件输送过程中沿x向的偏摆幅度，一方面能够降低运动组件3与基座1之间磨损，降低运动组件3和直线驱动源之间的磨损，提高输送机构的工作稳定性和使用寿命；另一方面，能够提高工件输送过程中的稳定性，进而提高工件切割的尺寸精度和切割面的质量。

进一步地，通过设置上述的输送机构，切割装置还能够同时在x向和y向降低工件传输过程中的偏摆幅度，一方面，能够进一步降低运动组件与基座之间的磨损，降低运动组件和直线驱动源之间的磨损，提高输送机构的工作稳定性和使用寿命；另一方面，能够进一步提高工件输送过程中的稳定性，进一步提高工件切割的尺寸精度和切割面的质量。

具体地，切割装置还包括龙门架、激光切割头及分割设备(cellbreakequipment)，其中，龙门架设置在基座1的上方，激光切割头滑动设置在龙门架上，并能够沿水平y向相对于龙门架运动，以工件为oled基板100，且oled基板100包括玻璃基板以及形成在玻璃基板上的显示层为例，在oled基板100上通过激光切割头加工形成预设的切割线(激光切割头产生的激光贯穿显示层，并在玻璃基板上形成切割线)后，可以采用分割设备沿着切割线分割该oled基板100，以形成多块预设尺寸的小oled基板。

运动组件3可以将oled基板100沿x向在龙门架下方输送，使激光切割头可以在oled基板100上加工出沿x向延伸的切割线，在一实施例中，可以使激光切割头在龙门架上沿y向连续滑动，对oled基板100在y向上加工，以在oled基板100上加工出y向的切割线，此时需要连续移动激光切割头，激光切割头在运动时对oled基板100沿y向进行加工，激光切割头在运动时的运动偏差会造成oled基板100上y向的切割线的偏差，因此，工件的切割面质量较差；在另一实施例中，运动组件3包括上述的转动驱动源32，转动驱动源32能够驱动载台33以及oled基板100以沿z轴转动90°，调整oled基板100的方位，以便于激光切割头在oled基板100上加工出横纵交错的切割线，激光切割头在龙门架上沿y向滑动并停止在一位置，激光切割头此时为静止状态，激光切割头在静止时对oled基板100进行加工，而无需在运动时对oled基板100进行加工，避免在激光切割头运动时进行工件加工造成切割线有偏差的问题，可以提高工件的切割质量。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。