抓持物体的抓持器及检验物体的检验设备的制造方法【
技术领域：
】[0001]所述实施例大体而言涉及用于抓持及移动各种物体的机械系统，更具体而言，涉及一种用于抓持薄片材料(例如液晶显示(LCD)面板玻璃)的抓持器总成、以及一种包括该抓持器总成的检验设备。【
背景技术：
】[0002]液晶显示(liquidcrystaldisplay;LCD)面板包含液晶，液晶表现出电场相关(electric-fielddependent)光调制特性。液晶显示面板最常用来在从传真机、膝上型计算机屏幕到大屏幕、高清晰度电视在内的各种装置中显示图像及其他信息。有源矩阵式LCD面板是由以下多个功能层组成的复杂分层式结构:偏光膜Γ薄膜晶体管(TFT)玻璃基板，包含薄膜晶体管、存储电容器、画素电极以及互联布线；滤色片玻璃基板，包含黑色矩阵及滤色片阵列以及透明共用电极；由聚酰亚胺制成的取向膜；以及实际液晶材料，包含塑料/玻璃间隔体以维持恰当的LCD单元厚度。[0003]LCD面板是在高度受控的条件下在洁净室环境中制造，以使良率最大化。然而，许多IXD因为制造瑕疵而不得不被丢弃。[0004]如上所述，为提高复杂电子装置(例如LCD面板)的生产良率，执行各种检验步骤来识别在制造过程(process)的各个步骤期间可能出现的各种缺陷。可在各制造步骤之间或在完成整个制造过程之后执行上述检验步骤。上述检验过程的一个实例是测试液晶(LC)显示器及有机发光二极管(OLED)显示器中所用的TFT阵列是否存在电性缺陷。使用各种检验装置来执行上述测试。可用于此种目的的实例性装置包括由位于美国加利福尼亚州圣何塞(SanJose,California,USA)的奥宝科技有限公司(OrbotechLtd.)市售的阵列检查器(ArrayChecker)AC5080。作为另外一种选择，可使用所属领域的技术人员所已知的且可在市场上购得的电子束检验系统来执行TFT阵列测试。[0005]在典型的面板检验设备中，欲被测试的LCD玻璃面板被安全地放置在巨大的检验机台上，且检验装备(例如光学或光电(electro-optical)检验头)位于IXD面板玻璃上方。在此种检验中，需要快速且准确地在检验机台上移动待测LCD面板。在一个实例中，以引用方式并入本文中的美国专利案第7，543，867号阐述一种用于LCD面板定位操作中的真空操作抓持器。所阐述的面板抓持器包括用以接触LCD面板的真空垫以及连接至所述真空垫的轴。在检验期间，可转动真空垫及轴总成来促进LCD面板的转动(校正平直度(squaring))。[0006]所属领域的一般技术人员应理解，为实现面板移动，期望靠近边缘来牢固地抓持面板从而避免干扰检验过程。因此，需要提供新的、改进的抓持器设计。【
实用新型内容】[0007]本实用新型涉及用于实质上消除上述及其他与传统抓持器相关联的问题中的一或多个问题的方法及系统。[0008]根据本实用新型的一个方面，提供一种用于抓持物体的抓持器，所述抓持器包括:刚性主体(rigidmainbody);真空垫总成(vacuumpadassembly)，附装至所述刚性主体，所述真空垫总成包括抓持表面，所述抓持表面用于在对所述真空垫总成施加真空时抓持所述物体；致动器，用于相对于所述刚性主体而移动所述真空垫总成；以及真空发生器，位于邻近所述真空垫总成处，并用于将所述真空施加至所述真空垫总成以使所述抓持表面抓持所述物体。[0009]各种实施例包括:所述抓持表面包括耦合至所述真空发生器的多个孔。[0010]各种实施例包括:所述真空垫总成包括多个单独的真空区(vacuumzone)ο[0011]各种实施例包括:所述刚性主体包括中空部(hollowport1n)，且其中所述真空发生器设置于所述刚性主体的所述中空部内。[0012]各种实施例包括:真空传感器，用于监测由所述真空发生器产生的真空的至少一个参数，其中所述真空传感器设置于所述主体的中空部内。[0013]各种实施例包括:所述致动器利用刚性親合器(rigidcoupling)而被机械親合至所述真空垫总成。[0014]各种实施例包括:所述真空垫总成包括真空垫总成框架及顶部，其中所述抓持表面设置于所述顶部上。[0015]各种实施例包括:所述顶部，相对于所述真空垫总成框架枢转并利用多个锁定构件(lockingmember)而被固定于定位上，从而使得所述顶部的所述抓持表面与所述物体的表面对齐。[0016]各种实施例包括:所述真空发生器利用用于将真空递送至所述真空垫总成的多个管道(pipe)而被親合至所述真空垫总成。[0017]各种实施例包括:所述多个管道是短的刚性管道。[0018]各种实施例包括:所述真空垫总成通过线性轨道(linearrail)附装至所述主体且其中所述真空垫总成用于在所述线性轨道上滑动。[0019]各种实施例包括:所述真空垫总成用于在由所述致动器产生的致动力致动下沿垂直方向在所述线性轨道上滑动。[0020]各种实施例包括:所述真空垫总成框架附装至所述线性轨道。[0021]各种实施例包括:控制器，所述控制器使所述致动器相对于所述主体而移动所述真空垫总成以执行对所述物体的抓持。[0022]各种实施例包括:控制器，其中所述刚性主体用于相对于用以固持所述物体的机台(table)而移动，且其中所述控制器用于使所述致动器相对于所述主体而移动所述真空垫总成以补偿所述机台高度的变化。[0023]各种实施例包括:所述致动器设置于所述刚性主体的中空部内。[0024]在各种实施例中，所述真空发生器为文丘里(Venturi)真空泵。[0025]根据本实用新型的另一方面，提供一种用于检验物体的检验设备，所述检验设备包括:用于固持所述物体的机台；位于所述机台上方的检验头，用于检验所述机台上的所述物体；用于抓持所述物体并在所述机台上移动所述物体的抓持器，所述抓持器包括:刚性主体；真空垫总成，附装至所述刚性主体，所述真空垫总成包括抓持表面，所述抓持表面用于在对所述真空垫总成施加真空时抓持所述物体；致动器，用于相对于所述刚性主体而移动所述真空垫总成；以及真空发生器，位于邻近所述真空垫总成处，并用于对所述真空垫总成施加真空以使所述抓持表面抓持所述物体。[0026]各种实施例包括:所述抓持表面包括耦合至所述真空发生器的多个孔。[0027]各种实施例包括:所述真空垫总成包括多个单独的真空区。[0028]各种实施例包括:所述刚性主体包括中空部，且其中所述真空发生器设置于所述刚性主体的所述中空部内。[0029]各种实施例包括:真空传感器，用于监测由所述真空发生器产生的真空的至少一个参数，其中所述真空传感器设置于所述主体的中空部内。[0030]各种实施例包括:所述致动器利用刚性耦合器而被机械耦合至所述真空垫总成。[0031]各种实施例包括:所述真空垫总成包括真空垫总成框架及顶部，其中所述抓持表面设置于所述顶部上。[0032]各种实施例包括:所述顶部相对于所述真空垫总成框架枢转并利用多个锁定构件而被固定于定位上，从而使得所述顶部的所述抓持表面与所述物体的表面对齐。[0033]各种实施例包括:所述真空发生器利用用于将真空递送至所述真空垫总成的多个管道而被耦合至所述真空垫总成。[0034]各种实施例包括:所述多个管道是短的刚性管道。[0035]各种实施例包括:所述真空垫总成通过线性轨道附装至所述主体，且其中所述真空垫总成用于在所述线性轨道上滑动。[0036]各种实施例包括:所述真空垫总成用于在由所述致动器产生的致动力致动下沿垂直方向在所述线性轨道上滑动。[0037]各种实施例包括:所述真空垫总成框架附装至所述线性轨道。[0038]各种实施例包括:控制器，所述控制器使所述致动器相对于所述主体而移动所述真空垫总成以执行对所述物体的抓持。[0039]各种实施例包括:控制器，其中所述刚性主体用于相对于用以固持所述物体的机台而移动，且其中所述控制器用于使所述致动器相对于所述主体而移动所述真空垫总成以补偿所述机台高度的变化。[0040]各种实施例包括:所述致动器设置于所述刚性主体的中空部内。[0041]在各种实施例中，所述真空发生器为文丘里真空泵。[0042]与本实用新型相关的其他方面将在以下说明中予以部分地阐述，且将通过本说明而部分地变得显而易见或可通过实践本实用新型而得知。本实用新型当前第1页1 2 3