的各个方面可通过各元件及通过在以下详细说明及随附权利要求书中所特别指出的各种元件以及各个方面的组合来实现及获得。
[0043]应理解，以上说明及以下说明二者仅为实例性的及解释性的，而并非旨在以任何方式限制本实用新型及本实用新型的应用。
【附图说明】
[0044]并入本说明书中并构成本说明书一部分的附图例示本实用新型的实施例，并与本说明一起解释及例示本实用新型的原理。具体而言:
[0045]图1例示抓持器总成的实例性实施例的总体视图；
[0046]图2例示安装于真空垫安装总成上的真空垫总成的实例性实施例；
[0047]图3例示安装于真空垫安装总成上的真空垫总成的实例性实施例的剖视图；以及
[0048]图4例示设置于抓持器主体的中空部中的真空发生总成的实例性实施例。
【具体实施方式】
[0049]在下文说明中，将参考附图，在各附图中以相同编号表示相同的功能元件。上述附图以例示方式而非以限制方式显示根据本实用新型原理的具体实施例及实施方案。对这些实施方案进行非常详细的说明以使所属领域的技术人员能够实践本实用新型，且应理解，在不背离本实用新型的范围及精神的条件下，可利用其他实施方案以及可对各种元件进行结构上的改变及/或替代。因此，以下详细说明不应被视为具有限制意义。
[0050]根据本文所述的一或多个实施例，提供一种用于搬运薄片材料(例如LCD面板玻璃)的高精度抓持器总成。在一或多个实施例中，所述抓持器总成用于在检验设备的气悬浮机台(floating air table)的旁边滑动，从而促进IXD面板玻璃在悬浮机台(floatingtable)上移动。在一或多个实施例中，抓持器总成被设计成在悬浮机台上方以高的加速度(10米/秒~2)及高的速度(2米/秒)来移动大的LCD玻璃面板(例如，尺寸为2米X2米)。机台用于执行非常精确及可重复的移动。用于检验物体的检验头(例如光电检验头)可定位于机台上方以对机台上的物体执行检验。
[0051]图1例示抓持器总成100的实例性实施例的总体视图。所示实施例包括主体101以及两个真空垫总成102，真空垫总成102利用多个真空垫安装总成103而被安装于主体101上。在一或多个实施例中，主体101及真空垫安装总成103是中空的机械结构，其被设计成具有预定刚度(rigidity)参数。在一或多个实施例中，主体101可利用托架(carriage)总成及致动器(未显示)而相对于检验设备的气悬浮机台而移动。在一或多个实施例中，抓持器主体101可最长达数米且可携带多个真空垫总成102以在移动期间为LCD玻璃提供更好的支撑。
[0052]图2例示安装于真空垫安装总成103上的真空垫总成102的实例性实施例。参照图2，真空垫总成102包含具有抓持表面201的顶部207，抓持表面201被设计成利用真空抓持技术而附装至欲被移动的物体，例如LCD玻璃面板。为此，抓持表面201由具有大量微小尺寸的孔的材料制成。举例而言，抓持表面201可为具有利用例如激光钻孔(laserdrilling)而在其中钻制大量微孔的金属板条(strip)。抓持表面201中的前述微孔或细孔(pore)与以下所详细阐述的真空垫总成102的真空系统耦合。具有抓持表面201的真空垫总成的顶部207利用多个锁定构件205以及多个紧固件208而被安装于真空垫总成框架206上。
[0053]在一或多个实施例中，真空垫总成102可相对于抓持器主体101而沿Z (垂直)方向移动。为此，真空垫总成框架206被可滑动地安装于Z线性轨道202上，而Z线性轨道202又相应地被附装至真空垫安装总成103。在一或多个实施例中，真空垫安装总成框架206用于在位于抓持器主体101的中空部204内的Z致动器203的机械致动下沿垂直方向在Z线性轨道202上滑动。所属领域的技术人员应理解，可将被致动的Z-自由度的可用性(availability)用于抓持运动并用于补偿检验机台的高度相对于抓持器轴线的垂直位置的变化。
[0054]在一或多个实施例中，具有抓持表面201的真空垫总成的顶部207相对于真空垫总成框架206而围绕垂直(Z)轴线在水平(X，Y)平面中枢转，且其相对于真空垫总成框架206的位置是利用多个fx，fy锁定构件205及多个紧固件208而被固定于水平X/Y平面中。在一个实施例中，紧固件208为螺钉。所属领域的一般技术人员应理解，抓持表面201的宽度可足够小，从而使其可附装至位于薄边缘区域中的LCD玻璃，以保证其运动不会干扰缺陷检测过程。
[0055]图3例示安装于真空垫安装总成103上的真空垫总成102的实例性实施例的剖视图。从图3可以看出，真空垫总成的顶部207围绕装备有枢轴轴承(pivot bearing)的枢轴301而相对于真空垫总成框架206在水平(X，Y)平面上枢转。在一或多个实施例中，枢轴301为球形(sphere)枢轴。应注意，本实用新型并不限制于使用球形枢轴，且亦可使用任何其他机械附装技术来提供在各个自由度上的运动。
[0056]在一或多个实施例中，利用枢转来调整抓持表面201在水平(X，Y)平面中以及可能在垂直(Z)平面中的取向，以恰当地对齐抓持表面201，抓持表面201用于抓持利用抓持器所移动的LCD玻璃的边缘。具体而言，垫总成顶部207以及抓持表面201的取向被调整成使抓持表面201实质平行于LCD玻璃。一旦设定抓持表面201的最佳取向，抓持表面201便会利用锁定构件205而被保持于定位上，锁定构件205在一个实施例中为薄的金属板。
[0057]在一或多个实施例中，致动器203对致动器轴303施加垂直(Z)致动力，而致动器轴303又相应地将所述致动力经由刚性耦合器302传递至真空垫总成框架206，从而使真空垫总成框架206沿垂直方向(向上或向下)移动。所述致动器203及其控制系统用于抓持IXD玻璃。在一或多个实施例中，致动器203也被用于补偿悬浮于检验设备的机台上的玻璃与机台之间的高度差。举例而言，在沿Y轴移动抓持器期间，可逐渐调整抓持表面201的Z位置以补偿机台高度变化。在一或多个实施例中，所述系统是通过利用机台高度传感器获得并存储整个机台上的机台高度的测量值而被校准。
[0058]在一或多个实施例中，致动器203可为液压致动器、电性致动器(例如电磁致动器)、压电致动器、机电致动器(例如直线电动机(linear motor))、或气动致动器。因此，致动器203的类型对于所述实施例而言并非至关重要，且可使用任何现在已知或以后开发的致动器来实现真空垫总成102的垂直(Z-轴)移动。
[0059]图4例示设置于抓持器主体101的中空部401中的真空发生总成400的实例性实施例。所属领域的技术人员应理解，通过将抓持器主体101内的真空发生总成400紧邻真空垫总成102设置，便不再需要设置用于将真空传递至抓持器的长的柔性管道。在一或多个实施例中，由于将真空发生总成400有利地放置于抓持器主体101内，所以将真空载送管道403制成短的及刚性的。这使得真空发生总成400将更高的真空度在更短时间内递送至真空垫总成102的能力增强，从而使抓持更牢固且更快。
[0060]在一或多个实施例中，每一真空垫总成102被细分成多个真空区域。在一或多个实施例中，可将真空垫总成102细分成最多达4个独立的真空区域。区域的精确数目可依在检验过程中所使用的材料的类型(例如LCD玻璃)而定。所属领域的技术人员应理解，上述独立的区域会确保在所述多个真空区域中的一者中所发生的泄漏不会对其他真空区域中的真空强度产生不利影响。
[0061]在一或多个实施例中，利用邻设于真空垫总成102的文丘里真空泵401为抓持器形成真空。在一或多个实施例中，文丘里真空泵401放置于抓持器主体101的中空部404内，请参见图4。
[0062]所属领域的技术人员应理解，使用位置紧邻真空垫总成102的文丘里真空泵401会使得在真空垫总成102处更加快速且更容易地打开及关闭真空。然而应注意，本实用新型并不限制于使用所揭露的文丘里真空泵，可将任何其他真空泵、真空喷射器(ejector)或任何其他用于产生真空的装置与本文中所揭露的抓持器设计连接使用。实例性真空发生装置包括回转式滑片泵(rotary vane pump)、隔膜泵(diaphragm pump)、液环(liquidring)、活塞泵(piston pump)、祸旋泵(scroll pump)、螺旋泵(screw pump)、汪克尔泵(wankel pump)、偏心旋转泵(external vane pump)、增压泵(booster pump)、多级鲁氏泵(multistage Roots pump)、托普勒泵(Toepler pump)或凸轮泵(Lobe p