蒸镀聚酰胺系树脂薄膜及使用了该薄膜的薄膜卷的制作方法

专利名称：：蒸镀聚酰胺系树脂薄膜及使用了该薄膜的薄膜卷的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜及使用了该薄膜的薄膜巻，特别是涉及一种与聚烯烃系树脂薄膜层叠并可以用于包装杀菌袋装食品(retortfood)等的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜及使用了该薄膜的薄膜巻。技术背景以尼龙为主要成分的双轴定向聚酰胺树脂薄膜，坚韧且气体屏障性、耐针孔性、透明性、印刷性等优异，因此，作为各种液体状食品、含水食品、冷冻食品、杀菌袋装食品、糊状食品、畜肉.水产食品等各种食品的包装材料被广泛实用化。但是，在聚酰胺系树脂单体中，气体屏障性有限，不能说一定适于生鲜食料品等包装用途。作为用于提高聚酰胺系树脂薄膜的气体屏障性的办法，已知有在聚酰胺系树脂薄膜的表面蒸镀金属等的方法。但是，当聚酰胺系树脂薄膜的物性不均匀时，在金属蒸镀层的厚度及与金属蒸镀层的粘接强度方面产生偏差，且气体屏障性也不均匀。在专利文献1及2中提案有一种方法，所述方法将蒸镀前的聚醜胺薄膜巻的沸水收缩率、沸水收缩率方向差、厚度等调整为特定的数值范围，并且规定对这些物性的长度方向的变动率，由此得到不产生S形巻边的蒸镀双轴定向聚酰胺系树脂薄膜。[专利文献1特开2006-334781号7>才艮[专利文献2特开2007-021771号〃>才艮在所述的技术中，着眼于聚酰胺薄膜的长度方向的热收缩率的偏差和厚度，由此，可以解决S形巻边现象。但是，在专利文献1及2中，对薄膜的强伸度的各向异性没有提及。一般在聚酰胺树脂薄膜中，根据薄膜的横向(宽度方向，下面有时简称为"TD")和纵向(长度方向，下面有时简称为"MD")，在强伸度等机械特性的值上有差别。因此，存在如下使用情况变差的问题在将薄膜加工成包装材料等制品时，在制品强度上为各向异性，作为整体有时强度不足等。另一方面，近年来，为了抑制蒸镀工序的成本，蒸镀加工业者对未加工膜(原反74/k厶)制造业者提出强烈的要求，希望将未加工膜巻做成30000m以上的长尺寸巻。因此，需要将蒸镀前的聚酰胺薄膜巻进一步进行长尺寸化。但是，更精密地控制薄膜的宽度方向的物性平衡并均匀地保持薄膜的平面性困难，将未加工膜巻做成30000m以上的薄膜巻非常困难。
发明内容本发明者对用于生产高度均匀的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜巻的生产技术反复进行了潜心研究，结果完成了本发明。本发明的目的在于，提供一种长尺寸的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，所述长尺寸的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜消除现有的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜巻的问题点，取得各种物性的平衡，且物性优异。本发明是基于如下见解而完成的，通过在聚酰胺薄膜中发现并控制来自聚酰胺树脂的特定的微晶结构，可以得到取得了各种物性的平衡的聚酰胺树脂薄膜。即，本发明者发现，通过控制微晶的尺寸、分布，可以生产性良好地制造取得了各种物性的平衡的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，从而完成本发明。即，本发明的要点如下所述。(l)一种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，其在聚酰胺系树脂薄膜的至少一面蒸镀有无机物质，其特征在于，蒸镀前的聚酰胺系树脂薄膜满足下述(a)(d)的全部条件(a)薄膜的横向的中心部的厚度(TO)和端部的厚度(Tl)之比(T0/Tl)为0.9~1.1，(b)有关薄膜的纵向及横向上的薄膜撕裂传播阻力的比值(纵向的撕裂传播阻力)/(横向的撕裂传播阻力)=0.7~1.3,(c)最大拉伸弹性模量方向差为0.5以下，(d)沸水收缩率方向差为1.5以下。(2)如(1)所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，其特征在于，在聚酰胺系树脂薄膜的薄膜面上的100xl00jim的范围，存在1~1000个平均粒径为0.1~10nm的来自聚酰胺树脂的微晶。(3)如(2)所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，其特征在于，聚酰胺系树脂薄膜的来自聚酰胺树脂的微晶的70%以上的粒径位于前述微晶的平均粒径的0.5-1.5倍的范围内。(4)如(1)(3)中任一项所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，其特征在于，聚酰胺系树脂薄膜的结晶完全性为70%以上。(5)—种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜的制造方法，其为用于制造上述(1)(4)中任一项所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜的方法，其特征在于，将从口模熔融挤出的树脂片推压在流延辊上而得到未拉伸薄膜时的介于流延辊和树脂片之间的空气层厚度为50220jtm，且使未拉伸薄膜通过含有水温相互不同的第l段和第2段的2槽以上的吸水槽而使其吸水，同时，将此时的第l段的吸水槽的水温设定为3050t:的范围内的任意温度，且进行温度控制，以使其处于前述温度士8"C的范围，将吸水后的未拉伸薄膜进行同时双轴拉伸。(6)—种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜巻，其特征在于，上述(1)(4)中任一项的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜被巻绕成巻状。(7)如(6)所述的蒸镀聚醜胺系树脂薄膜巻，其特征在于，使用宽度l~5m且长度30000m50000m的巻绕成巻状的聚酰胺系树脂薄膜，蒸镀无机物质，巻绕而成。(8)—种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜巻，其特征在于，通过将上述(7)所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜巻的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜切割并重新巻绕成巻状而得到，切割后的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜的宽度为0.23m，长度为500~6000mo(9)一种蒸镀聚酰胺系层叠树脂薄膜，其特征在于，上述(1)(4)中任一项的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜与聚烯烃系树脂薄膜层叠而成。本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜中，通过控制待实施蒸镀的聚酰胺树脂薄膜的微晶结构，可以生产纵向和横向的物性平衡优异、且平面性优异的薄膜。因此，可以进行做成薄膜巻时的长尺寸化，可以大幅度降低蒸镀成本。图1是表示用于制造本发明的聚酰胺树脂薄膜的制造装置的一例的图。具体实施方式下面，详细地说明本发明。本发明的目的在于，着眼于来自聚酰胺树脂的微晶这样的一个变量，由此控制薄膜的平面性即巻姿的良好性、厚度不均、强度、物性平衡(偏差)。在本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜中，实施蒸镀前的聚酰胺系树脂薄膜满足下述(a)(d)的全部条件。(a)薄膜的横向的中心部的厚度(TO)和端部的厚度(Tl)之比(T0/Tl)为0.9~1.1，(b)有关薄膜的纵向及横向上的薄膜的撕裂传播阻力的比值(纵向的撕裂传播阻力)/(横向的撕裂传播阻力)=0.7~1.3，(c)最大拉伸弹性模量方向差为0.5以下，(d)沸水收缩率方向差为1.5以下。对上述(a)(d)详细地进行说明。本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，实施蒸镀前的聚酰胺系树脂薄膜的薄膜宽度方向中的中心部的厚度(TO)和端部的厚度(T1)之比(T0/Tl)为0.9~1.1。当其为该范围时，在薄膜加工时得到没有垂度及皱褶的薄膜，在蒸镀加工、层叠加工的工序中没有产生不良，可以生产性良好地制造制品。另外，在这种薄膜中，可以将接近全幅制造好的薄膜做成制品，其生产性高。当比值(T0/Tl)偏离0.9-1.1的范围时，不可能得到超过30000m的长尺寸薄膜巻。即使形成了，也会在蒸镀加工时产生垂度及铍褶。这里，薄膜宽度方向中的中心部，是指沿薄膜宽度方向的中心位置。端部是指沿薄膜宽度方向从薄膜末端向中心至距离末端为总宽度的10%的位置的部分。端部的厚度是指两端部的厚度的平均值。其次，对有关薄膜的纵向及横向上的薄膜的撕裂传播阻力的比值进行说明。在本发明中，蒸镀前的聚酰胺系树脂薄膜的纵向及横向上的撕裂传播阻力的比值需要为(纵向的撕裂传播阻力)/(横向的撕裂传播阻力)=0.7~1.3。优选为0.85-1.1。通过为该范围内，成为薄膜的纵向/横向的物性平衡好，且尺寸稳定性优异的薄膜。其结果得到不产生印刷制袋时的印刷偏移及制袋品的扭转等的良好的制品。在偏离上述范围时，纵向/横向的物性差、尺寸稳定性差。在这种薄膜中产生印刷制袋时的印刷偏移及制袋品的扭转等，制袋加工的不良率升高。其次，对最大拉伸弹性模量方向差进行说明。就拉伸弹性模量方向差而言，将薄膜的横向设定为0°，在由该O。方向沿顺时针30。、60。、卯°(纵向)、120。、150。的方向分别截出样本，在对各样本测定20X:、65%RH时的拉伸弹性模量时，将其最大值和最小值之差设定为拉伸弹性模量方向差。这里，拉伸弹性模量方向差是对薄膜的宽度方向的两端部和中心部的三点测求，将三点的最大值设定为最大拉伸弹性模量方向差。本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，待实施蒸镀的聚酰胺系树脂薄膜的最大拉伸弹性模量方向差需要为0.5以下。优选0.35以下，进一步优选为0.25以下，当为该范围时，成为蒸镀聚酰胺系树脂薄膜的物性平衡及尺寸稳定性优异，且各种加工适应性优异的薄膜。当最大拉伸弹性模量方向差超过0,5时，成为物性平衡、尺寸稳定性差的薄膜，加工适应性降低。需要说明的是，薄膜的拉伸断裂强度也依赖于使用的目的，但至少优选为180MPa以上。当其低于180MPa时，容易产生如下不良与作为聚酰胺树脂薄膜所要求的强度相比，为不足的强度。下面，对沸水收缩率方向差进行说明。这里，在薄膜宽度为2500mm以上时，将在距薄膜的中心部分别右和左1000mm的位置设定为中心位置，在薄膜宽度小于2500m时，将距两端150mm的位置设定为中心位置，在薄膜上画直径200mm的圆，将薄膜的横向设定为0°，在沿顺时针45°和135°的方向，由沸水处理前后的圆的直径差求出沸水收缩率的差，将在左右两侧测定的沸水收缩率的差的平均值设定为沸水收缩率方向差。本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，实施蒸镀前的聚酰胺系树脂薄膜的沸水收缩率方向差需要为1.5以下。优选为1.25以下。沸水收缩率方向差给在沸水处理时产生的巻边现象带来很大影响，只要可以抑制到1.5以下，就可以尽可能地抑制沸水处理时的挠曲，且可以防止S形巻边现象的发生。得到全部满足前述(a)(d)的全部性能的聚酰胺系树脂薄膜非常困难，但本发明者发现，蒸镀前的聚酰胺系树脂薄膜的微晶结构与薄膜物性强烈相关，控制薄膜的微晶结构，由此可以制造平衡好地满足了各种物性的聚酰胺树脂薄膜，从而完成本发明。下面，对微晶进行说明。本发明中所说的微晶，是利用光学显微镜观察的微晶，与通过X线衍射等测定的微晶等不同。在利用双轴拉伸法制作薄膜时，有时形成用光学显微镜的倍数也可以观察的粒状的微晶结构。该微晶结构通过调整薄膜的制膜条件，其形态发生变化，且显现密度、大小等发生变化。这些微晶即使施加偏振光，也不能观察到特有的马尔特十字接头图案，与球晶结构不同。另外，只有将薄膜仅进行纵拉伸或横拉伸，不能观察粒状的微晶结构，只有纵及横拉伸的拉伸倍率等各种条件齐备时才形成。特别是在逐次双轴拉伸法中不能观察，仅在同时双轴拉伸法的情况能观察到的特有的结构。聚酰胺树脂薄膜，在拉伸时进行结晶化，结晶在拉伸方向进行定向。逐次拉伸中，在最初的纵拉伸时进行结晶化，其后的横拉伸中，由于在纵拉伸中已经进行结晶化，故与纵拉伸相比，结晶化的进行程度缩小，成为在纵向定向了的结晶。因此认为不产生粒状的微晶。但是，在同时双轴拉伸中，由于同时进行纵、横的拉伸，故通常认为结晶化是以纵、横向为中心而平衡好地进行，且生成粒状的微晶。本发明者发现，该微晶与薄膜物性强烈相关，控制薄膜的微晶结构，由此可以制造平衡好地满足了各种物性的聚酰胺树脂薄膜，从而完成本发明。为了得到本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，需要在待实施蒸镀的聚酰胺系树脂薄膜的薄膜面上的100xl00jim的范围存在1~1000个平均粒径为0.110jtm的来自聚酰胺树脂的微晶(下面，也称为"聚酰胺微晶")。如上所述，对于聚酰胺微晶的大小而言，需要平均粒径为0.110^un，优选为0.58pm,进一步优选为l~5pm。这里，平均粒径是指，沿薄膜的方向，对两端部和中央部的三点(11=4，总计12点)，对使用偏振光显微镜观察过的任意的结晶100个，将最长边规定为粒径，且100个x12点=1200个粒子的粒径的平均值。在平均粒径小于O.ljim时，不能稳定地得到本发明的薄膜。相反，在平均粒径大于10fim时，雾度增大，并且拉伸断裂多发等操作性变差。对于薄膜面上的任意位置，都需要在100xl00jim的范围存在11000个聚酰胺微晶，优选存在2-200个。由此，可以得到薄膜的平面性即巻姿优异，且撕裂传播阻力的纵横比适当，拉伸弹性模量的方向差小，取得了平衡的薄膜。当在任意的测定位置之一不满足上述条件时，不能得到取得了平衡的薄膜。在本发明的聚酰胺树脂薄膜中，对于聚酰胺微晶的70%以上，优选其粒径为这些微晶的平均粒径的0.51.5倍的范围内。只要为该范围内，就可以得到结晶完全性高、且拉伸强度高的聚酰胺系树脂薄膜。位于聚跣胺微晶的平均粒径的0.5-1.5倍的范围内的聚酰胺微晶低于70%时，即粒径的分散大时，结晶完全性降低，且拉伸强度缩小。另外，对于聚酰胺微晶的70%以上，其粒径不在这些微晶的平均粒径的0.5-1.5倍的范围内时，即粒径集中在小径或大径侧时，结晶完全性降低，且拉伸强度缩小。本发明中所使用的聚酰胺系树脂薄膜，即实施蒸镀前的聚酰胺系树脂薄膜，优选结晶完全性为70%以上。结晶完全性是如下的指标用由下述(i)式求出的值，将薄膜用X线衍射法进行分析，此时，观察到的微晶(聚酰胺树脂中的实际的结晶)形成多少接近于完全结晶的结构。结晶完全性={[d(200)/d(002),当结晶完全性为70%以上时,于70%时，薄膜强度容易降低。(202)]-1}/0.211X100(i)式薄膜的拉伸强度高。当结晶完全性小在本发明中使用的聚酰胺系树脂，可以列举例如以s-己内酰胺为主要原料的尼龙6。另外，其他聚酰胺树脂可以列举通过3元环以上的内酰胺、co-氨基酸、二元酸和二胺等的缩聚反应得到的聚酰胺树脂。具体来讲，内酰胺类除之前所示的e-己内酰胺之外，可以列举y-丁内酰胺、庚内酰胺、辛内酰胺、月桂内酰胺。co-氨基酸类可以列举6-氨基己酸、7-氨基庚酸、9-氨基壬酸、11-氨基十一酸。二元酸类可以列举己二酸、戊二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、十一烷二酸、十二烷二酸、十六烷二酸、二十烷二酸、二十碳二烯二酸、2，2，4-三甲基己二酸、对苯二酸、间苯二酸、2.6-萘二羧酸、二甲苯二羧酸。二胺类可以列举乙二胺、丙二胺、四甲撑二胺、六曱撑二胺、五曱撑二胺、十一曱撑二胺、2，2,4(或2，4，4)-三曱基六甲撑二胺、环己二胺、二-(4,4，-氨基环己基)甲烷、间苯二甲胺等。而且，将它们进行缩聚反应而得到的聚合物或它们的共聚物可以使用例如尼龙4、6、7、11、12、6.6、6.9、6.11、6.12、6T、61、MXD6(聚己二酰间苯二甲胺6)、6/6.6、6/12、6/6T、6/61、6/MXD6等。在制造本发明中使用的聚酰胺系树脂薄膜时，可以将上述聚酰胺系树脂单独或混合2种以上、或做成多层而使用。在上述聚酰胺系树脂中，本发明中特别优选的是相对粘度为2.0~3.5的范围的聚酰胺系树脂。这是因为聚酰胺系树脂的相对粘度给得到的双轴拉伸薄膜的强韧性及伸展性等带来影响，在相对粘度小于2.0的聚酰胺系树脂中，冲击强度有不足的倾向，相反，在相对粘度超过3.5的聚酰胺系树脂中，随着拉伸应力的增大，双轴拉伸性有变差的倾向。在本发明中，相对粘度是指，使用在97.5%硫酸50ml中溶解有聚合物0.5g的溶液，在25X:下测定时的值。在构成本发明的蒸镀薄膜的聚酰胺系树脂薄膜中，在不阻碍其特性的范围内也可以含有润滑剂、抗阻塞剂、热稳定剂、抗氧化剂、抗静电剂、耐光剂、耐冲击性改良剂等各种添加剂。特别是为了具有良好的双轴拉伸薄膜的滑动性，优选含有各种无机粒子。而且，当添加发挥降低表面能量的效果的亚乙基双硬脂酸等有机润滑剂时，构成薄膜巻的薄膜的滑动性优异，因此优选。这些润滑剂的添加量优选0.01-1质量％的范围。而且，在构成本发明的蒸镀薄膜的聚酰胺系树脂薄膜中，为了根据用途改良尺寸稳定性，也可以施行热处理及调湿处理。而且，为了具有良好的薄膜表面的粘接性，也可以施行电晕处理、涂敷处理、火焰处理等，或者施行印刷等加工。下面，对用于得到本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜的优选的制造方法进行说明。本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜通过如下方法得到将作为原料的聚酰胺树脂屑片熔融挤出而得到未拉伸薄膜，对其进行双轴拉伸后，通过在该双轴拉伸薄膜的表面蒸镀无机物质来制造。在未加工膜的制造业者和进行蒸镀工序的业者不同的情况等下，将未加工膜巻绕成巻后，把该巻搬运到蒸镀车间，然后可以一边将薄膜退巻，一边进行蒸镀。在制造本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜中使用的聚酰胺系树脂薄膜时，优选利用同时双轴拉伸法进行拉伸。用逐次双轴拉伸法或充气吹胀法拉伸的情况，粒状的微晶结构不能被观察到或非常少。通常认为，只有下述情况下形成粒状的微晶结构，即，通过拉伸促进结晶的生长，同时，在结晶生长时，在纵拉伸及横拉伸的平衡及其他条件齐备。将本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜中使用的蒸镀前的聚酰胺系树脂薄膜的制造方法，使用图进行说明。图l是拉伸聚酰胺薄膜的一般的制造方法的工序图。首先，对装料斗l供给原料树脂颗粒，用挤出机2进行可塑化熔融，将熔融好的树脂由安装在挤出机2的前端的T口模3挤出成片状，用流延辊4进行冷却固化。此时，将流延辊的温度设定范围设定为20-80x:，利用空气将聚酰胺树脂推压在流延辊上，得到未拉伸薄膜。此时，对于介于流延辊和聚酰胺树脂之间的空气层厚度，端部比辊中央部厚，但无论取哪个位置，都必须为50~220nm。优选为85~190Mm。在将熔融片推压在冷却用的流延辊4上而进行冷却固化时，作为推压的方法，有对熔融片的宽度方向的两端吹空气的空气喷嘴法、对熔融片的整个宽度吹空气的气刀法、利用高电压电极使电荷析出并静电地附着在熔融片上的静电附着法等。其中，在空气层厚度几乎没有的静电密合法中，不能显现聚酰胺微晶。在气刀法或空气喷嘴法中，仅在空气层的厚度为上述范围时，显现聚酰胺微晶。在空气层的厚度小于50nm时，得到的未拉伸薄膜的结晶化度过低，不产生微晶，或即使产生，也为非常小的微晶，因此，最终得到的薄膜的聚酰胺微晶的大小仅为O.lnm以下。另外，在空气层的厚度超过220nm时，微晶过于生长，产生大的结晶粒界，最终得到的薄膜的聚酰胺微晶的大小超过了10nm。于是，产生薄膜白化等问题。流延辊和未拉伸片间的距离(空气层厚度)，可以使用例如激光聚焦变位计(Keyence公司制造)进行测定。由于在拉伸薄膜中产生弓弯(bowing)现象，故结晶化的进行程度因拉伸薄膜的宽度方向的位置而不同。因此，为了使宽度方向及斜方向的物性均匀，优选使在推压到冷却辊的工序中生成的微结晶的尺寸和分布最终在薄膜的各位置均匀。为了使薄膜的各位置中的微晶的尺寸和分布位于本发明的范围内，仅控制空气层是不充分的。通常，未拉伸薄膜在通过图l所示的吸水处理工序5后，由拉伸工序6在纵横双轴方向同时进行拉伸，作为拉伸聚酰胺薄膜的制品7被巻绕。为了使薄膜的各位置中的微晶的尺寸和分布位于本发明的范围内，需要控制吸水处理工序。使具有微晶的未拉伸薄膜通过吸水处理工序，由此决定微晶的尺寸及分布。因此，吸水处理工序优选在温度不同的2槽以上的吸水槽中进行实施，第1阶段的吸水槽的水温对微晶的尺寸及分布给予影响。第1阶段的吸水槽的水温设定为3050"C的范围内的任意值，需要在士8t:的范围内进行温度控制。优选为土5"C的范围，更优选为土3"C的范围。如果第l阶段的吸水槽的水温不足3ox:,则阻碍聚酰胺微晶的生长。相反，当其超过50t:时，在未拉伸薄膜上容易出现铍褶，得到的拉伸薄膜的品质下降。当第i阶段的吸水槽的水温根据场所不同而偏差土8t:以上时，聚酰胺微晶的分布产生偏差，其结果是，最终得到的聚酰胺拉伸薄膜的热收缩率、断裂伸长率的偏差变大。在通过该第1阶段的吸水槽后，在将水温设定为40卯C的第2阶段以后的吸水槽中，将薄膜的水分率调节为2~10质量％。而且，导入同时双轴拉伸机，在纵2~5倍、横2~5倍的范围进行拉伸，且在设定温度为180240"C的范围进行热处理后，在0.1~10%的范围进行松弛处理，可以得到所期望的薄膜。这样得到的聚酰胺系树脂薄膜被巻绕成巻状，构成薄膜巻，但没有厚度不均，且纵向及横向中的物性差小，物性平衡优异，在薄膜的哪个方向、哪个位置都具有相近的物性。而且，可以进行长尺寸巻化，因此也可以做成薄膜的宽度为15m、长度为30000m50000m的薄膜。因此，可以大幅度降低作为后工序的蒸镀工序的成本。在聚酰胺系树脂薄膜上层叠无机蒸镀层，该无机蒸镀层对得到的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜赋予高的气体屏障性。具有这种作用的无机物蒸镀层的材料可以列举Si、Al、Ti、Zn、Zr、Mg、Sn、Cu、Fe等金属及它们的氧化物、氮化物、氟化物、硫化物等。具体地可以例示SiOx(x-1.02.0)、氧化铝、氧化镁、硫化锌、二氧化钛、氧化锆、氧化铈或它们的混合物。无机蒸镀层可以是1层，或也可以是2层以上的层叠体。无机蒸镀层的厚度优选5500nm,更优选5~200nm。在膜厚小于5nm时，担心不能得到充分的气体屏障性。相反，当其超过500nm时，不能产生与其相当的气体屏障性的提高效果，另外，耐弯曲性降低，而且在制造成本方面不利。无机蒸镀层的形成方法，可以釆用公知的方法、例如真空蒸镀法、溅射法、离子喷镀法等物理蒸镀法及PECVD等化学蒸镀法等。在真空蒸镀法中，蒸镀材料使用Al、Si、Ti、Mg、Zr、Ce、Zn等、SiOx(x=1.0~2.0)、氧化铝、氧化镁、硫化锌、二氧化钛、氧化锆等化合物及它们的混合物。加热方法采用电阻加热、诱导加热、电子线加热等。反应气体使用氧、氮、氢、氩、二氧化碳、水蒸气等。也可以采用使用了添加臭氧、离子辅助等办法的反应性蒸镀法。而且，也可以采用对聚酰胺系树脂薄膜施加偏压或者将聚醜胺树脂薄膜进行加热、冷却等方法。上述蒸镀材料、反应气体、偏压施加、加热'冷却也可以在溅射法、CVD法中使用。需要说明的是，在金属蒸镀层和聚酰胺系树脂薄膜之间，根据需要也可以设置增粘涂层(anchorcoat)。本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜的氧透过度，从做成制品时的气体屏障性的，见点来考虑，优选为50ml/m2MPaday以下，更优选为40ml/m2.MPaday以下，特别优选为30ml/m2MPaday以下。本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜没有厚度不均，且纵向及横向中的物性差小，物性平衡优异，无论在薄膜的哪个方向、哪个位置都具有相近的物性。而且，可以进行长尺寸巻化，因此也可以做成薄膜的宽度为l~5m、且长度为30000m50000m的薄膜。本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，通常将具有这种薄膜宽度及薄膜长度的薄膜巻的薄膜一边退绕，一边切割，重新巻绕成巻状，由此可以得到例如切割成的薄膜的宽度为0.23m且长度为5006000m的另外的薄膜巻。本发明的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜可以与聚烯烃系树脂薄膜层叠而构成蒸镀聚酰胺系层叠树脂薄膜。这种层叠树脂薄膜，层叠加工性好，且袋加工性良好。由这种层叠树脂薄膜得到的袋，气体屏障性优异，且在制品强度上各向异性少，不显示S形巻边现象。因此，可以适用于食品的杀菌加工用途。实施例下面，利用实施例具体地说明本发明。下面的实施例比较例中的各种物性的测定方法如下所述。需要说明的是，任一种测定都是将试验片在温度20X:、相对湿度65%的环境下放置2小时后，在温度20t:、相对湿度65%的环境下实施。[微晶结构的观察沿薄膜的宽度方向，对于两端部的部分和中央部的3处，将薄膜试样截成50cmx50cm的正方形的形状，对在该试样的对角线上进入距离四转角5cm内侧的点(4点)总计12点进行测定。对各自的观察点，使用偏振光显微镜以100~400倍的倍数进行观察。对观察过的任意IOO个结晶，根据其粒状的最长的边规定粒径，且将其平均值设定为平均粒径。微晶的数通过对前述薄膜面的12点中的任意100xl00jum的范围内的粒状的微晶计数来求出，作为每mm2的个数即存在密度(xl02个/mm"显现。此时，由于微晶在薄膜内部也存在，故使显微镜的焦点对准薄膜厚度方向的任意1点，对在那里观察到的微晶进行计数。通过对观察过的任意IOO个结晶进行计算来判定微晶的70%以上的粒径是否为微晶的平均粒径的0.5~1.5倍的范围内。[薄膜的厚度不均使用厚度计MT-12B(HEIDENHAIN公司制造)测定了厚度。即，对薄膜的横向即薄膜宽度方向，测定了中心部即中心位置(TO)和端部即从末端向中心至距离末端为总宽度的10。/。的位置的部分的厚度(T1、两端部的平均值)。而且，由比值T0/T1求出厚度不均，将该比值为0.9-1.1的情况设定为合格。[撕裂传播阻力]使用AutographAG-l(岛津制作所公司制造)进行测定，使用单元(cell)为100kg或5kg，试验速度为200mm/min。试验片为长方形状，宽度为25mm，长度为75mm，在25mm宽度的中心沿长度方向切入50mm的缝隙。试验片在薄膜的纵向及横向各制作5点，求取有关各试验片的测定值的平均值，并求取薄膜纵向的平均值和薄膜横向的平均值之比。[拉伸弹性模量方向差使用AutographAG-l(岛津制作所公司制造)测定了拉伸弹性模量。试验片为宽度10mm、长度150mm的长方形状，使用单元为100kg，试验速度为500mm/min,卡盘间隔为100mm。关于拉伸弹性模量，对测定试样即试验片平行于薄膜的宽度方向(横向)截出的5个样本测定拉伸弹性模量，将其平均值设定为O。的数据。同样地，在由横向沿顺时针30。、60°、卯°(纵向)、120°、150。的方向分别截出试验片，测定了拉伸弹性模量。而且，将与各方向有关的拉伸弹性模量的最大值和最小值的差设定为拉伸弹性模量方向差。拉伸弹性模量方向差在薄膜中心部和2处薄膜端部总计3处的位置求出，将最大的值设定为最大拉伸弹性模量方向差。[沸水收缩率方向差试验片通过如下方法制作与薄膜的宽度方向平行地截出5片210x210mm的正方形，分别以样本的中央为中心，画直径约200mm的圆。在该试验片中，将薄膜的横向设定为O。，引出通过沿顺时针45。的位置和中心的直线，将直线和圆的两个交点之间的距离L045设定为45°时的处理前的长度。接着，同样地，引出通过沿顺时针135。的位置和中心的直线，将直线和圆的两个交点之间的距离LOw设定为135°时的处理前的长度。对5片试验片测定L045和L0w,然后，在沸水中处理5分钟，轻轻地擦掉水分后进行风干，进一步在20X:x65%RH的环境下放置2小时以上。在沸水处理后再将上述45。的位置上的两个交点之间的距离Ll45设定为45°时的处理后的长度。同样地，将135°的位置上的两个交点之间的距离Ll^设定为135°时的处理后的长度。而且，由下面的式子求出45°的位置的沸水收缩率和135。的位置的沸水收缩率，将其差的绝对值设定为沸水收缩率的差。沸7jOl^率,理前的狄-处軟的械x100/处理前的锁％)在薄膜宽度为2500mm以上时，对于距薄膜的横向的中心部分别右和左1000mm的位置求出各自的沸水收缩率的差，另外，在薄膜宽度小于2500mm时，对于距两端边缘150mm的位置求出各自的沸水收缩率的差，将右端和左端的平均值设定为沸水收缩率方向差。[结晶完全性l使用广角X线散射法进行了测定。即，使用Rad-X型X线衍射装置(理学电机公司制造)进行测定，使用CuKa线作为线光源。将从薄膜截出的3x3cm的薄膜重叠75片作为试样使用。关于(002)面，以输出50kV、50mA利用反射法测定X线衍射峰值，算出晶面间隔d(002)。关于(200)面，将试样旋转67.5°，以输出50kV、50mA利用透射法测定X线衍射峰值，算出晶面间隔d(200)。结晶完全性(％)才艮据下述(i)式计算。结晶安全性={[d(200)/d(002)，(202)]-1}/0.211X100…(i)式对薄膜中心部及两端部进行结晶完全性的测定，将它们的平均值设定为该薄膜的结晶完全性。[巻姿对仅巻绕了规定长度的蒸镀前的双轴拉伸聚酰胺系树脂薄膜的巻的状态进行观察，根据下述的标准评价了皱褶等的巻姿。O:即使巻绕50000m,也没有铍褶，巻姿良好。:巻绕30000m时巻姿良好，但当巻绕50000m时，产生了皱褶及垂度。x:当巻绕30000m时，产生了铍褶及垂度。xx:皱褶及垂度明显，不能巻绕30000m。[S形巻边现象将蒸镀前的双轴拉伸聚酰胺树脂薄膜和密封层薄膜(CP;Tohcello公司制造无拉伸聚丙烯薄膜，RX-21,厚度40ftm)，使用氨酯系粘接剂(武田药品工业公司制造TAKERACKA-525/A-52二液型)进行干式层叠(粘接剂涂敷量3g/m2)，由此制作了层叠薄膜。将得到的层叠薄膜以形成沿纵向的折痕的方式折叠成2个，同时使用试验密封材料将两边缘部每20mm、在180"C下连续地进行热密封，另外，在与其成直角的方向以150mm间隔将宽度10mm连续地进行热密封，得到宽度约200mm的半成品袋。将该半成品袋在纵向剪断，以使两边缘部的密封部分为10mm，然后，在与其垂直方向、在密封部的边界切断，制作了IO片三边密封袋。将这些三边密封袋在沸水中热处理30分钟后，在20"C、65%RH的环境下保持一昼夜，进而将这些10片三边密封袋重叠，从上对袋整个面施加lkg的荷重，保持一昼夜后取掉荷重，观察了袋的弯曲(S形巻边)的程度。而且，根据下面的标准进行了评价。O:10片全部没有弯曲O:有稍微看到弯曲的袋x:有明显看到弯曲的袋[氧透过度将蒸镀后的薄膜在气温201C、湿度65%RH的环境下经过2天使其进行氧置换。其后，根据JIS-K-7126(B法)，使用氧透过度测定装置(OX-TRAN2/20:MOCOM公司制造)进行了测定。<母料片(masterchip)的制作>将在95。/。浓硫酸中、在温度25C、浓度0.5g/dl的条件下测定的相对粘度为3.0的尼龙6树脂(UNITIKA公司制造、A1030BRF)进行干燥，在每该100质量份中熔融混合6质量份氧化硅(廿4口4卜*SY-150:水泽化学工业林式会社制造)，制作了母料片。实施例1将干燥好的尼龙6树脂(UNITIKA公司制造、A1030-BRF)和上述母料片进行混合，使氧化硅的配合比例为0.05质量％，投入到挤出机，在温度加热到270"C的筒体内熔融，由T口模孔挤出成片状，利用从喷嘴喷出的空气将其向推压设定为401C的流延辊而冷却，得到厚度180^im的未拉伸薄膜。将流延辊和未拉伸薄膜之间的距离(空气层厚度)使用激光聚焦变位计(Keyence公司制造)进行测定后，最小值为92pm，最大值为157拜。然后，将该未拉伸薄膜浸渍于在土5X:下控制的水温451C的第1吸水槽的水中，然后在水温6ox:的第2吸水槽中使其含水，将水分率调节为6质量％。接着，将其导入同时双轴拉伸机，并在1751C下预热后，在拉伸温度1卯X:下、以纵向3.5倍、横向3.3倍的倍数进行拉伸。接着，在温度220t:下、在薄膜移动工序3m之间进行热处理，然后进行3%的松弛处理，得到厚度15pm的尼龙6薄膜。将得到的薄膜以巻绕速度130m/分钟巻绕成巻状，得到薄膜巻。将薄膜的制造条件、得到的尼龙薄膜的微晶的状态(规定范围内的存在个数、平均粒径、粒径位于平均粒径的0.5-1.5倍的范围内的微晶的比率、结晶完全性)、得到的尼龙薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。得到的尼龙薄膜的各位置上的拉伸弹性模量如表4所示，最大拉伸弹性模量方向差为0.22。<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>[表2<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>[表3<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>下面，对测定了物性后残留的薄膜，利用下面的方法进行蒸镀。[铝蒸镀使用8~10mm左右大小的粒子状的铝(纯度99.9%)作为蒸镀源，在如上述那样得到的聚酰胺系树脂薄膜的表面上，利用电子束蒸镀法形成铝薄膜。使用电子枪作为加热源，将放射电流设定为0.5A。将薄膜移行速度设定为130m/min，制作了50nm厚的膜。蒸镀时的环境压力调整为ixio—2pa。用于冷却蒸镀时的薄膜的辊的温度调整为-iox:。[氧化铝蒸镀使用35mm左右大小的粒子状的入1203(纯度99.9%)作为蒸镀源，在如上述那样得到的聚酰胺系树脂薄膜的表面上，利用电子束蒸镀法形成氧化铝薄膜。使用电子枪作为加热源，将放射电流设定为1.3A。将薄膜移行速度设定为130m/min，制作了20nm厚的膜。蒸镀时的环境压力调整为lxlO」Pa。用于冷却蒸镀时的薄膜的辊的温度调整为-IO"C。[氧化硅蒸镀使用3~5mm左右大小的粒子状的Si(纯度99.99%)和Si()2(纯度99.9%)作为蒸镀源，在如上述那样得到的聚酰胺系树脂薄膜的表面上，利用电子束蒸镀法形成氧化硅薄膜。两种蒸镀材料不混合而是划分为两部分地投入。使用电子枪作为加热源，分别将Si和SK)2按时间分割进行加热。将此时的电子枪的放射电流设定为0.8A，加热各材料，以使Si和Si()2的组成比为1:9(质量比)。将薄膜移行速度设定为130m/min，制作了20nm厚的膜。蒸镀时的环境压力调整为lxlO」Pa。用于冷却蒸镀时的薄膜的辊的温度调整为—10^C。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。[表5<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>实施例2与实施例l相比，将第l吸水槽的水温变更为30n。除此之外，与实施例l同样地操作。空气层厚度，最小值为90nm，最大值为161)im。将薄膜的制造条件和得到的尼龙薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。实施例3与实施例l相比，将第l吸水槽的温度控制幅度变更为土31C。除此之外，与实施例l同样地操作。空气层厚度，最小值为89jum，最大值为165"m。将薄膜的制造条件和得到的尼龙薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。实施例4、5与实施例l相比，调节从喷嘴喷出的空气的量，并变更空气层的厚度。除此之外，与实施例l同样地操作。将薄膜的制造条件和得到的尼龙薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。实施例6、7与实施例l相比，变更流延辊的温度，同时，调节从喷嘴喷出的空气的量，并变更空气层的厚度。除此之外，与实施例l同样地操作。将薄膜的制造条件和得到的尼龙薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。比较例1与实施例i相比，将第i吸水槽的温度控制幅度变更为士iox:。除此之外，与实施例l同样地操作，得到尼龙6薄膜。此时，第l吸水槽的上部的水温为491C，底部的水温为331C。这样操作后得到的薄膜，厚度不均大，巻姿不良。将薄膜的制造条件和得到的尼龙6薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。比较例2与实施例l相比，改变来自喷嘴的空气的喷出流量，使空气层厚度的最小值为25pm、最大值为157um。除此之外，与实施例l同样地操作，得到尼龙6薄膜。将薄膜的制造条件和得到的尼龙薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。比较例3与实施例i相比，将流延辊的温度变更为6ox:，同时，改变来自喷嘴的空气的喷出流量，使空气层厚度的最小值为10nm、最大值为55jim。除此之外，与实施例l同样地操作，得到尼龙6薄膜。将薄膜的制造条件和得到的尼龙6薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。比较例4与实施例l相比，将流延辊的温度变更为15X:，同时，改变来自喷嘴的空气的喷出流量，使空气层厚度的最小值为61nm、最大值为154pm。除此之外，与实施例l同样地操作，得到尼龙6薄膜。将薄膜的制造条件和得到的尼龙6薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。比较例5与实施例4相比，将第l吸水槽的水温变更为65X:。除此之外，与实施例4同样地操作，得到尼龙6薄膜。但是，得到的尼龙6薄膜，厚度不均大，巻姿不良。将薄膜的制造条件和得到的尼龙6薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。得到的尼龙6薄膜，由于巻姿不好，故不能进行蒸镀加工。比较例6与实施例l相比，改变来自喷嘴的空气的喷出流量，使空气层厚度的最小值为130um，最大值为250nm。除此之外，与实施例l同样地操作，得到尼龙6薄膜。将薄膜的制造条件和得到的尼龙6薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。比较例7将干燥好的尼龙6树脂(UNITIKA公司制造、A1030-BRF)和上述母料片进行混合，使氧化硅的配合比例为0.05质量％，投入到挤出机，在温度加热到260X:的筒体内熔融，由T口模孔挤出成片状，将挤出的片利用气刀流延法使流延辊和未拉伸片之间的距离的最小值为90jim，使其与表面温度20C的流延辊密合而冷却，得到厚度为150jnm的未拉伸薄膜。将该未拉伸薄膜供给由周速不同的加热辊组构成的纵向拉伸机，尝试在温度55tl下、以拉伸倍率2.7倍进行纵拉伸。但是，多发生薄膜切断，不能获得拉伸薄膜。与其相对，通过缩短流延辊和未拉伸片之间的距离，薄膜切断的情况减轻。而且，最终在流延辊和未拉伸片之间的距离的最小值为10Hm时，可以进行拉伸。即，将通过利用流延辊冷却未拉伸片而得到的未拉伸薄膜供给由周速不同的加热辊组构成的纵向拉伸机，在温度55n下以拉伸倍率2.7倍沿纵向进行拉伸，将该纵向拉伸薄膜由预热部在60"C下进行预热，在温度卯C下以拉伸倍率3.8倍沿横向进行拉伸，接着，在211匸下进行热处理，然后，在温度210匸下沿横向进行2%的松弛处理，得到厚度15jum的尼龙6薄膜。将薄膜的制造条件和得到的尼龙6薄膜的微晶的状态、厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、S形巻边现象的测定结果示于表l表3。对得到的薄膜，在与实施例1同样的条件下进行铝蒸镀，得到蒸镀聚酰胺系树脂薄膜。将得到的蒸镀薄膜的厚度不均、最大拉伸弹性模量方向差、沸水收缩率方向差、撕裂传播阻力之比、巻姿、氧透过度的测定结果示于表5。由表1表3的结果表明，在实施例17中，薄膜中的微晶的平均粒径为0.110jLim,该微晶在薄膜面的lOOxlOOum的范围内存在1-1000个，因此，可以得到薄膜中心部和端部的厚度不均小，且因薄膜的方向而产生的物性的差小的、取得了平衡的薄膜。另外，由于微晶的70%以上的粒径为平均粒径的0.5-1.5倍的范围以内，因此，为结晶完全性高达70%以上、透明且物性优异的薄膜。与其相对，在比较例1、2中，有微晶的存在密度的偏差大、且因薄膜位置而致使微晶不存在的部分，另外，存在比率的偏差也大。因此，为薄膜的厚度不均大且巻的巻姿不好的薄膜。另夕卜，物性的偏差也不良。在比较例3中的薄膜，微晶虽然存在，但其平均粒径非常小，因此，雾度恶化，另外，撕裂传播阻力的纵横比小、平衡不好。比较例4及比较例7的薄膜，由于微晶的存在密度小，故撕裂传播阻力的纵横比及最大拉伸弹性模量方向差大、平衡不好。比较例6的薄膜，由于微晶的平均粒径大，故雾度恶化，另外，拉伸强度小，为撕裂传播阻力的纵横比小且最大拉伸弹性模量方向差大、平衡不好。权利要求1.一种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，其在聚酰胺系树脂薄膜的至少一面蒸镀有无机物质，其特征在于，蒸镀前的聚酰胺系树脂薄膜满足下述(a)～(d)的全部条件(a)薄膜的横向的中心部的厚度T0和端部的厚度T1之比T0/T1为0.9～1.1，(b)有关薄膜的纵向及横向上的薄膜撕裂传播阻力的比值纵向的撕裂传播阻力/横向的撕裂传播阻力＝0.7～1.3，(c)最大拉伸弹性模量方向差为0.5以下，(d)沸水收缩率方向差为1.5以下。2.如权利要求1所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，其特征在于，在聚酰胺系树脂薄膜的薄膜面上的100xl00jim的范围，存在1~1000个平均粒径为0.110pm的来自聚酰胺树脂的微晶。3.如权利要求2所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，其特征在于，聚酰胺系树脂薄膜的来自聚酰胺树脂的微晶的70。/。以上的粒径位于前述微晶的平均粒径的0.51.5倍的范围内。4.如权利要求1~3中任一项所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，其特征在于，聚酰胺系树脂薄膜的结晶完全性为70%以上。5.—种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜的制造方法，其为用于制造权利要求1~4中任一项所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜的方法，其特征在于将从口模熔融挤出的树脂片推压在流延辊上而得到未拉伸薄膜时的介于流延辊和树脂片之间的空气层厚度为50~220pm,使未拉伸薄膜通过含有水温相互不同的第1段和第2段的2槽以上的吸水槽而使其吸水，同时，将此时的第1段的吸水槽的水温设定为30501C的范围内的任意温度，且进行温度控制，以使其处于前述温度士8X:的范围，将吸水后的未拉伸薄膜进行同时双轴拉伸。6.—种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜巻，其特征在于，权利要求1~4中任一项的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜被巻绕成巻状。7.如权利要求6所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜巻，其特征在于，使用宽度l5m且长度30000m50000m的巻绕成巻状的聚酰胺系树脂薄膜，蒸镀无机物质，巻绕而成。8.—种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜巻，其特征在于，通过将权利要求7所述的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜巻的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜切割并重新巻绕成巻状而得到，切割后的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜的宽度为0.23m，长度为500~6000m。9.一种蒸镀聚酰胺系层叠树脂薄膜，其特征在于，权利要求1~4中任一项的蒸镀聚酰胺系树脂薄膜与聚烯烃系树脂薄膜层叠而成。全文摘要本发明涉及一种取得各种物性的平衡、物性优异、长尺寸的蒸镀聚酰胺树脂系薄膜。一种蒸镀聚酰胺系树脂薄膜，其在聚酰胺系树脂薄膜的至少一面上蒸镀有无机物质。除去蒸镀层的聚酰胺系树脂薄膜满足下述(a)～(d)的全部条件(a)薄膜的横向的中心部的厚度(T0)和端部的厚度(T1)之比(T0/T1)为0.9～1.1，(b)有关薄膜的纵向及横向上的薄膜的撕裂传播阻力之比(纵向的撕裂传播阻力)/(横向的撕裂传播阻力)＝0.7～1.3，(c)最大拉伸弹性模量方向差为0.5以下，(d)沸水收缩率方向差为1.5以下。文档编号B32B3/26GK101148099SQ2007101661公开日2008年3月26日申请日期2007年11月7日优先权日2007年10月11日发明者结城究,野田敦子申请人:尤尼吉可株式会社