本发明涉及例如喷墨头、喷墨打印机等的排出墨水的喷墨驱动装置和喷墨驱动方法。
背景技术：
以往，已知有具有排出液体墨水的多个沟道的喷墨头。通过使喷墨头相对于纸张、布等记录媒介相对地移动，并且在各个沟道中控制墨水的排出，由此在记录媒介形成二维的图像。
墨水的排出能够通过利用压力式的促动器(压电式、静电式、热变形等)或者利用热使管内的墨水产生气泡来进行。其中，压电式的促动器具有输出较大、能够进行调制、响应性较高、不挑墨水等优点，近年被广泛利用。特别是，为了实现高分辨率(小液滴即可)且小型、低成本的打印机，适合利用使用了薄膜的压电体(压电薄膜)的喷墨头。上述的压电体广泛地使用钛酸钡(batio3)、锆钛酸铅(pb(zr，ti)o3)等钙钛矿型的金属氧化物。
另外，在喷墨头中，若在排出墨水之后，不排出墨水的不排出状态较长地持续，则在喷嘴中形成弯液面(墨水与空气的界面，也被称为墨水弯液面)的墨水干燥，由此墨水的粘度增大。若墨水的粘度增大，则不容易从喷嘴排出墨水，从而墨水的排出特性(例如排出速度)降低。因此，需要抑制墨水的排出特性的降低的对策。
对于这一点，例如在专利文献1中，在墨水的非排出时，对促动器施加不使墨滴从喷嘴排出的不排出脉冲来对弯液面给予振动，由此抑制形成弯液面的墨水干燥。另外，例如在专利文献2中，尝试在通过促动器对流体泵室给予驱动脉冲，使流体(例如墨水)的液滴从喷嘴排出的构成中，在极其接近喷嘴的位置设置循环流路部，并使不从喷嘴排出的墨水经由循环流路部循环，由此防止在喷嘴内积蓄可能妨碍排出的物质。此外，在专利文献1中，也公开了从自压力室朝向喷嘴的墨水的流路分支地设置循环流路部，并经由该循环流路部使墨水循环的构成。
专利文献1：日本特开2011－51214号公报(参照权利要求1、段落[0012]、[0022]、[0083]～[0092]、图3等)
专利文献2：日本特表2011－520671号公报(参照权利要求1、段落[0015]、[0046]、图2等)
然而，在专利文献1中，关于喷嘴的形状(例如孔的大小)、循环流路部相对于喷嘴的位置(例如喷嘴出口与循环流路部之间的距离)，完全没有提及，并且未考虑那样的喷嘴的形状、循环流路部的位置来规定弯液面振动时的墨水的导入量。因此，在喷嘴的出口附近未能完全抑制干燥而墨水增粘了的情况下，能够将该增粘后的墨水引导至循环流路部并从喷嘴内排除的可能性降低，从而有由于上述墨水而排出特性(例如排出速度)降低的担心。
另外，在专利文献2中，在非排出时不使弯液面振动，所以不能够抑制喷嘴的出口附近的墨水的干燥以及增粘本身。因此，若在喷嘴出口处墨水的干燥以及增粘发展，则即使在极其接近喷嘴的位置设置循环流路部，也难以将上述墨水引导至循环流路部，从而与专利文献1相同地，有由于上述墨水而排出特性降低的担心。
技术实现要素：
本发明是为了解决上述的问题点而完成的，其目的在于提供考虑喷嘴的形状以及循环流路部的位置来适当地设定墨水的导入量，由此即使在喷嘴出口附近墨水增粘了的情况下，也能够提高能够从喷嘴内排除增粘了的墨水的可能性，从而能够避免排出特性的降低的喷墨驱动装置以及喷墨驱动方法。
本发明的一方面所涉及的喷墨驱动装置具备：头基板，其具有排出墨水的喷嘴、与上述喷嘴连通并收纳上述墨水的压力室、以及从朝向上述喷嘴的上述墨水的流路分支地设置并形成用于使从上述压力室排出的墨水循环的流路的循环流路部；驱动元件，其被支承于上述头基板，在排出时，使上述压力室内的墨水从上述喷嘴排出，另一方面，在非排出时，使上述喷嘴中的墨水弯液面振动；以及驱动控制部，其控制上述驱动元件，在将上述喷嘴中的距上述压力室最远的出口处的孔的直径设为d(μm)，并且将在与包括上述出口的孔的面垂直的方向上，上述循环流路部的最靠近上述出口侧的位置与上述出口之间的距离设为n(μm)时，满足
n≤3.47d，
上述驱动控制部在上述非排出时，生成将墨水从上述喷嘴的上述出口向上述压力室侧导入0.16n以上0.555d以下的距离并使上述墨水弯液面振动的驱动信号，并且将上述驱动信号施加至上述驱动元件。
本发明的其它方面所涉及的喷墨驱动方法是驱动喷墨驱动装置的喷墨驱动方法，上述喷墨驱动装置具备：头基板，其具有排出墨水的喷嘴、与上述喷嘴连通并收纳上述墨水的压力室、以及从朝向上述喷嘴的上述墨水的流路分支地设置并形成用于使从上述压力室排出的墨水循环的流路的循环流路部；以及驱动元件，其被支承于上述头基板，在排出时，使上述压力室内的墨水从上述喷嘴排出，另一方面，在非排出时，使上述喷嘴中的墨水弯液面振动，在将上述喷嘴中的距上述压力室最远的出口处的孔的直径设为d(μm)，并且将在与包括上述出口的孔的面垂直的方向上，上述循环流路部的最靠近上述出口侧的位置与上述出口之间的距离设为n(μm)时，满足
n≤3.47d，
该驱动方法包括如下工序：在上述非排出时，通过上述驱动元件，将墨水从上述喷嘴的上述出口向上述压力室侧导入0.16n以上0.555d以下的距离并使上述墨水弯液面振动，并且至少将导入的墨水的一部分引导至上述循环流路部，从而使上述墨水经由上述循环流路部而循环。
如上述那样，考虑喷嘴的形状以及循环流路部的位置来适当地设定墨水的导入量，由此即使在喷嘴出口附近未能完全抑制干燥而墨水增粘了的情况下，也能够提高即使较少也能够从喷嘴内排除该增粘了的墨水的可能性，能够避免起因于上述墨水的排出特性的降低。
附图说明
图1是表示本发明的实施的一个方式所涉及的喷墨打印机的概略构成的立体图。
图2是上述喷墨打印机具备的喷墨头的分解立体图。
图3是在沿着图2中的(iii)－(iii)线的部分进行切断的上述喷墨头的剖视图。
图4是上述喷墨头的头芯片的俯视图。
图5是在沿着图4中的(v)－(v)线的部分进行切断的上述头芯片的剖视图。
图6是在沿着图2中的(vi)－(vi)线的部分进行切断的上述喷墨头的墨水流路部件的剖视图。
图7是示意性地表示上述喷墨打印机具备的循环机构的构成的说明图。
图8是上述喷墨头的压电元件的剖视图。
图9是放大示出图5的e部的剖视图。
图10是表示在非排出时不使墨水弯液面振动，在排出时使墨水排出的驱动信号的一个例子的说明图。
图11是表示在非排出时使墨水弯液面振动，在排出时使墨水排出的驱动信号的一个例子的说明图。
图12是表示非排出时的摇动驱动电位与墨水弯液面的振动时的位置之间的关系的图表。
图13是在喷嘴的直径为10μm的情况下，将喷嘴长与导入量之间的关系描绘于坐标平面上的说明图。
图14是在喷嘴的直径为20μm的情况下，将喷嘴长与导入量之间的关系描绘于坐标平面上的说明图。
图15是在喷嘴的直径为24μm的情况下，将喷嘴长与导入量之间的关系描绘于坐标平面上的说明图。
图16是在喷嘴的直径为30μm的情况下，将喷嘴长与导入量之间的关系描绘于坐标平面上的说明图。
图17是表示循环以及振动的有无所引起的排出速度的变化的差异的图表。
图18是表示在有循环的条件下，使上述摇动驱动电位变化时的排出速度的变化的差异的图表。
图19是表示循环量的差异所引起的排出速度的变化的差异的图表。
图20是表示在墨水的导入时，墨水弯液面的端部导入至喷嘴内的情况下的导入量的说明图。
图21是表示上述喷墨头的头芯片的其它构成的剖视图。
具体实施方式
若基于附图对本发明的实施的一个方式进行说明，则如以下那样。此外，在本说明书中，在将数值范围表述为a～b的情况下，该数值范围包括下限a以及上限b的值。
此外，在以下的说明中，以利用使用了行式头的构成(仅记录介质的输送)进行描绘的单路径描绘方式的实施方式为例进行说明，但也可以是其以外的描绘方式，例如也可以采用使用了扫描方式、鼓方式的描绘方式。
另外，在以下的说明中，将记录介质k的输送方向设为前后方向，将在记录介质k的输送面中与该输送方向正交的方向设为左右方向，并将与前后方向以及左右方向垂直的方向设为上下方向来进行说明。
[喷墨打印机的概略]
图1是表示喷墨打印机的概略构成的立体图。喷墨打印机100具备压印平板101、输送辊102、行式头103、104、105、106、以及墨水的循环机构107(参照图7)等。此外，后述循环机构107的详细。
压印平板101在上表面支承记录介质k，若驱动输送辊102，则沿输送方向(前后方向)输送记录介质k。
行式头103～106在与记录介质k的输送方向(前后方向)正交的宽度方向(左右方向)上设置为长条状，并且从输送方向的上游侧至下游侧并列地设置。而且，在行式头103～106的内部设置有至少一个后述的喷墨头1(参照图2等)，并且朝向记录介质k排出例如青色(c)、品红色(m)、黄色(y)、黑色(k)的墨水。
[喷墨头的概略结构]
图2是喷墨头1的分解立体图，图3是在沿着图2中的(iii)－(iii)线的部分进行切断的喷墨头1的剖视图。喷墨头1具备头芯片2(头基板)、保持板3、连接部件4以及墨水流路部件5等。
头芯片2通过层叠多个基板而构成，在最下层设置有排出墨水的喷嘴211。喷嘴211与收纳墨水的压力室231连通。另外，在头芯片2的上表面设置有作为驱动元件的压电元件24。此外，后述压电元件24的详细。通过压电元件24的位移，对填充在头芯片2的内部的压力室231的墨水进行加压，而从喷嘴211向外部排出墨水的液滴。
保持板3为了头芯片2的强度保持，而使用粘合剂与头芯片2上表面接合。另外，保持板3在中央部具有开口部31，构成为头芯片2的上表面的压电元件24储存在开口部31的内部。
连接部件4例如是由fpc(flexibleprintedcircuits：柔性电路板)等构成的布线部件，以其宽度方向沿着保持板3的左右方向的方式，粘合在保持板3的上表面的后侧附近。而且，连接部件4通过焊线41与压电元件24电连接。焊线41被设置为通过设置在保持板3的中央的开口部31。另外，连接部件4与驱动电路60(参照图8)连接。由此，从驱动电路60经由连接部件4以及焊线41对压电元件24供电。
墨水流路部件5在保持板3上表面的左右方向的两端部各接合一个。一个墨水流路部件5具备用于向头芯片2的内部供给墨水的墨水供给流路501和用于从头芯片2的内部排出墨水的墨水循环流路504。另一个墨水流路部件5具备用于向头芯片2的内部供给墨水的墨水供给流路502和用于从头芯片2的内部排出墨水的墨水循环流路503。
以下，对头芯片2、保持板3以及墨水流路部件5进行详细说明。
[头芯片]
图4是头芯片2的俯视图。此外，在图4中，为了方便，以虚线示出头芯片2内部的构成。另外，对从共用供给流路25到各连通孔221的墨水流路附加网格的阴影。
头芯片2在上表面具备设置为沿着左右方向排成一列的压电元件24、用于从墨水流路部件5向头芯片2的内部供给墨水的墨水供给口201、202以及用于从头芯片2的内部向墨水流路部件5排出墨水的墨水循环口203、204等。
图5是在沿着图4中的(v)－(v)线的部分进行切断的头芯片2的剖视图。头芯片2通过从下侧依次层叠喷嘴板21、中间板22、主体板23共三个基板并一体化而构成。
(喷嘴板)
喷嘴板21是位于头芯片2的最下层的基板，例如由soi(silicononinsulator：绝缘体上硅)晶圆构成，该晶圆由喷嘴层21a、结合层21b、喷嘴支承层21c三层构成。
喷嘴层21a是形成有用于排出墨水的液滴的喷嘴211的层，由厚度例如为10～20μm的si基板构成。在喷嘴层21a的下表面亦即喷嘴面214形成有拒墨膜(图示省略)。结合层21b由厚度例如为0.3～1.0μm的sio2基板构成。喷嘴支承层21c由厚度例如为100～300μm的si基板构成。在该喷嘴支承层21c形成有与喷嘴211连通且与喷嘴211相比直径较大的大径部212和与大径部212连通的循环流路部213。循环流路部213从自压力室231朝向喷嘴211的墨水的流路经由大径部212分支地设置，形成用于使从压力室231排出的墨水循环的流路。
此外，在本实施方式中，虽然使喷嘴211的与墨水排出方向垂直的剖面的形状为圆形，但喷嘴211的剖面形状只要是能够排出墨水的形状则并不特别限定，能够为各种剖面形状。例如，喷嘴211的剖面形状能够为四边形、六边形等多边形状。在该情况下，喷嘴211的后述的直径d能够是描绘多边形的外接圆时的上述外接圆的直径。另外，在多边形的对角线通过上述外接圆的中心时，直径d能够是该对角线的长度。
喷嘴层21a以及喷嘴支承层21c分别由si基板构成，所以能够通过干式蚀刻或湿式蚀刻容易地加工喷嘴层21a和喷嘴支承层21c。
在喷嘴支承层21c中由面向结合层21b的空隙部形成循环流路部213，所以能够高精度地进行加工制造。此外，也可以在形成了面向结合层21b的空隙部之后，通过使用了缓冲氢氟酸(bhf)等的湿式蚀刻处理除去结合层21b，从而由面向喷嘴层21a的空隙部形成循环流路部213。
(中间板)
中间板22由厚度例如为100～300μm左右的玻璃基板构成，在与喷嘴板21的大径部212对应的位置具有连通孔221。连通孔221形成为在厚度方向贯通中间板22，并将压力室231与大径部212连通，成为墨水的排出时的墨水流路。通过在流路方向的中途缩小连通孔221的直径等，在连通孔221中调整墨水的流路的形状，从而能够在墨水的排出中，调整施加给墨水的运动能量。
作为构成中间板22的玻璃基板，优选使用硼硅酸盐玻璃(例如，tempax玻璃)。
(主体板)
主体板23由压力室层23a和振动层23b构成。压力室层23a由厚度例如为100～300μm左右的si基板构成。在该压力室层23a形成有与中间板22的连通孔221连通且在俯视时大致为圆形的多个压力室231、用于共同地对多个压力室231供给墨水的共用供给流路25以及用于将共用供给流路25与各压力室231分别独立地连通且将共用供给流路25内的墨水供给至压力室231的进口232。进口232具有与压力室231相比流路较窄的细腰部，施加给压力室231的压力不容易从进口232侧逃出。此外，细腰部只要是比压力室231窄的流路即可，能够适当地变更形状。
振动层23b是厚度例如为20～30μm左右的较薄的能够弹性变形的si基板，层叠在压力室层23a的上表面。另外，在振动层23b中，压力室231的上表面作为振动板233发挥作用，振动板233能够与设置在振动板233的上表面的压电元件24的动作对应地进行振动，对压力室231内的墨水施加压力。
另外，在中间板22以及压力室层23a设置有从形成在喷嘴支承层21c的多个循环流路部213流来的墨水合流的共用循环流路26。
另外，振动层23b具有形成在共用供给流路25的上表面的减振器234和形成在共用循环流路26的上表面的减振器235。减振器234、235例如在对压力室231暂时施加压力而墨水暂时流向共用循环流路26的情况下，能够稍微弹性变形，为了防止墨水流路中的急剧的压力变化而被设置。
在上述构成中，墨水如以下那样流动。首先，从图4的墨水供给口201、202向共用供给流路25供给墨水。接下来，墨水从共用供给流路25分支并依次流过与各喷嘴211对应的进口232、压力室231、连通孔221、大径部212以及循环流路部213。接下来，来自各循环流路部213的墨水在共用循环流路26合流，从墨水循环口203、204排出墨水，并通过墨水循环流路504(参照图2)返回到循环用子罐63(参照图7)。
以上，对在喷嘴板21形成循环流路部213的例子进行了说明，但循环流路部213只要与形成压力室231的主体板23相比配置在喷嘴侧即可，例如也可以形成在中间板22。另外，为了通过后述的墨水弯液面的振动，来将在喷嘴211的出口附近未能完全抑制干燥而增粘了的墨水可靠地导入至循环流路部213并从喷嘴内排除，期望循环流路部213接近喷嘴211，在这一点上，优选循环流路部213设置于喷嘴板21。
[保持板]
如图2以及图3所示，保持板3利用粘合剂与头芯片2的上表面接合，由厚度例如为0.5～3.0mm左右的si基板或者玻璃基板构成。通过对保持板3使用si基板或者玻璃基板，从而线膨胀率与构成头芯片2的基板接近，所以即使在使用热固化性粘合剂等作为粘合剂，并使用了伴随加热的接合方法的情况下，也能够抑制保持板3与头芯片2之间的翘曲。
保持板3的俯视形状形成为在前后方向以及左右方向的任意一个方向上均比头芯片2大。特别是，保持板3的左右方向的两端部与头芯片2相比较大地突出。在保持板3的中央部贯通形成有在与头芯片2接合时，能够包围排列在该头芯片2的上表面的全部的压电元件24的大小的开口部31。
开口部31形成为沿着左右方向延伸的矩形形状，且形成为能够在开口部31的内部包围全部压电元件24，并且不到达设置在头芯片2的上表面的两端部的墨水供给口201、202以及墨水循环口203、204的位置的大小。在俯视保持板3的情况下，形成于喷嘴板21的各喷嘴211与开口部31相比位于内侧。
保持板3的开口部31的下半部分形成为与上半部分相比空间较大。而且，开口部31的下半部分的外形以在接合保持板3与头芯片2时，在内侧包括压电元件24、设置在压电元件24的前后方向的共用供给流路25以及共用循环流路26的大小形成。
另外，如图2所示，在保持板3的左右方向的两端部附近形成有能够分别各包围一个设置在头芯片2的上表面的墨水供给口201、202以及墨水循环口203、204的大小的贯通孔301、302、303、304。贯通孔301～304分别作为将墨水流路部件5与头芯片2之间连通的墨水流路来使用。
[墨水流路部件]
墨水流路部件5例如由pps(聚苯硫醚树脂)等合成树脂形成为下表面开口的箱状形状，在保持板3上表面的左右方向的两端部各配置一个。
以下，由于设置在左右的墨水流路部件5为相同的构成，所以仅对右侧的墨水流路部件5的概略结构进行说明，省略左侧的墨水流路部件5的说明。
图6是在沿着图2中的(vi)－(vi)线的部分进行切断的墨水流路部件5的剖视图。在墨水流路部件5中设置有作为墨水供给用的流路发挥作用的墨水供给流路501和作为墨水排出用的流路发挥作用的墨水循环流路504。在墨水流路部件5的内部，针对墨水供给流路501以及墨水循环流路504的各个，设置有用于除去通过墨水流路部件5的内部的墨水中的垃圾、气泡等杂质的过滤器51。过滤器51例如使用不锈钢等金属制网，并粘合于墨水流路部件5内的树脂。
[循环机构]
接下来，对墨水的循环机构107进行说明。图7是示意性地表示循环机构107的构成的说明图。循环机构107至少具有供给用子罐62、循环用子罐63、墨水流路72、73、74以及泵82。
墨水流路部件5的墨水供给流路501经由墨水流路72与供给用子罐62连接。由此，能够从供给用子罐62向墨水流路部件5的内部供给墨水，并经由贯通孔301(参照图6)以及墨水供给口201(参照图6)向头芯片2的内部供给墨水。
另外，墨水流路部件5的墨水循环流路504经由墨水流路73与循环用子罐63连接。由此，能够将经由头芯片2的墨水供给口204(参照图6)以及贯通孔304(参照图6)排出到墨水流路部件5内部的墨水排出到循环用子罐63。
供给用子罐62以及循环用子罐63相对于头芯片2内部的设置了共用供给流路25以及共用循环流路26的位置基准面，设置在上下方向(重力方向)不同的位置。而且，能够通过基于该位置基准面与供给用子罐62的水头差的压力p1以及基于该位置基准面与循环用子罐63的水头差的压力p2，使头芯片2的内部的墨水循环。
另外，供给用子罐62经由墨水流路74与循环用子罐63连接，能够通过泵82，使墨水从循环用子罐63返回到供给用子罐62。
另外，供给用子罐62经由墨水流路71与主罐61连接，能够通过泵81，从主罐61将墨水供给至供给用子罐62。
因此，能够通过适当地调整供给用子罐62以及循环用子罐63的水头差以及各子罐的上下方向(重力方向)的位置，来调整压力p1以及压力p2，使头芯片2内部的墨水以适当的循环流速循环。
[压电元件的详细]
作为本实施方式所使用的压电元件，只要是能够从喷嘴排出墨水，并且能够使墨水弯液面振动的元件，则并不特别限定。以下，对作为压电元件的一个例子的压电元件24的详细进行说明。
图8是压电元件24的剖视图。压电元件24被头芯片2的主体板23支承，通过从头芯片2侧依次层叠下部电极241、压电薄膜242、上部电极243而形成。
下部电极241是针对多个压力室231共同地设置的公共电极，由厚度例如为0.1μm左右的由白金(pt)构成的层形成。此外，下部电极241也可以在pt层与头芯片2之间具有由钛(ti)或者氧化钛(tiox)构成的紧贴层。
压电薄膜242由pzt(锆钛酸铅)等铁电薄膜构成，与各压力室231对应地设置。压电薄膜242的膜厚例如是1μm以上10μm以下。作为压电薄膜242的成膜方法，能够使用cvd法(chemicalvapordeposition：化学气相沉积)等化学成膜法、溅射法、离子镀法等物理方法、溶胶-凝胶法等液相的生长法、印刷法等各种方法。
上部电极243是与各压力室231对应地设置的独立电极，由厚度例如为0.1μm左右的由白金(pt)构成的层形成。此外，上部电极243也可以在pt层与压电薄膜242之间具有紧贴层。另外，也可以代替pt，而使用金(au)来形成上部电极243。
压电元件24经由连接部件4(参照图3)与驱动电路60连接。驱动电路60是控制压电元件24的驱动控制部，生成用于驱动压电元件24的驱动信号，并供给至压电元件24。该驱动电路60既可以设置在喷墨头1，也可以设置在喷墨头1的外部并且设置在喷墨打印机100的内部，并与喷墨头1的压电元件24电连接。在驱动电路60设置在喷墨头1的情况下，能够将具备该驱动电路60的喷墨头1称为喷墨驱动装置。另外，在驱动电路60设置在喷墨头1的外部并与压电元件24连接的情况下，能够将具备驱动电路60以及喷墨头1的喷墨打印机100称为喷墨驱动装置。
在喷墨驱动装置中，压电元件24基于从驱动电路60供给的驱动信号被驱动。即，若从驱动电路60对下部电极241以及上部电极243施加驱动信号(驱动电压)，则压电薄膜242与下部电极241和上部电极243的电位差对应地，向与厚度方向垂直的方向伸缩。然后，由于压电薄膜242与振动板233的长度的差异，而在振动板233产生曲率，振动板233在厚度方向位移(弯曲、振动)。
因此，若在压力室231内收纳有墨水，则在墨水的排出时，通过上述的振动板233的振动，压力波传播到压力室231内的墨水，从而压力室231内的墨水从喷嘴211作为墨滴排出到外部。另一方面，在墨水的非排出时，由驱动电路60生成与排出时相比振幅较小的驱动信号并供给至压电元件24，通过基于上述驱动信号的压电元件24的驱动，喷嘴211内的墨水弯液面(墨水与空气的界面)振动，后述其详细。
[循环流路部的位置]
接下来，对上述的循环流路部213的位置的详细进行说明。图9是放大示出图5的e部的剖视图。将喷嘴211中的距压力室231(参照图5)最远的出口211a处的孔的直径设为d(μm)。此外，虽然作为上述直径d(μm)例如优选使用10μm以上120μm以下的直径，但当然并不特别限定。另外，将在与包括出口211a的孔的面(喷嘴面214)垂直的方向(喷嘴板21的厚度方向、墨水的排出方向)上，循环流路部213的最靠近出口211a侧的位置与出口211a之间的距离设为n(μm)。此时，在本实施方式中，将距离n和直径d设定为
n≤3.47d…(1)。
即，循环流路部213在喷嘴板21中，形成在满足条件式(1)的位置。此外，3.47d是指3.47×d。通过满足条件式(1)，循环流路部213在喷嘴板21的厚度方向上成为接近喷嘴211的出口211a的配置。由此，容易导入喷嘴211内的墨水，并使其经由循环流路部213循环。
另外，通过满足条件式(1)式，如图9所示，能够使从压力室231(参照图5)流入到循环流路部213的墨水与在导入时从喷嘴211附近朝向循环流路部213的墨水接触的区域增加。由此，喷嘴211附近的墨水被从压力室231经由循环流路部213循环的墨水的墨流吸引并导入，所以喷嘴211的出口211a附近的墨水的导入也变得容易。
上述的条件式(1)是用于使后述的条件式(2)成立的条件。即，若条件式(2)的后述的下限值(0.16n)在上限值(0.555d)以下，则条件式(2)必定成立。根据0.16n≤0.555d，从而n≤0.555d/0.16＝3.47d，得到条件式(1)。因此，例如，在d＝10μm并且n＝40μm的情况等不满足条件式(1)的条件下，条件式(2)不成立(不存在满足条件式(2)的导入量h)，所以得不到循环以及后述的墨水弯液面的振动带来的开盖(decap)效果(抑制排出速度的降低的效果)。
此外，从使满足后述的条件式(2)那样的导入量h的控制变得容易的观点来看，关于n以及d，更优选满足以下的条件式(1a)，进一步优选满足以下的条件式(1b)。即，
n≤3.00d…(1a)
n≤2.00d…(1b)。
此外，在循环流路部213与喷嘴板21的结合层21b相面对的情况下，换句话说，在循环流路部213形成于喷嘴板21的喷嘴支承层21c且结合层21b的表面形成循环流路部213的底面(喷嘴211侧的面)的情况下，上述的距离n与喷嘴板21的喷嘴层21a的厚度和结合层21b的厚度的和相等。另外，在循环流路部213与喷嘴板21的喷嘴层21a相面对的情况下，换句话说，在循环流路部213形成于喷嘴板21的喷嘴支承层21c以及结合层21b且喷嘴层21a的表面形成循环流路部213的底面的情况下，上述的距离n与该喷嘴层21a的厚度相等。另外，虽然上述的喷嘴211的喷嘴直径在墨水排出方向为恒定的形状，但喷嘴直径也可以在上述墨水排出方向连续或者阶段性地变化。例如，喷嘴211也可以由喷嘴直径在墨水排出方向以两个阶段变化的两级孔来形成。
[非排出时的墨水弯液面的振动]
本申请发明者发现了：从使喷嘴附近的墨水的一部分导入循环流路部的观点来看，通过在相对于距压力室最远的喷嘴出口处的孔的直径d(μm)，循环流路部的最靠近喷嘴出口侧的位置与喷嘴出口之间的距离n(μm)满足n≤3.47d的情况下，以考虑了墨水的导入量的以下详述的规定的条件使墨水弯液面振动，从而即使在喷嘴出口附近未能完全抑制干燥而墨水增粘了的情况下，也能够提高能够从喷嘴内排除该墨水的可能性，能够避免起因于上述墨水的排出特性的降低。以下对墨水弯液面的振动进行详述。
在本实施方式中，驱动电路60在墨水的非排出时，生成将墨水从喷嘴211的出口211a向压力室231侧导入0.16n以上0.555d以下的距离并使墨水弯液面振动的驱动信号，并且对作为驱动元件的压电元件24施加上述驱动信号。此外，0.16n是指0.16×n，0.555d是指0.555×d。作为距离d，例如能够考虑10μm以上30μm以下的值，作为距离n，例如能够考虑10μm以上20μm以下的值，但并不限定于这些范围内。此外，后述墨水的导入量的详细。
图10示出在非排出时不使墨水弯液面振动，在排出时使墨水排出的驱动信号(无摇动脉冲)的一个例子，图11示出在非排出时使墨水弯液面振动，在排出时使墨水排出的驱动信号(有摇动脉冲)的一个例子。在使排出时的驱动脉冲(排出脉冲)的振幅以电位差表示例如为25v的情况下，对于非排出时的驱动脉冲(摇动脉冲)的振幅来说，以电位差表示例如为5～10v，比排出时的驱动脉冲的振幅小。因此，在非排出时，能够以不使墨水排出的程度驱动压电元件24，能够使喷嘴211内的墨水弯液面微振动。
若对压电元件24供给图10的驱动信号，则压电元件24在非排出时不使墨水弯液面振动，所以有由于喷嘴211内的墨水(特别是出口211a的附近的墨水)的干燥以及增粘而墨水的排出特性(例如排出速度)降低的担心。但是，通过驱动电路60生成图11所示的驱动信号并供给至压电元件24，压电元件24在非排出时使墨水弯液面振动，使喷嘴211内的墨水流动，所以能够某种程度地抑制墨水的干燥以及增粘。
另外，图12示出在喷嘴211的出口211a的孔的直径d为20μm(距离n为10μm，n＝0.5d)的情况下，调查用于在非排出时使墨水弯液面振动的电位(摇动驱动电位)与墨水弯液面的振动时的位置之间的关系而得到的结果。此外，纵轴的墨水弯液面位置与从喷嘴211的出口211a向压力室231侧的墨水的导入量或者从出口211a向与压力室231相反侧的墨水的突出量对应。由于墨水弯液面的导入位置在喷嘴211的内部，难以从外面进行测量，所以这里，通过模拟根据墨水弯液面由于振动而从出口211a突出时的突出量(突出位置)来假定导入量(导入位置)。
在摇动驱动电位为0.1(×31v)的情况下，根据图12，假定突出量为1.3μm，导入量为1.6μm。另外，根据图12，在摇动驱动电位为0.7(×31v)时墨水弯液面的导入最大，若摇动驱动电位超过0.7(×31v)，则有过度地导入墨水，而墨水弯液面不稳定，从而在排出墨水时对排出造成影响的情况。另外，若摇动驱动电位为0.8(×31v)，也就是大约为25v，则从喷嘴211排出墨水。
因此，在喷嘴211的直径d为20μm的情况下，从通过使墨水弯液面稳定并导入墨水，来即使在喷嘴211的出口211a附近未能完全抑制干燥而墨水增粘了的情况下，也从喷嘴211内排除该墨水，避免起因于上述墨水的排出特性的降低的观点来看，需要摇动驱动电位在0.1(×31v)以上0.7(×31v)以下。在这样的摇动驱动电位的范围内，根据图12，墨水弯液面的导入量在1.6μm以上11.1μm以下。墨水弯液面的导入量1.6μm是直径d(20μm)的0.08倍，墨水弯液面的导入量11.1μm是直径d(20μm)的0.555倍，所以在d＝20μm的条件下，可以说期望墨水的导入量在喷嘴211的直径d的0.08倍以上0.555倍以下。
此外，墨水弯液面的导入量1.6μm如上述那样与突出量1.3μm对应，该突出量1.3μm是喷嘴211的直径d的0.065倍。另外，根据图12，导入量11.1μm与突出量23.0μm对应，该突出量23.0μm是直径d的1.15倍。因此，在d＝20μm的条件下，可以说若墨水弯液面的从出口211a的突出量在喷嘴211的出口211a的直径d的0.065倍以上1.15倍以下，则能够实现上述范围的墨水导入量(直径d的0.08倍以上0.555倍以下)。
接下来，对使直径d以及距离n(喷嘴长)变化时的适当的墨水导入量进行研究。如图9所示，将墨水的导入量、即墨水弯液面的距出口211a的距离设为h(μm)。在使喷嘴211的直径d变化为10μm、20μm、24μm、30μm的情况下，对基于摇动驱动电位的施加的墨水导入量h进行模拟而得到的结果、和对此时的墨水的排出状态进行观察而得到的结果如表1～表8所示。其中，在表1～表4中，使距离n为10μm并恒定，在表5～表8中，使距离n为20μm并恒定。
[表1]
d＝10μm、n＝10μm
[表2]
d＝20μm、n＝10μm
[表3]
d＝24μm、n＝10μm
[表4]
d＝30μm、n＝10μm
[表5]
d＝10μm、n＝20μm
[表6]
d＝20μm、n＝20μm
[表7]
d＝24μm、n＝20μm
[表8]
d＝30μm、n＝20μm
若非排出时的摇动驱动电位过低(若在0.1(×31v)以下)，则由于墨水的干燥以及增粘，而墨水的排出速度从基准范围(例如基准速度的±5％)降低。另一方面，若非排出时的摇动驱动电位过高(若在0.7(×31v)以上)，则墨水弯液面变得不稳定而墨水的排出方向变得不稳定，引起墨水的排出不良。另一方面，在摇动驱动电位在上述之间的范围时，墨水的排出状态保持良好。
图13～图16是基于表1～表8的数值，在直径d＝10μm、20μm、24μm、30μm的各个情况下，将距离n与墨水的导入量h之间的关系描绘于坐标平面上的图表。此外，图中的“○”标记表示墨水排出状态良好的点，“×”标记表示墨水的排出速度降低或者产生排出不良的点。根据这些图，可知表示墨水排出状态良好那样的导入量h的合适的范围的下限值(最小导入量)的hmin与直径d的值无关，大致表示为hmin＝0.16n，表示上限值(最大导入量)的hmax与距离n的值无关，大致表示为hmax＝0.555d。因此，根据以上，对于各种直径d以及距离n的组合，能够认为若墨水的导入量h在满足以下的条件式(2)的范围内，则能够使墨水的排出状态良好。
0.16n≤h≤0.555d…(2)
此外，为了在直径d＝10μm、20μm、24μm、30μm的各个情况下，使hmin共用化的目的，对于d＝20μm以外，方便地设为在附图上相同的n的值(例如n＝20μm)中相邻的“○”标记和“×”标记之间的位置有排出状态的良好/不良的边界，来考虑hmin。
基于以上的考察，在本实施方式中，如上述那样，驱动电路60在墨水的非排出时，生成将墨水从喷嘴211的出口211a向压力室231侧导入0.16n以上0.555d以下的距离并使墨水弯液面振动的驱动信号，基于该驱动信号驱动驱动元件(压电元件24)。
像这样，通过在墨水的非排出时，考虑喷嘴的直径d与距离n之间的关系，换句话说，考虑喷嘴211的出口211a的孔的大小和循环流路部213的位置，将墨水导入规定的量(0.16n以上0.555d以下)，能够避免墨水的排出特性(排出速度)的降低。由此，可以说即使在非排出时，在喷嘴211的出口211a的附近未能完全抑制干燥而墨水增粘了的情况下，也能够导入该增粘了的墨水并使其循环，从而从喷嘴211内排除的可能性较高。另外，通过增粘的墨水的循环，能够调整粘度来再利用上述墨水，所以不需要吐出增粘了的墨水的维护，废弃墨水也大幅度地减少。
根据基于上述驱动信号的压电元件24的举动，可以说本实施方式的喷墨驱动方法包括如下工序：在非排出时，通过压电元件24，将墨水从喷嘴211的出口211a向压力室231侧导入0.16n以上0.555d以下的距离，并使墨水弯液面振动，并且至少将导入的墨水的一部分导入至循环流路部213，从而使上述墨水经由循环流路部213循环。
这里，如图11所示，驱动电路60也可以在非排出时，生成使墨水弯液面振动多次的驱动信号、也就是具有多个摇动脉冲的驱动信号，并供给至压电元件24。在该情况下，在非排出时，压电元件24基于上述驱动信号使墨水弯液面振动多次，从而与墨水弯液面的一次振动的情况相比，能够可靠地抑制喷嘴211的出口211a的附近的墨水的干燥以及增粘本身，能够可靠地避免排出特性的大幅度的降低。
另外，如图11所示，驱动电路60也可以生成在刚要排出墨水之前使墨水弯液面振动的驱动信号，并供给至压电元件24。此外，刚要排出墨水之前是指在墨水的排出脉冲的施加时刻之前且不超过排出脉冲的施加周期的期间。压电元件24基于上述驱动信号在刚要排出墨水之前使墨水弯液面振动，从而能够在刚要排出之前，将喷嘴211的出口211a的附近的增粘了的墨水引导至循环流路部213并排除，另一方面将来自压力室231的新鲜的墨水、也就是粘度适当的墨水供给至喷嘴211内，并在排出时，使上述墨水排出。由此，能够可靠地避免排出特性的降低。
[循环以及振动的有无与排出速度之间的关系]
接下来，对循环以及振动(摇动)的有无与排出速度之间的关系进行考察而得到的结果如以下所示。图17示出循环以及振动(摇动)的有无所带来的排出速度的变化的差异。此外，在以下的说明中，循环量是指在非排出时在循环流路部213流动的墨水的每一秒的流量，排出量是指在排出时从喷嘴211排出的墨水的每一秒的排出量(全排出量)。例如，在以50khz的驱动信号驱动一个沟道(与一个喷嘴对应)且在一次的排出中排出3.5pl的墨滴的情况下，一个沟道的每一秒的排出量成为0.175μl(3.5pl×50khz)。此外，在本实施方式中，通过泵82(参照图7)调整上述循环量，但当然也可以进一步利用水头差来调整循环量。
根据图17，可知：虽然在非排出时仅使墨水循环，也能够在某种程度抑制排出速度的变动(参照图a4)，但通过除了循环之外，还进行摇动(使墨水弯液面振动)，抑制排出速度的变动的效果较高(参照图a1～a3)。另一方面，可知：若在非排出时不使墨水循环，而仅进行摇动，则抑制排出速度的变动的效果较小(参照图a5)，在非排出时不使墨水循环，也不进行摇动的情况下，不能够抑制排出速度的变动(参照图a6)。
因此，根据图17，也可以说通过在非排出时，进行摇动(墨水弯液面的振动)与循环双方，能够避免排出速度的大幅度的降低。
另外，图18示出有循环且使摇动驱动电位变化时的排出速度的变化的差异。此外，纵轴的排出速度变化量以排出速度从基准排出速度的变化量(％)表示。例如，在基准排出速度为6m/s，随着时间经过而排出速度降低至4.8m/s的情况下，排出速度变化量为－20％。
根据图18，可知在摇动驱动电位在0.05(×31v)以下时，排出速度变化量的下限比－10％小(参照图b5～b7)，但在摇动驱动电位在0.1(×31v)以上时，能够将排出速度变化量的下限抑制为－5％左右(参照图b1～b4)。因此，可以说若摇动驱动电位在0.1(×31v)以上，即若与上述摇动驱动电位对应的墨水弯液面的导入量(1.6μm)在喷嘴211的直径d的0.08倍以上，则能够抑制排出速度的大幅度的降低。
另外，图19示出循环量的差异所引起的排出速度的变化的差异。此外，摇动驱动电位在任意的循环量中，均为0.3(×31v)而共用。可知在循环量为排出量的0.0025倍以上时，能够将排出速度变化量的下限抑制在－5％左右(参照图c1～c4)，在无循环时，随着时间经过，排出速度降低接近40％(参照图c5)。因此，可以说从避免排出速度的大幅度的降低的观点来看，期望循环量在排出量的0.0025倍以上。
另外，可知若循环量超过排出量的0.01倍，则排出速度增加(参照图c1、c2)。这考虑是因为若非排出时的循环量增多，则存在于喷嘴附近的气泡、增粘了的墨水更容易流入至循环流路，所以排出速度增加。另一方面，可以说从防止在为了头部的大型化以及使循环量增加，而进行循环流路的大型化时产生的排出效率的恶化的观点来看，期望循环量在排出量的一倍以下。
另外，可知虽然在循环量为排出量的0.025倍时，能够将排出速度的增加量抑制为5％(参照图c2)，但若循环量超过排出量的0.025倍，则排出速度的增加量超过5％，从而排出特性大幅度地降低(参照图c1)。因此，可以说从可靠地避免排出特性的大幅度的降低(排出速度的大幅度的增加)的观点来看，期望循环量在排出量的0.025倍以下。
此外，在本实施方式中，对使用压电元件24作为驱动元件的情况进行了说明，但也可以使用使压力室内产生气泡的发热元件、利用静电使压力室的容积变动的静电促动器等来作为驱动元件。
[补充]
在图9中，在墨水的导入时，墨水弯液面的端部未导入至喷嘴211内的情况下(位于喷嘴211的出口211a处的情况下)，将从该出口211a到墨水弯液面的最上部(导入的墨水弯液面的凹部最前端)的位置为止的、墨水排出方向(喷嘴板21的厚度方向)的距离定义为墨水的导入量h(μm)。如图20所示，虽然在墨水的导入时，也假定墨水弯液面的端部导入至喷嘴211内的情况，但在该情况下，若鉴于使墨水弯液面的凹部的前端接近循环流路部这样的本发明的特征，则墨水的导入量h也能够使用与上述相同的定义。即，在墨水弯液面的端部导入至喷嘴211内的情况下，将从喷嘴211的出口211a到墨水弯液面的最上部(导入的墨水弯液面的凹部最前端)的位置为止的、墨水排出方向(喷嘴板21的厚度方向)的距离考虑为墨水的导入量h(μm)，也能够应用与本实施方式相同的构成、驱动方法。
另外，图21是表示喷墨头1的头芯片2的其它构成的剖视图。如该图所示，头芯片2也可以是省略图5所示的中间板22以及喷嘴支承层21c，在主体板23的压力室层23a设置循环流路部213，并将主体板23与喷嘴板21直接接合的构成。在该构成中，循环流路部213与压力室231直接连通，不从“从压力室231朝向喷嘴211的墨水的流路”分支。但是，若将压力室231本身考虑为“朝向喷嘴211的墨水的流路”，则可以说循环流路部213设置为从“朝向喷嘴211的墨水流路”分支。根据这样的构成，也与本实施方式相同地，通过考虑喷嘴211的出口211a的大小和循环流路部213的位置，适当设定墨水的导入量h，能够从喷嘴211内排除增粘了的墨水，避免起因于上述墨水的排出特性的降低。另外，本实施方式所说明的与墨水的导入量h相关的设定、各种条件式也能够应用于不具有中间板22以及喷嘴支承层21c并通过压电体的剪切变形来排出墨水的所谓的剪切模式头。
[其它]
以上所说明的本实施方式的喷墨驱动装置以及驱动方法也能够如以下那样表现，由此起到以下的作用效果。
本实施方式的喷墨驱动装置具备：头基板，其具有排出墨水的喷嘴、与上述喷嘴连通并收纳上述墨水的压力室、以及从朝向上述喷嘴的上述墨水的流路分支地设置并形成用于使从上述压力室排出的墨水循环的流路的循环流路部；驱动元件，其被支承于上述头基板，在排出时，使上述压力室内的墨水从上述喷嘴排出，另一方面，在非排出时，使上述喷嘴中的墨水弯液面振动；以及驱动控制部，其控制上述驱动元件，在将上述喷嘴中的距上述压力室最远的出口处的孔的直径设为d(μm)，并且将在与包括上述出口的孔的面垂直的方向上，上述循环流路部的最靠近上述出口侧的位置与上述出口之间的距离设为n(μm)时，满足n≤3.47d，上述驱动控制部在上述非排出时，生成将墨水从上述喷嘴的上述出口向上述压力室侧导入0.16n以上0.555d以下的距离并使上述墨水弯液面振动的驱动信号，并且将上述驱动信号施加至上述驱动元件。
如上述那样，考虑距离n与直径d之间的关系，换句话说，考虑喷嘴出口的孔的大小与循环流路部的位置，将墨水导入规定的量(距离)并使墨水弯液面振动，由此，即使在喷嘴出口附近未能完全抑制干燥而墨水增粘了的情况下，也能够提高能够将增粘了的墨水引导至循环流路部，并且即使较少也从喷嘴内排除增粘了的墨水的可能性。其结果是，能够避免起因于上述墨水的排出特性的降低。另外，若满足n≤3.47d，则循环流路部的位置接近喷嘴出口，所以将喷嘴内的墨水导入并使其经由循环流路部循环变得容易。
本实施方式的喷墨驱动方法是驱动以下的构成的喷墨驱动装置的方法。上述喷墨驱动装置具备：头基板，其具有排出墨水的喷嘴、与上述喷嘴连通并收纳上述墨水的压力室、以及从朝向上述喷嘴的上述墨水的流路分支地设置并形成用于使从上述压力室排出的墨水循环的流路的循环流路部；以及驱动元件，其被支承于上述头基板，在排出时，使上述压力室内的墨水从上述喷嘴排出，另一方面，在非排出时，使上述喷嘴中的墨水弯液面振动，在将上述喷嘴中的距上述压力室最远的出口处的孔的直径设为d(μm)，并且将在与包括上述出口的孔的面垂直的方向上，上述循环流路部的最靠近上述出口侧的位置与上述出口之间的距离设为n(μm)时，满足n≤3.47d，该驱动方法包括如下工序：在上述非排出时，通过上述驱动元件，将墨水从上述喷嘴的上述出口向上述压力室侧导入0.16n以上0.555d以下的距离并使上述墨水弯液面振动，并且至少将导入的墨水的一部分引导至上述循环流路部，从而使上述墨水经由上述循环流路部而循环。
如上述那样，考虑距离n与直径d之间的关系，将墨水导入规定的量(距离)并使墨水弯液面振动。而且，通过将导入的墨水的至少一部分引导至循环流路部，使上述墨水经由循环流路部来循环。由此，即使在喷嘴出口附近未能完全抑制干燥而墨水增粘了的情况下，也能够提高能够将该增粘了的墨水引导至循环流路部而即使较少也能够从喷嘴内将其排除的可能性。其结果是，能够避免起因于上述墨水的排出特性的降低。另外，若满足n≤3.47d，则循环流路部的位置接近喷嘴出口，所以将喷嘴内的墨水导入并使其经由循环流路部循环变得容易。
优选在上述驱动装置以及上述驱动方法中，在所述非排出时在所述循环流路部流动的墨水的每一秒的流量是在所述排出时从所述喷嘴排出的墨水的每一秒的排出量的0.0025倍以上。
若非排出时的循环量在排出时的排出量的0.0025倍以上，则能够将在喷嘴出口附近增粘了的墨水引导至循环流路部并使其循环，能够大致从喷嘴内排除。由此，能够可靠地避免排出特性的大幅度的降低。例如，能够将排出速度的降低抑制为基准速度的5％以下的降低。
优选在上述驱动装置以及上述驱动方法中，在所述非排出时在所述循环流路部流动的墨水的每一秒的流量是在所述排出时从所述喷嘴排出的墨水的每一秒的排出量的一倍以下。
若在非排出时，实现超过排出时的排出量的一倍的循环量，则需要将循环流路部大型化，难以高密度地配置喷嘴。通过循环量在排出量的一倍以下，能够容易地实现喷嘴的高密度配置，并且避免排出特性的大幅度的降低。
优选在上述驱动装置以及上述驱动方法中，在所述非排出时在所述循环流路部流动的墨水的每一秒的流量是在所述排出时从所述喷嘴排出的墨水的每一秒的排出量的0.025倍以下。
若非排出时的循环量在排出时的排出量的0.025倍以下，则能够极力抑制循环所引起的排出特性的变动，能够可靠地避免排出特性的降低。
优选在上述驱动装置中，所述驱动控制部在所述非排出时，生成使所述墨水弯液面振动多次的驱动信号并供给至所述驱动元件。另外，优选在上述驱动方法中，在上述工序中，在上述非排出时使上述墨水弯液面振动多次。
在非排出时，驱动元件基于上述驱动信号使墨水弯液面振动多次，从而能够在非排出时，可靠地抑制喷嘴出口附近的墨水的干燥以及增粘本身，能够可靠地避免排出特性的大幅度的降低。
优选在上述驱动装置中，所述驱动控制部生成在刚要排出墨水之前使所述墨水弯液面振动的驱动信号并供给至所述驱动元件。另外，优选在上述驱动方法中，在上述工序中，在刚要排出墨水之前使上述墨水弯液面振动。
驱动元件基于上述驱动信号在刚要排出墨水之前使墨水弯液面振动，由此，能够在刚要排出之前，将喷嘴出口附近的增粘了的墨水引导至循环流路部并排除，另一方面能够将来自压力室的新鲜的(规定的粘度的)墨水供给至喷嘴内，并在排出时，使上述墨水排出。由此，能够可靠地避免排出特性的降低。
也可以在上述驱动装置以及上述驱动方法中，所述循环流路部从自所述压力室朝向所述喷嘴的所述墨水的流路分支地设置。在该情况下，能够活用从压力室朝向喷嘴的墨水的流路方向(例如头基板的厚度方向)的空间来形成循环流路部，所以容易增大循环流路部(循环流路)的容积。
优选在上述驱动装置以及上述驱动方法中，满足
n≤3.00d。
在该情况下，循环流路部的位置更接近喷嘴出口，所以0.16n以上0.555d以下那样的墨水的导入量的控制变得容易。
优选在上述驱动装置以及上述驱动方法中，满足
n≤2.00d。
在该情况下，循环流路部的位置更接近喷嘴出口，所以0.16n以上0.555d以下那样的墨水的导入量的控制变得更容易。
优选在上述驱动装置以及上述驱动方法中，在非排出时，同时进行(基于泵的)墨水的循环和(基于上述驱动元件的)墨水弯液面的振动(从喷嘴的墨水的导入)(参照图17的图a1～a3)。在该情况下，能够避免墨水的增粘所引起的排出速度的大幅度的降低。
产业上的可利用性
本发明的喷墨驱动装置以及驱动方法能够利用于喷墨头、喷墨打印机。
附图标记说明：1…喷墨头(喷墨驱动装置)，2…头芯片(头基板)，24…压电元件(驱动元件)，60…驱动电路(驱动控制部)，100…喷墨打印机(喷墨驱动装置)，211…喷嘴，211a…出口，213…循环流路部，231…压力室，d…直径，n…距离。