显示装置和显示装置的制造方法

专利名称：显示装置和显示装置的制造方法
技术领域：
本发明涉及使用机械快门(mechanical shutter)的显示装置。
背景技术：
近年来，使用应用了MEMS (Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)技术的机械快门(以下称为“ MEMS快门”)的显示装置受到了关注。使用MEMS快门(开闭器)的显示装置(以下称为“ MEMS显示装置”)，指的是通过用TFT使按每个像素设置的MEMS快门高速开闭而控制透过快门的光的量，进行图像的明暗调整的显示装置(例如专利文献I “日本特开2008-197668号公报”)。MEMS显示装置中采用时间灰度等级方式，依次切换来自红色、緑色和蓝色的LED背光源的光进行图像显示。MEMS显示装置的特征在于不需要液晶显示装置中使用的偏光膜和彩色滤光片等，与液晶显示装置相比较背光源的光的利用效率为约10倍，消费电カ为1/2以下，以及色彩再现性优秀。
MEMS显示装置中，在基板上形成用于驱动MEMS快门的开关元件，和构成驱动开关元件的栅极驱动器和数据驱动器的TFT。在基板上同时形成用于从外部向TFT供给信号的端子。通常，MEMS显示装置中，在形成了 TFT和端子的TFT基板上形成覆盖TFT和端子的钝化膜，在该钝化膜上形成MEMS快门(光闸)。之后，使对置基板与形成了 MEMS快门的TFT基板贴合。因为需要从外部对TFT基板上形成的端子供给信号，所以以对置基板不覆盖端子上部的方式使TFT基板与对置基板贴合。因为需要从外部对TFT基板上形成的端子供给信号，所以需要除去端子上的钝化膜。通常，在TFT和半导体エ艺中，端子上的钝化膜用光刻エ艺和蚀刻エ艺的组合除去。另一方面，MEMS显示装置的情况下，MEMS快门的工作部是中空状态，难以在MEMS快门形成后应用光刻エ艺(抗蚀剂涂布等)。此外，存在使TFT基板与对置基板贴合，切断为各个MEMS显示装置后，用干式蚀刻エ艺除去端子上的钝化膜的方法。但是，该钝化膜的除去方法中存在需要专用装置，并且MEMS显示装置的制造呑吐量大幅降低的问题。此外，存在通过对端子上部照射激光而除去钝化膜的方法，但存在MEMS显示装置的制造呑吐量大幅降低的问题。于是，本发明鉴于上述问题，提供ー种不需要专用装置、不会使制造呑吐量降低而除去端子上的钝化膜的显示装置及其制造方法。

发明内容
根据本发明的一个实施方式，提供一种显示装置，其包括其包括在基板上以矩阵状配置的、具有开关元件和由上述开关元件驱动的MEMS快门的多个像素；和在上述基板上配置的与外部端子连接的多个端子，上述显示装置的特征在于上述MEMS快门包括具有开ロ部的快门；与上述快门连接的第一弹簧；与上述第一弹簧连接的第一锚定部 ，第二弹簧；以及与上述第二弹簧连接的第二锚定部，在上述快门、上述第一弹簧、上述第二弹簧、上述第一锚定部和上述第二锚定部的表面中的与上述基板的表面垂直的方向上的面具有绝缘膜，在上述快门、上述第一弹簧、上述第二弹簧、上述第一锚定部和上述第二锚定部的表面中的、相对于上述基板的表面为平行方向且与上述基板相対的ー侧的相反侧的面和上述多个端子的表面，未设置上述绝缘膜。利用上述第一锚定部与上述第二锚定部的电位差，对上述第一弹簧和上述第二弹簧进行静电驱动。上述第一锚定部与上述第二锚定部的电位差，由上述开关元件供给。也可以还具有背光源，上述基板具有开ロ部，从上述快门的上述开ロ部与上述基板的开ロ部重叠的部分使从上述背光源供给的光透过。也可以还具有在上述基板上配置的反射部，通过(在)上述快门的上述开ロ部与 上述反射部重叠的部分，使被上述反射部反射的光透过。在上述开关元件上具有绝缘膜。在上述快门、上述第一弹簧和上述第二弹簧的表面中的相对于上述基板的表面为平行方向且与上述基板相対的一侧的面具有绝缘膜，上述快门、上述第一弹簧和上述第二弹簧的表面中的相对于上述基板的表面为平行方向且与上述基板相対的一侧的面的绝缘膜，比上述快门、上述第一弹簧和上述第二弹簧的表面中的与上述基板的表面垂直的方向上的面的绝缘膜薄。上述快门通过叠层透过率不同的材料而形成。上述快门通过叠层透过率不同的材料而形成，在上述快门的表面中的相对于上述基板的表面为平行方向且与上述基板相対的ー侧的相反侧的面，设置有透过率最低的材料。此外，根据本发明的一个实施方式，提供一种显示装置的制造方法，其特征在于在基板上形成开关元件和端子，在上述开关元件上形成第一绝缘膜，在上述第一绝缘膜上形成包括用上述开关元件驱动的具有开ロ部的快门、与上述快门连接的第一弹簧、与上述第一弹簧连接的第一锚定部、第二弹簧、以及与上述第二弹簧连接的第二锚定部的多个像素，在上述快门、上述第一弹簧、上述第二弹簧、上述第一锚定部、上述第二锚定部和上述端子形成第二绝缘膜，对上述第二绝缘膜进行各向异性蚀刻。对上述第二绝缘膜进行各向异性蚀刻直到上述端子露出。上述第二绝缘膜还在上述快门、上述第一弹簧、上述第二弹簧、上述第一锚定部和上述第二锚定部的表面中的与上述基板的表面垂直的方向上的面形成，在上述各向异性蚀刻后，在上述快门、上述第一弹簧、上述第二弹簧、上述第一锚定部和上述第二锚定部的表面中的与上述基板的表面垂直的方向上的面形成的上述第二绝缘膜残存。上述第二绝缘膜还在上述快门、上述第一弹簧、上述第二弹簧、上述第一锚定部和上述第二锚定部的表面中的与上述基板的表面垂直的方向上的面、以及上述快门、上述第一弹簧和上述第二弹簧的表面中的相对于上述基板的表面为平行方向且与上述基板相对的一侧的面形成，上述快门、上述第一弹簧和上述第二弹簧的表面中的相对于上述基板的表面为平行方向且与上述基板相対的一侧的面的上述第二绝缘膜，比上述快门、上述第一弹簧和上述第二弹簧的表面中的与上述基板的表面垂直的方向上的面的上述第二绝缘膜薄。
上述快门也可以通过叠层透过率不同的材料而形成。上述快门也可以上述快门通过叠层透过率不同的材料而形成，在上述快门的表面中的相对于上述基板的表面为平行方向且与上述基板相対的ー侧的相反侧的面，形成有透过率最低的材料。


图I (A)是ー个实施方式的本发明的显示装置100的立体图，⑶是ー个实施方式的本发明的显示装置100的平面图。图2是ー个实施方式的本发明的显示装置100的电路框图。图3是表示一个实施方式的本发明的显示装置100中使用的MEMS快门202的结构的图。
图4是表示一个实施方式的本发明的显示装置100中使用的MEMS快门202的结构的图。图5是ー个实施方式的本发明的显示装置100的显示部(图4所示的MEMS快门202中的A-A’线所示的部位)和端子部102e(端子104)的截面图。图6是表示一个实施方式的本发明的显示装置100的制造エ艺的图。
具体实施例方式以下參照

本发明的显示装置的实施方式。其中，本发明的显示装置不限定于以下实施方式，能够进行各种变形并实施。图I(A)和(B)表示本发明的一个实施方式的显示装置100。图I(A)中表示本实施方式的本发明的显示装置100的立体图。图I(B)表示本实施方式的本发明的显示装置100的平面图。本实施方式的本发明的显示装置100，具有基板102和对置基板106。基板102具有显示部102a、驱动电路102b、102c和102d、以及端子部102e。图2表示本实施方式的本发明的显示装置100的电路框图。图2所示的本实施方式的本发明的显示装置100中，从控制器120供给图像信号和控制信号。此外，对于图2所示的本实施方式的本发明的显示装置100，从由控制器120控制的背光源122供给光。其中，也可以包括控制器120和背光源122构成本发明的显示装置100。如图2所示，显示部102a具有以矩阵状配置的像素200，像素200具有机械快门(MEMS快门)202、开关元件204和保持电容206。驱动电路102b和102c是数据驱动器，通过数据线(D1、D2、……、Dm)对开关元件204供给数据信号。开关元件驱动电路102d是栅极驱动器，通过栅极线(G1、G2、……、Gn)对开关元件204供给栅极信号。其中，本实施方式中，如图I所示，作为数据驱动器的驱动电路102b和102c以夹着显示部102a的方式配置，但不限定于此。开关元件204基于从数据线(D1、D2、……、Dm)供给的数据信号驱动MEMS 快门 202。此处，在图3和图4中表示本实施方式的本发明的显示装置100中使用的MEMS快门202的结构。为了便于说明，在图3中，表示ー个MEMS快门202，但本实施方式的本发明的显示装置100中，以矩阵状配置图3所示的MEMS快门202。MEMS 快门 202 具有快门 210、第一弹簧 216、218、220 和 222、第二弹簧 224、226、228和230、以及锚定部232、234、236、238、240和242。快门210具有开ロ部211和212，快门210主体是遮光部。此外，基板102具有开ロ部213和214。快门210的开ロ部211和212与基板102的开ロ部213和214配置为在平面方向上(俯视时)大致重叠，使从基板102的背面供给并透过基板102的开ロ部213和214的光，透过快门210的开ロ部211和212。其中，本实施方式所示的MEMS快门202，只是能够用于本发明的显示装置100的MEMS快门的一例，只要是能够用开关元件驱动的MEMS快门，就能够使用任意方式的。此外，也可以不使用背光源122并且不设置基板102的开ロ部213和214，而在快门210的开ロ部211和212的下部设置反射部，构成反射型的显示装置。快门210的一侧通过第一弹簧216和218与锚定部232和234连接。锚定部232和234与第一弹簧216和218 —同具有以从基板102的表面浮起的状态支撑快门210的功能。锚定部232与第一弹簧216电连接，且锚定部234与第一弹簧218电连接。对于锚定部232和234，从开关元件204供给偏置电位，对第一弹簧216和218供给偏置电位。此夕卜，第二弹簧224和226与锚定部236连接。锚定部236具有支撑第二弹簧224和226的功能。锚定部236与第二弹簧224和226电连接。对于锚定部236，供给接地电位，对第二弹簧224和226供给接地电位。 此外，快门210的另ー侧通过第一弹簧220和222与锚定部238和240连接。锚定部238和240与第一弹簧220和222 —同具有以从基板102的表面浮起的状态支撑快门210的功能。锚定部238与第一弹簧220电连接，且锚定部240与第一弹簧222电连接。对于锚定部238和240，从开关元件204供给偏置电位，对第一弹簧220和222供给偏置电位。此外，第二弹簧228和230与锚定部242连接。锚定部242具有支撑第二弹簧228和230的功能。锚定部242与第二弹簧228和230电连接。对于锚定部242，供给接地电位，对第ニ弹簧228和230供给接地电位。其中，在图4的上部，为了便于说明，将存在快门210的区域表示为“A”，存在第一弹簧216、218、220和222以及第ニ弹簧224、226、228和230的区域表示为“B”，存在锚定部232、234、236、238、240 和 242 的区域表示为 “C”。如上所述，本实施方式中，从开关元件204对锚定部232和234供给偏置电位，对第一弹簧216和218供给偏置电位，并且对锚定部236供给接地电位，对第二弹簧224和226供给接地电位。通过第一弹簧216和218与第二弹簧224和226之间的电位差，对第一弹簧216和第二弹簧224静电驱动，使其相互吸引地移动，并且对第一弹簧218和第二弹簧234静电驱动，使其相互吸引地移动，从而快门210移动。此外，同样地，从开关元件204对锚定部238和240供给偏置电位，对第一弹簧220和222供给偏置电位，并且对锚定部242供给接地电位，对第二弹簧228和230供给接地电位。通过第一弹簧220和222与第二弹簧228和230之间的电位差,对第一弹簧220和第二弹簧228静电驱动，使其相互吸引地移动，并且对第一弹簧222和第二弹簧230静电驱动，使其相互吸引地移动，从而快门210移动。其中，本实施方式中，说明了在快门210的两侧连接配置第一弹簧、第二弹簧和锚定部的例子，但本发明的显示装置不限定于此。也可以在快门210的一侧连接配置第一弹簧、第二弹簧和锚定部，在快门210的另ー侧仅连接配置第一弹簧和锚定部，使另ー侧的第一弹簧和锚定部具有以从基板浮起的状态支撑快门的功能，对快门210的ー侧的第一弹簧和第二弹簧静电驱动，使快门210动作。接着參照图5。图5中是本实施方式的本发明的显示装置100的显示部(图4所示的MEMS快门202上的A-A’线所示的部位)和端子部102e (端子104)的截面图。其中，图5上部中，为了便于说明，将存在端子部102的区域表示为“D”。如图5所示，本实施方式的本发明的显示装置100中，快门210具有a_Si(210a)和比a-Si透过率更低的遮光用的AlSi (210b)的叠层体以及绝缘膜(钝化膜)210c。本实施方式中，仅在a-Si(210a)和遮光用的AlSi (210b)的叠层体的侧部(与基板102的表面垂直的方向上的面)和下部(相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相对的ー侧的面)具有绝缘膜(钝化膜)210c。換言之，在a-Si(210a)和遮光用的AlSi (210b)的叠层体的上部(相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的ー侧的相反侧的面)不存在绝缘膜(钝化膜)。其中，本实施方式中，使用a-Si (210a)和遮光用的AlSi (210b)的叠层体作为快门210，但不限定于此，只要是仅在侧部和下部形成绝缘膜(钝化膜)的结构，就能够使用任意的结构和材料。此外，本实施方式中，说明了仅在a_Si(210a)和遮光用的
AlSi (210b)的叠层体的侧部和下部具有绝缘膜(钝化膜)210c的例子，但重要的在于快门210的上部不存在绝缘膜(钝化膜)，下部有无绝缘膜(钝化膜)均可，此外，侧部和下部的绝缘膜(钝化膜)的厚度也可以不同。例如，与侧部相比下部的绝缘膜(钝化膜)可以更薄。此外，如图5所示，本实施方式的本发明的显示装置100中，第一弹簧216、218、220和222 (218以外省略图示)、以及第ニ弹簧224、226、228和230 (226以外省略图示)，分别在a-Si的侧部(与基板102的表面垂直的方向上的面)和下部(相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的ー侧的面)具有绝缘膜(钝化膜)。如图5所示，以第一弹簧226和第二弹簧218为例说明，第一弹簧226在a_Si (226a)的侧部和下部具有绝缘膜(钝化膜)226c，第二弹簧218在a-Si (218a)的侧部和下部具有绝缘膜(钝化膜)218c。换言之，第一弹簧226中，在a-Si (226a)的上部(相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的ー侧的相反侧的面)不存在绝缘膜(钝化膜)，且第二弹簧218中，在a-Si (218a)的上部(相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的ー侧的相反侧的面)不存在绝缘膜(钝化膜)。通过这样，用绝缘膜(钝化膜)使第一弹簧216、218、220和222、以及第ニ弹簧224、226、228和230之间绝缘分离。其中，本实施方式中，使用a_Si作为第一弹簧216、218、220和222、以及第ニ弹簧224、226、228和230，但不限定于此，只要是仅在侧部和下部形成绝缘膜(钝化膜)的结构，就能够使用任意的结构和材料。此外，本实施方式中，说明了仅在第一弹簧216、218、220和222、以及第ニ弹簧224、226、228和230的侧部和下部具有绝缘膜(钝化膜)的例子，但重要的在于在第一弹簧216、218、220和222、以及第ニ弹簧224、226、228和230的上部不存在绝缘膜(钝化膜)，在下部有无绝缘膜(钝化膜)均可，此外，侧部和下部的绝缘膜(钝化膜)的厚度也可以不同。如图5所示，本实施方式的本发明的显示装置100中，锚定部232、234、236、238、240和242 (234以外省略图示)分别具有a_Si和AlSi的叠层体以及绝缘膜(钝化膜)。如图5所示，以锚定部234为例说明，锚定部234具有a-Si (234a)和AlSi (234b)的叠层体以及绝缘膜(钝化膜(234c)。锚定部234在构成基板102的TFT基板300上形成的绝缘膜302 (钝化膜)上形成。本实施方式中，仅在a-Si (234a)和AlSi (234b)的叠层体的侧部(与基板102的表面垂直的方向上的面)和下部(相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的ー侧的面)具有绝缘膜(钝化膜)234c。换言之，在a-Si (234a)和AlSi (234b)的叠层体的上部(相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的ー侧的相反侧的面)不存在绝缘膜(钝化膜)。其中，本实施方式中，使用a-Si和AlSi的叠层体作为锚定部232、234、236、238、240和242，但不限定于此，只要是仅在侧部和下部形成绝缘膜(钝化膜)的结构，就能够使用任意的结构和材料。此外，本实施方式中，说明了仅在a-Si和AlSi的叠层体的侧部和下部具有绝缘膜(钝化膜)的例子，但重要的在于在锚定部232、234、236、238、240和242的上部不存在绝缘膜(钝化膜)，在下部有无绝缘膜(钝化膜)均可，此外，侧部和下部的绝缘膜(钝化膜)的厚度也可以不同。此外，如图5所示，本实施方式的本发明的显示装置100中，端子部102e的端子部104由MoW(104a)、A1 (104b) ,Moff (104c)和IT0(104d)构成。其中，端子104的结构和材料不限定于此，能够与开关元件(本实施方式中为TFT)的结构相应地适当变更，此外，Al (104b)也可以使用与开关元件204的漏极配线同一层的配线。端子部102e在构成基板102的TFT基板300的一部分形成。本实施方式中，TFT基板的显示部102a、数据驱动器102b和102c以及栅极驱动器102d上被绝缘膜(钝化膜)302覆盖，但在端子104的表面不存在绝缘膜 (钝化膜)，端子104露出。如以上说明，本实施方式的本发明的显示装置100中，从外部被供给信号的端子部102e的端子104的上部露出，并且用绝缘膜(钝化膜)使MEMS快门202的第一弹簧216、218,220和222、以及第ニ弹簧224、226、228和230之间绝缘分离。由此，能够良好地进行MEMS快门202的静电驱动动作。其中，在第一弹簧216、218、220和222、以及第ニ弹簧224、226,228和230以外的部分(例如快门210的上面等)即使不存在绝缘膜(钝化膜)也不会发生问题。接着，參照图6，说明本实施方式的本发明的显示装置100的制造エ艺。首先，在基板102形成显示部102a、构成数据驱动器102b和102c以及栅极驱动器102d的开关元件(本实施方式中为TFT)和构成端子部102e的端子104(图6中为Moff (104a)、A1 (104b)和Moff (104c)),形成TFT基板300，除端子部102e以外形成SiN等绝缘膜(钝化膜)302。其中，IT0(104d)也可以在形成绝缘膜302前形成，也可以在形成绝缘膜302后的端子部102e的部分(没有形成绝缘膜302的部分)形成。接着，在绝缘膜(钝化膜)302上形成MEMS快门202(图6中表示快门210、第一弹簧218、第二弹簧226和锚定部234)。接着，在基板102整体，用一般的PECVD法形成作为钝化膜的SiN等绝缘膜，形成绝缘膜210c、218c、226c、234c和304(图6(A))。此时，有在MEMS快门202的快门210等、第一弹簧218等、第二弹簧226等和锚定部234等的相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的一侧的面没有形成绝缘膜的情况，和形成与相对于基板102的表面垂直的方向上的面和相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的ー侧的相反侧的面相比膜厚不同(例如较薄)的绝缘膜的情況。接着，对绝缘膜210c、218c、226c、234c和304通过各向异性干式蚀刻进行加工(图6(B))。因为各向异性干式蚀刻エ艺,位于相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的ー侧的相反侧的面的绝缘膜被以高蚀刻速率蚀刻(图6(B)中的虚线箭头)，位于与基板102的表面垂直的方向上的面和相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的一侧的面的绝缘膜未被蚀刻而残留(图6(C)。此时，端子部102e的端子104上的绝缘膜304也被除去，端子104露出。进行该蚀刻エ艺直到成为位于相对于基板102的表面为平行方向且与基板102相対的ー侧的相反侧的面的绝缘膜被除去，端子部104露出，第一弹簧216、218、220和222、以及第ニ弹簧224、226、228和230之间的绝缘膜残留的状态。绝缘膜是SiN的情况下，能够使用氟类气体，使用电容耦合等离子体方式或电感耦合等离子体、电子回旋加速共振等离子体方式的干式蚀刻设备。其中，通过添加O2气体在侧壁形成保护层，能够进一歩提高蚀刻的各向异性。接着，用周知的方法贴合对置基板(未图示)，完成本实施方式的本发明的显示装置100。因为端子部102e的端子104露出，所以也能够与挠性电缆等外部端子电连接。本实施方式的本发明的显示装置100中，在使TFT基板与对置基板贴合前(前置エ序)中，用一般使用的干式蚀刻エ艺除去了端子上的绝缘膜(钝化膜)，所以不需要特殊的エ艺，能够以高呑吐量加工，所以能够实现显示装置的成本降低。此外，不需要以往在使TFT基板与对置基板贴合、切断后，用于用干式蚀刻エ艺除去端子上的钝化膜所需的专用装 置，能够提供一种不会使制造呑吐量降低就除去端子上的绝缘膜(钝化膜)的显示装置及其制造方法。
权利要求
1.一种显示装置，其包括 在基板上以矩阵状配置的、具有开关元件和由所述开关元件驱动的MEMS快门的多个像素；和 在所述基板上配置的与外部端子连接的多个端子， 所述显示装置的特征在于 所述MEMS快门包括具有开ロ部的快门；与所述快门连接的第一弹簧；与所述第一弹簧连接的第一锚定部；第ニ弹簧；以及与所述第二弹簧连接的第二锚定部， 在所述快门、所述第一弹簧、所述第二弹簧、所述第一锚定部和所述第二锚定部的表面中的与所述基板的表面垂直的方向上的面具有绝缘膜， 在所述快门、所述第一弹簧、所述第二弹簧、所述第一锚定部和所述第二锚定部的表面中的、相对于所述基板的表面为平行方向且与所述基板相対的ー侧的相反侧的面和所述多个端子的表面，未设置所述绝缘膜。
2.如权利要求I所述的显示装置，其特征在于 利用所述第一锚定部与所述第二锚定部的电位差，对所述第一弹簧和所述第二弹簧进行静电驱动。
3.如权利要求2所述的显示装置，其特征在于 所述第一锚定部与所述第二锚定部的电位差，由所述开关元件供给。
4.如权利要求I所述的显示装置，其特征在干 还具有背光源， 所述基板具有开ロ部， 从所述快门的所述开ロ部与所述基板的开ロ部重叠的部分使从所述背光源供给的光透过。
5.如权利要求I所述的显示装置，其特征在干 还具有在所述基板上配置的反射部， 通过所述快门的所述开ロ部与所述反射部重叠的部分，使被所述反射部反射的光透过。
6.如权利要求I所述的显示装置，其特征在于 在所述开关元件上具有绝缘膜。
7.如权利要求I所述的显示装置，其特征在于 在所述快门、所述第一弹簧和所述第二弹簧的表面中的相对于所述基板的表面为平行方向且与所述基板相対的一侧的面具有绝缘膜， 所述快门、所述第一弹簧和所述第二弹簧的表面中的相对于所述基板的表面为平行方向且与所述基板相対的一侧的面的绝缘膜，比所述快门、所述第一弹簧和所述第二弹簧的表面中的与所述基板的表面垂直的方向上的面的绝缘膜薄。
8.如权利要求I所述的显示装置，其特征在干 所述快门通过叠层透过率不同的材料而形成。
9.如权利要求I所述的显示装置，其特征在干 所述快门通过叠层透过率不同的材料而形成， 在所述快门的表面中的相对于所述基板的表面为平行方向且与所述基板相対的ー侧的相反侧的面，设置有透过率最低的材料。
10.一种显示装置的制造方法，其特征在干 在基板上形成开关元件和端子， 在所述开关元件上形成第一绝缘膜， 在所述第一绝缘膜上形成包括用所述开关元件驱动的具有开ロ部的快门、与所述快门连接的第一弹簧、与所述第一弹簧连接的第一锚定部、第二弹簧、以及与所述第二弹簧连接的第二锚定部的多个像素， 在所述快门、所述第一弹簧、所述第二弹簧、所述第一锚定部、所述第二锚定部和所述端子形成第二绝缘膜， 对所述第二绝缘膜进行各向异性蚀刻。
11.如权利要求10所述的显示装置的制造方法，其特征在于 对所述第二绝缘膜进行各向异性蚀刻直到所述端子露出。
12.如权利要求10所述的显示装置的制造方法，其特征在于 所述第二绝缘膜还在所述快门、所述第一弹簧、所述第二弹簧、所述第一锚定部和所述第二锚定部的表面中的与所述基板的表面垂直的方向上的面形成，在所述各向异性蚀刻后，在所述快门、所述第一弹簧、所述第二弹簧、所述第一锚定部和所述第二锚定部的表面中的与所述基板的表面垂直的方向上的面形成的所述第二绝缘膜残存。
13.如权利要求10所述的显示装置的制造方法，其特征在于 所述第二绝缘膜还在所述快门、所述第一弹簧、所述第二弹簧、所述第一锚定部和所述第二锚定部的表面中的与所述基板的表面垂直的方向上的面、以及所述快门、所述第一弹簧和所述第二弹簧的表面中的相对于所述基板的表面为平行方向且与所述基板相対的一侧的面形成， 所述快门、所述第一弹簧和所述第二弹簧的表面中的相对于所述基板的表面为平行方向且与所述基板相対的一侧的面的所述第二绝缘膜，比所述快门、所述第一弹簧和所述第ニ弹簧的表面中的与所述基板的表面垂直的方向上的面的所述第二绝缘膜薄。
14.如权利要求10所述的显示装置的制造方法，其特征在于 所述快门通过叠层透过率不同的材料而形成。
15.如权利要求10所述的显示装置的制造方法，其特征在于 所述快门通过叠层透过率不同的材料而形成， 在所述快门的表面中的相对于所述基板的表面为平行方向且与所述基板相対的ー侧的相反侧的面，形成有透过率最低的材料。
全文摘要
本发明提供一种显示装置和显示装置的制造方法，其不需要专用装置、不会使制造吞吐量降低而除去端子上的钝化膜。本发明的显示装置，包括在基板上以矩阵状配置的具有开关元件和用开关元件驱动的MEMS快门的多个像素，和在基板上配置的与外部端子连接的多个端子。MEMS快门包括具有开口部的快门、与快门连接的第一弹簧、与第一弹簧连接的第一锚定部、第二弹簧、和与第二弹簧连接的第二锚定部，在快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的与基板的表面垂直的方向上的面具有绝缘膜，在多个端子的表面、以及快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的相对于基板的表面为平行方向且与基板相对的一侧的相反侧的面，不存在该绝缘膜。
文档编号G09G3/34GK102841444SQ20121021136
公开日2012年12月26日 申请日期2012年6月21日 优先权日2011年6月21日
发明者海东拓生, 栗谷川武, 坂田亮, 刈迂修, T·J·布罗斯尼汉 申请人:株式会社日立显示器, 皮克斯特罗尼克斯公司