专利名称：旋转涂敷装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在液晶显示器(LCD)用的玻璃基板或半导体晶片等板状被处理物表面上涂敷抗蚀剂液等的旋转涂敷装置。
背景技术：
作为在板状被处理物的表面上涂敷抗蚀剂液的方法，在专利文献1～3中公开了对板状被处理物的表面滴下涂敷液并且使其旋转，通过由旋转产生的离心力使涂敷液以均匀厚度扩散的方法。
在专利文献1中，如图4(a)所示，在外杯内旋转自如地配置内杯，在内杯用盖体的外端部上形成切口，另外，在内杯的上端突出与所述切口卡合的小螺钉的头部，定位内杯和内杯用盖体并且使之一体旋转。
另外，出于同样的目的，在专利文献2中，如图4(b)所示，在内杯的外周部上设置突起，在内杯用盖体上设置与该突起卡合的凹部。
另外，专利文献3表示无封闭杯的上面开口的盖体的开放式杯类型，公开了在构成安装在基板载置旋转体上的卡止机构的袋形螺母内设置平衡重的结构。
专利文献1特许第2937549号公报段落(0022)图6专利文献2特开平11-179264号公报段落(0054)图13专利文献3特开2003-229405号公报段落(0020)图2最近，伴随板状被处理物的大型化，杯的尺寸也成为大直径。于是杯的直径变大的话，则由于旋转时微小的重量的不均匀便会使旋转变得不平衡，其结果，在板状被处理物的表面上会给涂膜的厚度造成影响。
上述专利文献1、2的任何一个都是使内杯和内杯盖体一体旋转的结构，但是未示出在大径化的情况下变得显著的上述问题的解决方法。
另一方面，在专利文献3中虽然公开了平衡重，但是该平衡重的作用是使得不会产生由于基板载置旋转体的上面和下面之间的离心力的差所引起的基板载置旋转体的挠曲，而不是为了实现内杯旋转的稳定化(均匀化)，另外，因为在袋形螺母中放入平衡重，所以不能增减平衡重进行微调。
发明内容
为解决上述问题，本发明涉及旋转涂敷装置，它在固定的外杯内以可旋转的方式配置有收纳板状被处理物的内杯，在这些外杯以及内杯的上面开口处分别可拆卸地设置有外杯用盖体以及内杯用盖体，在上述内杯和内杯用盖体的一者上设置有爪部件，在另一者上设置有与该爪部件卡合的爪承接部件，其中，在所述爪部件以及爪承接部件的至少一者上安装有用于使内杯均匀旋转的平衡重。
优选地，取多个平衡重的安装位置，从使得能够以重物的增减进行微调。
另外，通过在外杯或者外杯用盖体上设置用于进行平衡重的安装以及拆卸的窗口部，不用一次次打开外杯用盖体即引进行平衡重的微调。
另外，通过在外杯或者外杯用盖体上设置清洗爪部件的清洗机构，可以在闭合盖体的状态下清洗。
再有，在用内杯用盖体封闭了内杯的上面开口的状态下，在内杯的上面开口和内杯用盖体之间形成10mm以下、最好是0.5～2mm的间隙，由此可以在处理结束后打开内杯用盖体时防止来自外部的雾气的流入，可形成良好的膜。
使用本发明的旋转涂敷装置的话，因为内杯的旋转均匀化，所以可以应对伴随板状被处理物的大型化的内杯的大直径化。
图1是本发明的旋转涂敷装置的剖视图。
图2(a)是表示爪部件和爪承接部件的卡合状态的放大俯视图，图2(b)是图2(a)的B向视图，图2(c)是图2(a)的C向视图。
图3(a)是表示另一实施例的爪部件和爪承接部件的卡合状态的放大侧剖视图，图3(b)是图3(a)的B向视图，图3(c)是图3(a)的C向视图。
图4(a)以及图4(b)是现有装置的主要部位放大图。
具体实施例方式
下面根据
本发明的实施方式。图1是本发明的旋转涂敷装置的整体图，图2(a)是表示爪部件和爪承接部件的卡合状态的放大侧剖视图，图2(b)是图2(a)的B向视图，图2(c)是图2(a)的C向视图。
旋转涂敷装置，在基座1上通过3根或4根高度调整部件2支承外杯3，该外杯3的上面开口用外杯用盖体4封闭，该外杯用盖体4通过支承部5安装到臂6上，通过移动臂6开放外杯3的上面开口。
另外在上述基座1上设置有马达7和轴承8，在轴承8上固定有带轮9，在该带轮9和固定在马达7的驱动轴上的带轮10之间张设传动带11，通过带轮10、传动带11、带轮9、旋转器轴12把马达7的驱动传递到内杯13(参照图2)。
此外，虽然省略了图示，但是旋转涂敷装置具有涂敷喷嘴，该涂敷喷嘴对内杯13内设置的玻璃基板等板状被处理物的表面供给抗蚀剂液等涂敷液。在使用狭缝喷嘴作为涂敷喷嘴的情况下，通过使该狭缝喷嘴相对于板状被处理物相对移动，在板状被处理物的大体整个面上供给涂敷液。
如图2所示，在外杯3内配置有内杯13，该内杯13的上面开口用内杯用盖体14封闭，该内杯用盖体14也和上述外杯用盖体4同样通过支持部5安装在臂6上。但是，外杯用盖体4和内杯用盖体14独立地支承在支承部5上。
在上述内杯用盖体14的下表面上安装有防止紊流的整流板15，另外在内杯用盖体14的上表面上用小螺钉18固定有爪部件17。安装该爪部件17的位置可以是1个也可以是在内杯用盖体14的圆周方向上等间隔取多个。
所述爪部件17形成角状，外侧部向下方折曲，在该折曲的部分上形成有凹锥状的凹部19。
另一方面，在内杯13的外周面上，在对应上述爪部件17的位置上安装有爪承接部件20。爪承接部件20，由卡合部21和平衡重插装部22构成，在卡合部21上形成有嵌入上述凹锥状的凹部19中的凸锥状的凸部23，在平衡重插装部22上形成有插入平衡重24的孔25。此外，为防止平衡重24在旋转中脱落，希望例如作成竖通缝螺纹(いもネジ)状，在孔25的内周面上刻设阴螺纹。
另外，在所述外杯3以及外杯用盖体4上，设有用于在上述外杯3内配置有内杯13的状态下进行平衡重24的安装以及拆卸的调整窗口26、27。
此外，虽然在图示例中设置了调整窗口26、27，但是也可以只在外杯3或者外杯用盖体4中的一者上设置调整窗口。
再有，在外杯3上设置有清洗上述爪部件17以及爪承接部件20的清洗机构28，可以去掉附着在爪部件17以及爪接受部20上的污物，不打开盖也可清洗。该清洗机构28根据清洗液的供给量和供给方向，除爪部件17以及爪承接部件20之外，还会从在内杯上面开口和内杯盖体之间形成的间隙流出，可以冲洗在外杯3的内周壁和内杯13的外周上附着的处理液。
在以上的说明中，移动臂6，用外杯用盖体4封闭外杯3的上面开口，用内杯用盖体14封闭内杯13的上面开口，驱动马达7，使内杯13和内杯用盖体14一体旋转。而且，在旋转中出现不平衡时，停止旋转，通过调整窗口26、27进行平衡重24的追加·去除。通过反复这样做，结束平衡调整。
图3(a)是表示另一实施例的爪部件和爪承接部件的卡合状态的放大侧剖视图，图3(b)是图3(a)的B向视图，图3(c)是图3(a)的C向视图，在该实施例中在爪部件17的一部分上也设置有平衡重插入装29，另外，在爪承接部件20上设置的平衡重插入部22中不是沿上下方向而是从外侧插入平衡重24。
在以上的图示例中，把凹部设置在爪部件17上，把凸部设置在爪承接部件20上，但是反过来也可以。
再有，如图2(a)所示，通过在内杯13上面开口和内杯用盖体14之间形成10mm以下最好0.5～2mm的间隙，可以缓和内杯用盖体14对内杯13内的密闭，防止在打开内杯用盖体14时从外部流入雾气等。若间隙在这以上，则内杯13内的整流效果消失，紊流在内杯13的四角发生，不能形成均匀的膜。
工业实用性本发明的旋转涂敷装置例如可以在液晶显示器的制造工序中加以利用。
权利要求
1.一种旋转涂敷装置，在固定的外杯内以可旋转的方式配置有收纳板状被处理物的内杯，在这些外杯以及内杯的上面开口处分别可拆卸地设置有外杯用盖体以及内杯用盖体，在上述内杯和内杯用盖体的一者上设置有爪部件，在另一者上设置有与该爪部件卡合的爪承接部件，在所述爪部件以及爪承接部件的至少一者上安装有用于使内杯均匀旋转的平衡重。
2.如权利要求1所述的旋转涂敷装置，其特征在于，在上述外杯或者外杯用盖体上设置有用于进行上述平衡重的安装以及拆卸的窗口部。
3.如权利要求1或2所述的旋转涂敷装置，其特征在于，在上述外杯或者外杯用盖体上设置有清洗上述爪部件的清洗机构。
4.如权利要求1到3中任何一项所述的旋转涂敷装置，其特征在于，在用上述内杯用盖体封闭了内杯的上面开口的状态下，在内杯的上面开口和内杯用盖体之间形成10mm以下的间隙。
全文摘要
本发明提供即使内杯大直径化也能简单地调整旋转平衡的旋转涂敷装置。在内杯用盖体(14)的上表面上用小螺丝(18)固定有爪部件(17)。另一方面，在内杯(13)的外周面上，在对应上述爪部件(17)的位置上安装有爪承接部件(20)。爪承接部件(20)由卡合部(21)和平衡重插装部(22)构成，在卡合部(21)上形成有嵌入凹锥状的凹部(19)的凸锥状的凸部(23)，在平衡重插装部(22)上形成有插入平衡重(24)的孔(25)。
文档编号G03F7/16GK1714945SQ200510081770
公开日2006年1月4日 申请日期2005年6月14日 优先权日2004年6月14日
发明者山口和伸, 高濑真治, 楫间淳生, 宇野宏, 山本夕记 申请人:东京応化工业株式会社, 龙云株式会社