专利名称：光源装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及光源装置，特别涉及保护用于读取在灯上显示的灯数据 的灯数据读取部的光源装置。
背景技术：
10 以往，利用将放电灯用作光源的曝光装置，对基板曝光用于制造LSI等的掩模的图案。曝光之前，需要准确设定掩模和基板的位置关系。因 此，在专利文献1所公开的方法中，利用摄像装置拍摄掩模和基板的校 准标记。对准掩模和基板的相对位置，使两个标记一致。完成位置对准 之后，使摄像装置退避。15 此外，若不是波长、光量等满足预定规格的放电灯，则不能高精度地将基板曝光。新安装灯时，需要确认到放电灯满足预定规格。由于长 期使用灯会引起特性劣化，所以如果不满足规格，则需要更换灯。更换 灯时，也需要确认到放电灯满足预定规格。此处，本申请人在日本特愿2006—100000号中提出了能够确认到放电灯是否适合的光源装置。该光 20源装置读取灯头上显示的灯数据来进行确认。在灯头座上设置读取灯数 据的读取装置。自动判断所安装的放电灯是否是合适的放电灯。若是合 适的放电灯，则驱动放电灯，并管理放电灯的使用状态和使用履历。专利文献1日本特开平07-013340号公报专利文献2日本特愿2006 — 100000号说明书 25 但是，现有的灯数据读取方法存在如下问题。从灯头座施加会使灯电极间产生绝缘破坏的脉冲状的高电压，以点亮放电灯，所以有可能因 高电压导致读取装置的构成部件被绝缘破坏。并且，在利用微波来点亮 的无电极放电灯、利用高频电流来点亮的放电灯中，读取装置的构成部 件因电磁波而显著劣化，或不能进行正常的读取动作。而且，当放电灯
点亮时，灯头座周围处于200'C 30(TC左右的高温状态，所以读取装置 的构成部件因热而劣化。若读取装置劣化，则不能准确管理灯的使用状 态、使用履历等。若为了避免这种情况，而具备保护读取装置免受热或 高电压损害的冷却结构或绝缘结构，则光源装置的结构变复杂，成本增 5高。此外，由于劣化原因的条件明显不同，因此，难以在光源装置的放 电灯的管理中直接应用专利文献1所公开的将其插拔于摄像装置的光路 的方法。发明内容io 本发明的目的在于，解决上述现有问题，在光源装置中，保护用于读取灯在灯头上显示的灯数据的读取装置免受灯的热、高电压等劣化原 因的损害。为了解决上述课题，在本发明中，光源装置具备灯，其具有显示 了灯数据的灯头；灯头座，其保持灯头；读取单元，其读取灯数据；移 15动单元，其使读取单元在读取灯数据的读取位置和安全的退避位置之间移动；以及控制单元，其控制移动单元，使得当将灯头保持于灯头座上 时使读取单元移动到读取位置，并且，在点亮灯之前使读取单元移动到 退避位置。发明效果20 通过采用上述结构，能够保护灯数据的读取装置免受灯的热或高电压损害而防止劣化，准确地管理放电灯的使用状态、使用履历等。
图1是示出将本发明的实施例中的光源装置的灯数据读取部配置成 25与灯数据显示部对置的状态的外观图。图2是示出将本发明的实施例中的光源装置的灯数据读取部配置成 与灯数据显示部对置的状态的剖面图。图3是示出使本发明的实施例中的光源装置的灯数据读取部退避到 遮断部的状态的纵剖面图。
图4是示出使本发明的实施例中的光源装置的变形例的灯数据读取 部退避的状态的纵剖面图。 符号说明1阳极；2阴极；3内部导棒；4金属箔；5封闭管部；6粘 5合剂；7外部导棒；8银焊料；9发光部；10灯泡部；20灯头； 21圆筒部；22圆筒部的端面；23突出部；25灯数据显示部；30灯 头座；31缺口部；32灯头座的端面；33孔部；34窗部；40灯数 据读取装置；41臂部；44凹部；45灯数据读取部；50遮蔽部；51 遮断部；54遮光空间；60移动装置。10具体实施方式
下面，参照图1 图4，详细说明用于实施本发明的优选方式。实施例本发明的实施例是如下的光源装置，在读取灯数据时，将灯数据读15取部插入到灯头座的缺口部，在点亮放电灯时，使灯数据读取部退避。图1是示出将本发明的实施例中的光源装置的灯数据读取部配置成 与灯数据显示部对置的状态的外观图。图1中，阳极l是正极侧的电极。阴极2是负极侧的电极。内部导棒3是支撑电极并进行供电的部件。金 属箔4是将内部导棒和外部导棒电连接的部件。封闭管部5是将灯泡气20密地封闭的部分。外部导棒7是从灯头经由金属箔向电极供电的部件。 发光部9是通过电极间的放电来发光的部分。灯泡部10是密封电极以形 成放电空间的玻璃部件。灯头20是用于机械地保持灯并进行供电的部件。 圆筒部21是灯头的大径部。突出部23是灯头的小径部。灯头座30是保 持灯头的部件。灯数据读取装置40是光学读取灯数据的装置，前端部具25有灯数据读取部，该灯数据读取部具备传感器。臂部41是使灯数据读取 装置退避的单元。遮蔽部50是遮蔽灯的热等的部件。如图1所示，放电灯由如下部分构成灯泡部IO，其由发光部9和 2个封闭管部5构成；阳极1和阴极2，它们在发光部9中相对配置；内 部导棒3，其支撑这些阳极1和阴极2，并且进行通电；外部导棒7;以
及封闭管部5，其通过导电性的金属箔4将该内部导棒3和外部导棒7连 接，进行气密封闭。而且，封闭管部5上固定有灯头20，另一个封闭管 部5上固定有灯头座30。灯头20由如下部分构成圆筒部21，其保持 封闭管；圆筒部的端面22，其与圆筒部连设；以及突出部23，其植入设 5置在圆筒部的端面。灯头座固定在光源装置上。灯头座上设置有缺口部 (图2)，灯数据读取装置40的一端插入到灯头座的缺口部。灯数据读取 装置40的另一端侧插入到遮断部51内，与例如直线电动机等直线方向 的移动装置(图2)连接。移动装置还可以通过汽缸或电动机等驱动。并 且，也可以采用手动的杆/曲柄机构等。10 图2是示出将光源装置的灯数据读取部配置成与灯数据显示部对置的状态的图。图2 (A)是纵剖面图。图2 (B)是沿图2 (A)的B—B 线的剖面图。在图2中，粘合剂6是将灯头固定在封闭管部上的粘合剂。 银焊料8是将外部导棒与灯头连接的部件。端面22是灯头的圆筒部的端 面。灯数据显示部25是显示灯数据的部分。缺口部31是灯头座的空隙15部分。端面32是灯头座的端面。孔部33是灯头座的孔。窗部34是在灯 头座打开的窗。凹部44是设置于臂部的凹陷部分。灯数据读取部45是 读取灯数据的传感器部分。遮断部51是遮蔽热等的区域。遮光空间54 是遮蔽灯光的空间。移动装置60是驱动臂部的驱动装置。如图2所示，在金属箔4上经由内部导棒(图l)连接有电极(图1)。20金属箔4被玻璃制的封闭管部5密封，获得发光部的内外部间的气密性。 灯头20利用粘合剂6固定在封闭管部5上。灯头20通过银焊料8与外 部导棒7电连接，经由灯头20向电极供给电力。在灯头的圆筒部的端面 22上设置有灯数据显示部25，该灯数据显示部25上显示与灯有关的数 据。固定在光源装置上的灯头座30具有用于保持灯头的孔部33;使灯25数据读取装置40插入的缺口部31;以及与灯数据显示部25连通的窗部 34。使灯头的突出部23与用于保持灯头的孔部33嵌合，使灯头的端面 22和灯头座的端面32抵接，从而将放电灯保持在光源装置上。除此之外， 还可以利用螺钉等将灯头结构体固定在灯头座上。灯数据读取装置40具有汽缸或直线电动机等的移动装置60;臂
部41，其通过移动装置60的驱动力被直线驱动；凹部44，其设置于臂 部41;以及灯数据读取部45，其设置于凹部44的底面。在灯数据读取 部45上具备LED等光源以及CCD等图像读取单元。在灯数据显示部和 灯数据读取部45之间设置有遮光空间54，该遮光空间54通过灯数据读 5取装置40的凹部44以及灯数据读取部45、灯头座的窗部34、灯头的圆 筒部的端面32以及灯数据显示部25来遮断外光。在灯数据读取部45从 灯数据显示部25退避的位置上，设置有遮蔽灯数据读取部45的遮蔽部 50。遮蔽部50具有绝热性、绝缘性、遮光性。在灯数据读取部45和遮 蔽部50之间，形成有遮断部51。遮断部51是与灯的热、光(包括紫外 10线或红外线，以下相同)和施加到灯上的电压相隔离的空间。图3是示出使光源装置的灯数据读取部退避到遮断部的状态的纵剖 面图。图4是示出使光源装置的变形例的灯数据读取部退避的状态的纵 剖面图。说明以上述方式构成的本发明的实施例中的光源装置的功能和动作。 15首先，参照图1，说明光源装置的功能的概要。利用光源装置的灯头座 30保持灯的灯头20。在灯的灯头20上显示有灯数据。灯数据是灯属性 信息和灯设定规格信息。灯数据的显示形式为可光学读取的方式。灯头 20保持在灯头座30上时，利用灯数据读取装置40读取灯数据。读取位 置是利用灯头20、灯头座30以及灯数据读取部而遮蔽了外光的位置。点 20亮灯前，使灯数据读取部移动到退避位置。在退避位置上具有遮蔽部50， 该遮蔽部50将伴随于灯点亮所产生的热、光、电磁波以及高电压遮蔽。 读取灯数据，控制灯的驱动，并且管理使用状态和使用履历。接着，参照图2，说明灯数据的读取方法。利用灯数据显示部25、 窗部34、凹部44以及灯数据读取部45，形成遮断了外光的遮光空间54。 25防止进入到灯数据读取部45的光干扰，能够准确地识别灯数据。光学读 取灯数据显示部25的显示内容，存储到光源装置的灯数据存储装置中。 在灯头座30上设置有窗部34，不使灯头20和灯数据读取装置40 的臂部41相接。不在灯头座30上设置窗部34而使其贯穿缺口部，能够 利用灯数据读取部45读取灯数据显示部25的灯数据。但是，灯数据读
取装置40的臂部41有可能与灯头冲撞，导致灯破损。此外，附着在灯数据显示部25上的异物也有可能将灯数据读取部45弄脏。为了避免该 情况，设计成经由窗部34读取。与放电灯有关的灯数据可以分类为每个放电灯的属性和放电灯的设 5定规格。每个放电灯的属性是制造年月日、放电灯的制造商名、制造场 所、制造生产线、放电灯的类型、品种号、批号、识别号等，由其中的l 个或多个组合构成。放电灯的设定规格是额定灯电流、额定灯电压、冷 却条件、在装置上的安装方向等在光源装置中使用放电灯的条件，由其 中的1个或多个组合构成。放电灯的灯数据显示部25的显示形式为字符、10记号、符号、图形、图案等。还可以利用这些的组合来显示。适合使用 条形码或二维码。也可以显示制造公司的标记等。灯数据通过光的反射率的差异、正反射部分以及乱反射部分的组合 来显示。除了切削、雕刻、刻印、蚀刻以外，还可以利用激光光线的照 射等来形成该灯数据显示部25。预先在灯头结构体的圆筒部的端面上形15成凹部，将显示了灯数据的板嵌入到该凹部上，进行安装。灯数据显示 部25可以利用视觉来确认，所以只要采用放电灯的使用者能够看懂的字 符、图形来显示，就能够确认到放电灯是否是适合于光源装置的放电灯。 接着，参照图2和图3，说明灯数据读取部的退避方法。点亮灯之 前，如图2所示，利用移动装置60按照图2 (A)的箭头所示方向将灯20数据读取部45经由臂部41和窗部34插入到灯头座30的缺口部31中， 以便与灯数据显示部25对置。该位置是灯数据的读取位置。灯数据读取 部45在该位置上读取灯数据显示部25。在遮断了外光的遮光空间54中 不发生光干扰，所以灯数据读取部45能准确读取灯数据。对所读取的灯 数据的图像信号进行图像处理，进行图案识别或字符识别。根据需要取25出每个灯的属性、放电灯的设定规格等数据。根据该数据，自动判断放 电灯是否是适合于光源装置的放电灯。若是正确的放电灯，则如图3的箭头所示，利用移动装置60使臂部 41活动，使灯数据读取部45退避到遮断部51 。使灯数据读取部45退避 到遮断部51之后，向灯供电，点亮灯。在退避位置中，从灯点亮时的灯
的热、光、电磁波以及施加到灯上的高电压中隔离出灯数据读取部45。因此，在点亮灯时，通过预先使灯数据读取部45移动到退避位置，从而 可以防止因灯的热、光、电磁波以及施加给灯的高电压导致灯数据读取 部45劣化，能够长期准确地管理放电灯的使用状态以及使用履历等。另 5 —方面，若放电灯不合适，则中止点亮，警告是不合适的灯。接着，参照图4，说明变形例。图4 (A)是第一变形例，该图是示 出利用移动和旋转来使灯数据读取部退避的状态的剖面图。利用移动装 置60使具备灯数据读取部45的圆柱状的臂部41活动，将灯数据读取部 45退避到预定位置。之后，使臂部41绕轴旋转，使灯数据读取部45朝io向与灯相反的方向。利用移动装置60使臂部41绕轴旋转，从而使得从 放电灯放射的光不会入射到灯数据读取部45。仅改变灯数据读取部45的 朝向，就能够使得从放电灯放射的光不会入射到灯数据读取部45，而无 需设置遮蔽部50。也可以不移动，仅靠旋转来进行退避。并且，若仅靠 移动就能够退避到安全位置，则也可以是仅移动的退避。图4 (B)是第15 二变形例。图4 (B)是示出将安装了灯数据读取部45的臂部41向吊车 那样呈圆弧状移动退避的状态的剖面图。使安装了灯数据读取部45的臂 部41呈圆弧状移动，退避到回避从放电灯的放射的光的位置。也可以组 合直线状的移动和圆弧状的移动，使臂部41沿直线状移动之后，沿圆弧 状移动。20 说明了将遮蔽部50固定在光源装置上的例子，但也可以固定灯数据读取部45，利用移动装置60移动遮蔽部50，将灯数据读取部45收容在 遮断部51内。该情况下，也可以利用光阑等遮蔽灯的光等。并且，为了 进行定位，以插入到窗部34中的方式在灯头的圆筒部的端面22上设置 凸部，在该凸部的端面上设置灯数据显示部45，从而可以唯一地确定圆25周方向的朝向。由于唯一地确定圆周方向的朝向，所以安装灯时，能够 容易地使灯数据显示部和灯数据读取部45对置。另外，作为汽缸的驱动 源的高压气体若使用冷却灯的压縮空气，则结构变简单。以上说明了具 有电极的放电灯的例子，但也可以应用于低压汞灯、卤灯、加热器灯、 准分子灯等其它灯。
如上所述，本发明的实施例中，光源装置采用如下结构在读取灯 数据时，将灯数据读取部插入到灯头座上设置的缺口部，在点亮放电灯 时，使灯数据读取部退避到遮断部，所以能够保护读取装置免受热、电 压等劣化原因损伤。
产业上的可利用性
本发明的光源装置优选作为保护用于读取灯上设置的灯数据的灯数 据读取部的光源装置使用。
权利要求
1.一种光源装置，其特征在于，所述光源装置具备灯，其具有显示了灯数据的灯头；灯头座，其保持所述灯头；读取单元，其读取所述灯数据；移动单元，其使所述读取单元在读取所述灯数据的读取位置和安全的退避位置之间移动；以及控制单元，其控制所述移动单元，使得当将所述灯头保持于所述灯头座上时使所述读取单元移动到所述读取位置，并且，在点亮灯之前使所述读取单元移动到所述退避位置。
2. 根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述退避位置上 设置有遮蔽单元，该遮蔽单元遮蔽伴随灯点亮所产生的热、光、电磁波10以及高电压中的至少一个。
3. 根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述退避位置是 所述读取单元的劣化因素足够少的位置。
4. 根据权利要求1 3中任意一项所述的光源装置，其特征在于，在 所述灯头座上设置有窗部，该窗部是用于使所述读取单元读取所述灯数15据的空间。
5. 根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，所述读取位置是利用所述灯头、所述灯头座以及所述读取单元遮蔽外光的位置。
6. 根据权利要求1 3中任意一项所述的光源装置，其特征在于，所 述灯数据包括灯属性信息和灯设定规格信息中的至少一项，所述灯属性20信息包括制造年月日、制造商名、制造场所、制造生产线、灯类型、品种号、批号、识别号中的至少一个，所述灯设定规格信息包括额定电流、 额定电压、冷却条件、在装置上的安装方向、使用限度时间中的至少一个o
7. 根据权利要求6所述的光源装置，其特征在于，所述光源装置具 25备读取所述灯数据、控制所述灯的驱动并且管理使用状态和使用履历的单元。
8. 根据权利要求6或7所述的光源装置，其特征在于，所述灯数据 的显示形式是可光学读取的方式，是条形码、二维码、字符、记号、符 号、图形、图案中的任意一个。
全文摘要
本发明提供一种光源装置，在读取灯数据并管理灯的使用状态和使用履历等的光源装置中，保护读取灯数据的读取装置免受热或电压损害。预先在灯的灯头上显示灯数据。在保持灯头的灯头座上设置灯数据的读取单元。在灯保持于灯头座上且未点亮的状态下，使读取单元移动到读取灯数据的位置。在点亮灯之前，使读取单元移动到退避位置，在该退避位置上设置有遮蔽灯点亮所产生的热等的遮蔽部。灯数据是制造年月日、制造商名、制造场所、制造生产线、灯类型、品种号、批号、识别号等灯的属性，以及额定电流、额定电压、冷却条件、在装置上的安装方向、使用限度时间等设定规格。灯数据的显示形式是可光学读取的条形码、二维码、字符、记号、符号、图形、图案等。
文档编号G03F7/20GK101126502SQ20071013907
公开日2008年2月20日 申请日期2007年7月24日 优先权日2006年8月17日
发明者屋木康彦, 高津嘉郎 申请人:株式会社Orc制作所