专利名称：板材蚀刻处理设备的制作方法
技术领域：
本实用新型为一种板材蚀刻处理设备，尤其是一种利用文氏管原理吸 入空气以帮助蚀刻反应，并避免有毒气体外泄的板材蚀刻处理设备。
背景技术：
蚀刻制程为形成电路板、晶圓等的过程中很重要的一环，其是将一板 材上未被光阻遮蔽的薄膜去除的步骤，而在蚀刻反应中会使用蚀刻液与薄 膜反应，由于蚀刻液与薄膜产生氧化反应，因此在反应中通常会加入氧化 剂，如双氧水等来帮助反应。
不过特别需要注意的是，该蚀刻液为有毒液体，所以一般的板材蚀刻 处理设备皆放置于一密闭的空间中，以避免由蚀刻液所蒸发的有毒气体外 泄至外界环境中，而影响操作人员的健康。 —
然而，由于该板材蚀刻处理设备设置于密闭的空间，因此环境中缺乏 氧气，所以在蚀刻液中需要添加大量的氧化剂，以便反应的进行。然而， 大量的氧化剂会造成制作成本上的负担，因此若能在蚀刻时通入些许氧 气，则可减少氧化剂的使用量，以节省成本。
发明内容
本发明人有鉴于既有的板材蚀刻处理设备为避免有毒气体外泄，所以 会被设置于缺乏氧气的密死循环境中，故需在蚀刻液中加入大量的氧化 剂，造成成本上的负担，影响板材蚀刻的情形，故经过不断的尝试与努力 后，终于创作出此板材蚀刻处理设备。
本实用新型之目的在于提供一种利用文氏管原理吸入空气并避免有 毒气体外泄的板材蚀刻处理设备。
为达上述目的，本实用新型之板材蚀刻处理设备，其包括 一蚀刻处理槽，其内部分设一板材输送装置以及一蚀刻液喷射装置； 一回收装置，其包括一输出管、 一输入管以及设置于该输出管和输入 管之间的一加压管，该输出管连通于该蚀刻处理槽的槽底，该输入管连通于该蚀刻处理槽的蚀刻液喷射装置，而该加压管的管径小于该输出管的管 径，且该加压管之侧壁设有一进气口 。
由于蚀刻液从该蚀刻液喷射装置喷出且与板材反应后，会落入槽底， 再由该回收装置将该蚀刻液送回该蚀刻处理槽的槽底内，并可再由一管线 将含有空气的蚀刻液送入蚀刻液喷射装置中，故能重复使用蚀刻液，而本 实用新型在回收装置的输出管和输入管之间设置一加压管，且该加压管的 管径小于该输出管，因此当蚀刻液自输入管流入加压管时，蚀刻液的流速 增加而会产生负压，使得外界的空气由该进气口进入该板材蚀刻处理设备 中，所以通过外界空气中所含之氧气的加入，使得氧化剂的添加量减少， 以减少蚀刻所耗费的成本。
图1为本实用新型的示意图。
图2为本实用新型控制管的部分立体图。 图3为本实用新型的实施状态示意图。
具体实施方式
请参看图l所示，本实用新型之板材蚀刻处理设备，其包括 一蚀刻处理槽10，.其内部包括一板材输送装置以及一蚀刻液喷射装 置，该板材输送装置包括一上滚轮组11以及一下滚轮组12,该上、下滚 轮组11、 12各包括复数平行排列且具有滚轮112、 122的上、下杆体111、 121,以承载并运送板材40，该蚀刻液喷射装置包括复数上喷射管13以 及复数下喷射管14，该上喷射管13可设置于该上滚轮组11的上方，且 较佳的是平行间隔设置于该上杆体11之间，而该下喷射管14可设置于下 滚轮组12之下方，且较佳的是平行间隔设置于该下杆体121之间，该等 上、下喷射管13、 14各具有复数喷嘴131、 141,该蚀刻处理槽10之槽 底容纳有由该蚀刻液喷射装置喷出且剩余的蚀刻液15，且该蚀刻处理槽 IO之槽底设有一含泵的管线，其孝通至该等上、下喷射管13、 14,以将 槽底的蚀刻液输送至该等上、下喷射管13、 14,以重复利用该蚀刻液；
一回收装置，其包括一输出管21、 一输入管23以及设置于该输出管 21和输入管23之间的一加压管22,该输出管21连通于该蚀刻处理槽10 的槽底且具有一泵211,以将该蚀刻处理槽10槽底的蚀刻液15抽出，该输入管23连通于该蚀刻处理槽10的槽底，以令管线再将蚀刻液15自该 输入管23送至该蚀刻处理槽10的上、下喷射管13、 14，而该加压管22 的管径小于该输出管21的管径，且该加压管22的管壁设有一进气口 221;
一阀门装置30,请附加参看图2所示，其以一连接管31连接于该加 压管22的进气口 221，该阀门装置30包括一垂直设置的控制管32，该控 制管32之一端具有连通于该连接管31的开口 33，另端则形成有一气体 入口 34,而该控制管32内部具有一隔板35，该隔板35中央穿设有一气 体通道36，且该隔板35面对该气体入口 34之一表面设有复数抵掣凸块 37，在该隔板35与气体入口 34之间设有一阻挡块38，以在空气未进入 该阀门装置30前堵处该气体入口 34，避免蚀刻液流出或者有毒气体逸出， 而在气体进入该阀门装置30后被该等抵掣凸块37卡抵。
其中，该加压管22的管径除了小于该输出管21的管径，尚可小于该 输入管23的管径，以令进入加压管22中流速遽增的蚀刻液15再降低流 速，再运送至该蚀刻处理槽10的槽底。
请参看图3所示，当板材4 0进入该板材蚀刻处理设备后，会经由上、 下滚轮组12的运送，朝一方向前进，此时蚀刻液15会从该蚀刻液喷射装 置喷往板材40,以进行蚀刻反应，并且会有蚀刻液15落入槽底，再利用 泵211将蚀刻液15从蚀刻处理槽10之槽底抽入输出管21中并输送至加 压管22内，由于该加压管22的管径小于该输出管21,因此会产生的负 压会将该阀门装置30中的阻挡块38会往上牵引，直到卡抵于抵掣凸块 37,此时空气即可从该阀门装置3Q的气体入口 34进入，并经过隔板35 的气体通道36,由连接管31进入进气口 221，再随着蚀刻液15 —起流入 输入管23，并再分别运送至该蚀刻处理槽10的槽底，并经由管线输送至 上、下喷射管13、 14，以再利用含有空气的蚀刻液15进行蚀刻反应。
而当泵211不作用时，即蚀刻液不在回收装置中流动时，该阻挡块 38则会因重力而掉落，以堵住该气体入口 34,避免蚀刻处理槽10中的有 毒气体外泄。
再者，若有操作不当或回收装置故障时，则蚀刻液会经由该连接管 31流至控制管32中，此时势必会将阻挡块38往下压掣，而使得阻挡块 38堵住该气体入口 34,因此该阻挡块38亦可防止蚀刻液溢出，并且操作 人员能够观察到该阻挡块38堵住该气体入口 34,而及时停止运作，以进 行维修，因此该阀门装置30能够防止在该板材蚀刻处理设备中的液体以及气体外漏，并且能够让操作人员知道该板材蚀刻处理设备的运作是否正 常，因此其是一种具有多项功能的良好设计。
所以通过外界空气中所含之氧气的加入，使得蚀刻液15中的氧化剂 添加量得以减少，故节省成本。
权利要求1. 一种板材蚀刻处理设备，其特征在于，包括一蚀刻处理槽，其内部分设一板材输送装置以及一蚀刻液喷射装置；一回收装置，其包括一输出管、一输入管以及设置于该输出管和输入管之间的一加压管，该输出管连通于该蚀刻处理槽的槽底，该输入管亦连通于该蚀刻处理槽的蚀刻液喷射装置，而该加压管的管径小于该输出管的管径，且该加压管之侧壁设有一进气口。
2. 如权利要求1所述的板材蚀刻处理设备，其特征在于，其尚设有 一阀门装置，其以 一连接管连接于该加压管的进气口 。
3. 如权利要求2所述的板材蚀刻处理设备，其特征在于，该阀门装 置包括一垂直设置的控制管，该控制管之一端具有连通于该连接管的开 口，另端则形成有一气体入口，而该控制管内部具有一隔4反，该隔板中央 穿设有一气体通道，且该隔板面对该气体入口之一表面设有复数抵掣凸 块，在该隔板与气体入口之间设有一阻挡块。
4. 如权利要求l、 2或3所述的板材蚀刻处理设备，其特征在于，该 加压管的管径亦小于该输入管的管径，且该输出管以及该输入管皆设有 泵。
5. 如权利要求l、 2或3所述的板材蚀刻处理设备，其特征在于，该 板材输送装置包括一上滚轮组以及一下滚轮组，该上、下滚轮组各包括复 数平行排列且具有滚轮的上、下杆体，该蚀刻液喷射装置包括复数上喷射 管以及复数下喷射管。
6. 如权利要求4所述的板材蚀刻处理设备，其特征在于，该板材输 送装置包括一上滚轮组以及一下滚轮组，该上、下滚轮组各包括复数平行 排列且具有滚轮的上、下杆体，该蚀刻液喷射装置包括复数上喷射管以及 复数下喷射管。
7. 如权利要求5所述的板材蚀刻处理设备，其特征在于，该上喷射 管设置于该上滚轮组的上方，该下喷射管设置于下滚轮组之下方。
8. 如权利要求5所述的板材蚀刻处理设备，其特征在于，该上喷射 管平行间隔设置于该上杆体之间，该下喷射管平行间隔设置于该下杆体之间。
9. 如权利要求6所述的板材蚀刻处理设备，其特征在于，该上喷射管设置于该上滚轮组的上方，该下喷射管设置于下滚轮组之下方。
10.如权利要求6所述的板材蚀刻处理设备，其特征在于，该上喷射 管平行间隔设置于该上杆体之间，该下喷射管平行间隔设置于该下杆体之 间。
专利摘要本实用新型是一种板材蚀刻处理设备，其包括一蚀刻处理槽以及一回收装置，该蚀刻处理槽内部设有一板材输送装置以及一蚀刻液喷射装置，该回收装置包括一输出管、一输入管以及设置于该输出管和输入管之间的一加压管，该输出管连通于该蚀刻处理槽的槽底，该输入管连通于该蚀刻处理槽内的蚀刻液喷射装置，而该加压管的管径小于该输出管的管径，让蚀刻液由输入管流入该加压管时流速增加，因而会产生负压，使得外界的空气由该进气口进入该板材蚀刻处理设备中，故可让氧化剂的添加量减少。
文档编号G03F7/30GK201242660SQ20082015154
公开日2009年5月20日 申请日期2008年8月1日 优先权日2008年8月1日
发明者徐美华 申请人:徐美华