专利名称：形成了中空部的反射光学元件及扫描光学装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及反射光学元件，其构成扫描光学装置以及图像形成装置等中使用的光学系统，尤其涉及在元件内部形成了中空部的树脂制反射光学元件。
背景技术：
以往，复印机、打印机等图像形成装置中，用来在感光体上形成静电潜像的激光扫描光学装置，作为持有例如fθ特性(为了使得在多面镜等偏向的光束以等距离速度在被扫描面上扫描之特性)的光学元件，大多采用细长形的光学元件，尤其是通过使这些光学元件在扫描方向上精度良好地有一定的弯曲，激光光束透过或在该光学元件反射，由此调整激光光束的光路，进行例如主扫描速度的调整。作为这些光学元件，一般知道有玻璃制、金属制或陶瓷制的，近年来出于成型容易度、设计自由度或降低成本，开始采用树脂制的。另外作为激光光束，近年来因为能够记录高精细图像、增大记录密度、且能够长寿命地得到安定的输出，所以500nm以下、具体则是400nm附近的短波长光源受到注目，作为调整该光源射出光光路的手段，要求利用树脂制光学元件。在采用如专利文献1中公开的透过型折射光学元件、即透过型透镜来调整激光光束光路的扫描光学装置中，如果激光光束是短波长光源射出的激光光束，且调整该激光光束光路的透过型透镜用树脂制透镜的话，那么就是短波长激光光束透过树脂内部，树脂制透镜的耐候性成为课题。对此，作为解决上述耐候性课题的方法，本发明者考虑不采取使用使激光光束透过的透过型透镜、即透过型折射光学元件之方法，而是作为调整激光光束光路的手段采取使用使激光光束反射的面镜、即反射光学元件之方法。这是因为透过型光学元件的情况时，必须对包括光穿过的透镜内部都采取耐候措施，而反射型的情况时，只要在透镜的反射面考虑对策即可，这一点上具有较大的优点。但是，在使用反射光学元件调整激光光束光路时，与透过型透镜相比，要求反射光学面形状的面精度为约4倍，出现新的课题。这是因为，透过型透镜时是用透镜的入射面和出射面2面来调整该激光光束的光路和光束形状的，而反射光学元件时是用反射面1面来调整激光光束的光路和光束形状。对于上述光学面形状被要求高面精度的光学元件、尤其是调整激光光束主扫描速度的光学元件，伴随树脂固化时收缩的翘曲和沉陷所引起的光学面变形，以及相对长度方向、即扫描方向产生的翘曲显得更明显，应用以往的注射成型已难以维持这种高面精度地进行成型。针对这一问题，本发明者注目将中空注射成型的效果应用于光学部件。通过中空注射成型成型中空，树脂收缩时引起成型物翘曲和沉陷的张力通过中空部释放，以沉陷形式出现在中空部表面，成型物表面产生的翘曲和沉陷得到缓和，这样能够实现提高表面面精度、即反射光学元件的镜面精度。
有关中空注射成型技术，已有如专利文献2中记载的技术公开。其中公开了通过形成比反射光学元件镜面部还要大的中空部，这样能够遍及整个镜面部地得到中空部形成的效果，可以看到，通过遍及整体地形成中空部来一定程度释放树脂收缩时的收缩应力是有效的。但是现在知道，根据该以往技术，对于维持上述反射光学元件、尤其是作为使用短波长的扫描光学装置中所用的反射光学元件而被要求的面精度还不充分。先行技术文献专利文献专利文献1 特开2003-262816号公报专利文献2 特开2001-1M912号公报
发明内容
发明欲解决的课题也就是说现在知道，专利文献2中公开的那种反射光学元件，在成型脱模时镜面部周边出现严重变形。这是因为镜面部被基材部夹住而形成凹部、即基材部件周边突出，所以树脂固化时树脂成型品(反射光学元件)收缩，树脂成型品(反射光学元件)镜面部周边的突出部夹住镜面部周边的模具，脱模阻力增大的原因。该脱模阻力问题，对于作为以前较长波长扫描光学装置中使用的反射光学元件几乎没有影响，但是，在被要求较高面精度的使用短波长光源装置的反射光学元件时，脱模时的变形将有损于面粗糙度，而该面粗糙度影响作为反射面的镜面部面精度，虽然通过中空成型能够解决折角树脂收缩引起的问题，但现在知道，结果并不能维持高的面精度。本发明目的在于解决上述问题，提供一种缓和树脂固化时的收缩所引起的翘曲和沉陷，且充分抑制脱模阻力引起的镜面变形，从而维持了高镜面精度的树脂制反射光学元件或应用了该反射光学元件的扫描光学装置。用来解决课题的手段为了达成上述目的，本发明第1形态是反射光学元件，其具有具有中空部的细长板状的树脂制基材部；位于所述基材部表面一部分上的镜面部；所述中空部位于形成了所述镜面部的所述基材部内部，且从所述镜面部的中央起，长于镜面部长度方向的两端，所述镜面部的所有镜面部突出在所述基材部板面上。进一步优选所述中空部是从所述镜面部的中央起，长于镜面部宽度方向的两端。优选所述反射光学元件是沿着所述镜面部表面长度方向，扫描、反射光源射出光的反射光学元件。优选所述反射光学元件的形成了所述镜面部的所述基材部表面的表面粗糙度Ra， 被形成在Ra彡5 (nm)范围内。本发明的另一形态是扫描光学装置，其具有光源；多面镜；使所述光源射出的光入射、聚光于所述多面镜的聚光手段；使得通过所述多面镜以所定速度旋转而被扫描的扫描光、持有f θ特性的反射光学元件；其中，所述反射光学元件具有具有中空部的细长板状的树脂制基材部；位于所述基材部表面一部分上的镜面部；所述中空部位于形成了所述镜面部的所述基材部内部，且从所述镜面部的中央起长于镜面部长度方向的两端，所述镜面部的所有镜面部突出在所述基材部板面上。进一步优选用于所述扫描光学装置的反射光学元件的中空部，是从所述镜面部的中央起，长于镜面部宽度方向的两端。优选用于所述反射光学装置的反射光学元件的形成了所述镜面部的所述基材部表面的表面粗糙度Ra，被形成在Ra ( 5 (nm)范围内。优选所述光源射出光的波长在500nm以下。发明之效果如上所述，根据本发明，通过具有中空部，且在长度方向、即扫描方向长于镜面部地在基材部内形成所述中空部，能够遍及整个镜面地缓和树脂固化时的收缩引起的长度方向的翘曲，并且，通过使镜面部整个板面突出在基材部板面上，抑制由于树脂成型品收缩而容易产生的树脂成型品夹住模具引起的脱离阻力增大，由此实现持有比以往高的镜面精度的树脂制反射光学元件。另外，通过采用该反射光学元件，与以往采用玻璃制、金属制或陶瓷制的光学元件的器械相比，能够较低成本地实现使用能够高精细图像记录的蓝色激光的扫描光学装置， 以及图像形成装置。
图1 本发明第1实施方式反射光学元件的形状说明模式图。(a)反射光学元件从厚度方向上方看到的视图，(b)从宽度方向看到的视图。图2 本发明第1实施方式反射光学元件的成型方法说明模式图。(a)反射光学元件从厚度方向上方看到的视图，(b)从宽度方向看到的视图。图3 模具形状的说明模式图。(a)用宽度方向二等分线所在的垂直面截断的截面图，(b)用长度方向二等分线所在的垂直面截断的截面图。图4 备有检测手段的注射成型机的功能方框图。图5 检测手段检测到的温度与树脂充填及压缩气体注入之间的动作关系示意曲线。图6 从向模具腔中充填树脂到从模具取出成型品的动作流程示意图。图7 本发明第1实施方式变形例反射光学元件的形状说明模式图。(a)反射光学元件从厚度方向上方看到的视图，(b)从宽度方向看到的视图。图8 本发明第2实施方式反射型扫描光学装置的立体图。
具体实施例方式第1实施方式图1是本发明第1实施方式中的具有在长度方向长于镜面部之中空部的树脂制反射光学元件的形状说明模式图。图1(a)是反射光学元件从厚度方向上方看到的视图，图 1(b)是从宽度方向看到的视图。光学元件形状本实施方式的树脂制反射光学元件(以下有时称为“本实施方式反射光学元件”) 具有细长板状基材部3、位于基材部3 —个表面上的镜面部2、位于镜面部2镜面背面基材部3内部的中空部4，其中，中空部4在长度方向的长度长于镜面部2在长度方向的长度，并且，将中空部4的两端形成到镜面部2长度方向两端的外侧，由此，树脂固化时收缩引起产生的应力通过中空部4而释放，树脂收缩时长度方向的翘曲在整个镜面部2得到缓和，面精度提高。以往技术中，由于树脂收缩而成型品夹住模具，脱模阻力致使镜面部2变形，但通过使镜面部2在整个板面上在厚度方向突出于基材部3，这样能够抑制脱模阻力引起的镜面部2变形。制作光学元件(树脂成型品)时，有时由于例如对镜面部2厚度进行部分或整体修正而镜面形状变化。即使是修正后镜面部2板面会埋没于基材部3的情况，此时也可以预计镜面部2的修正量，事先调整镜面部2的长度使之突出于基材部3，这样，能够调整使镜面部2板面在修正后也突出在基材部3板面上，这样能够避免成型品夹住模具。本实施方式的反射光学元件中，在以镜面部2长度方向的长度为Li、宽度方向的长度为W1、中空部4长度方向的长度为L2、宽度方向的长度为W2、厚度方向的长度为D2、基材部3宽度方向的长度为W4、对于长度方向一侧从镜面部边端到基材部边端的距离为L5 时，较优选构成对于长度方向一侧从镜面部边端到中空部边端的距离L3为0<L3<L5， 对于宽度方向一侧从镜面部边端到中空部边端的距离W3满足0 < W3 < W2/2。另外，优选镜面部2从基材部3板面突出的厚度方向的长度Dl为0. 1 (mm) < Dl < 3(mm)，考虑脱模，因为镜面部侧面积大的话脱模阻力大周围的镜面精度下降，所以优选满足 0. 1 (mm) < Dl 彡 0. 3 (mm)。另外，优选宽度方向的镜面部2长度Wl与中空部4长度W2之关系为0.01彡W2/ W4 ^ I0图1(a)及图1(b)中，用与镜面部2平行的直线形状记载了被配置在宽度方向及厚度方向中心的中空部4，但这只不过是模式性说明，中空部4的形状和位置关系并不局限于此。基材部材料接下去说明本实施方式反射光学元件的材料等。构成该反射光学元件基材部的树脂材料，可以举出例如聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、环烯聚合物， 或由上述二种以上组成的树脂。其中，尤其优选该反射光学元件使用聚碳酸酯、环烯聚合物。镜面部材料接下去说明构成该反射光学元件镜面部的材料等。作为构成镜面部的材料，可以举出例如一氧化硅、二氧化硅、氧化铝。成膜方法可以采用真空镀气法、飞溅法、离子电镀法等周知的成膜方法。成型方法接下去参照图2、图4、图3及图6，说明本实施方式反射光学元件的成型方法。图 2是用来说明本实施方式反射光学元件成型方法的模式图。图4是本实施方式成型中使用的备有检测手段的注射成型机的功能方框图，图3是用来说明模具形状的模式图，图6是从充填树脂到模具腔中到从模具取出成型品的动作流程示意图。成型中使用的注射成型机备有具有腔31的模具42 ；向腔31中充填树脂的充填手段32 ；注射树脂时检测其先端的检测手段33 ；在充填的树脂中注入压缩气体的气体注入手段34 ；控制树脂充填、树脂充填停止及压缩气体注入开始、压缩气体注入停止的控制手段35。腔31具有用来形成构成光学元件基材表面之第1表面11及第2表面12的内表面。参照图3说明模具42形状。图3(a)是用宽度方向二等分线所在的垂直面截断的模具 42截面图，图3(b)是用长度方向二等分线所在的垂直面截断的模具42的截面图。腔31内表面具有用来形成第1表面11的第1区域311和用来形成第2表面12的第2区域312。与腔31的第1区域311及第2区域312相接(作为顶面)的模具42上，在碰到腔31第1区域311的部分上，作为凹部设有镜面形成部315。通过设该镜面形成部135，镜面部2被突出形成在第1表面11上，所以，即使树脂成型品(反射光学元件)固化收缩，树脂成型品也不夹住模具，能够缓和拔出顶面模具42时的脱模阻力。为了使镜面形成部315达到例如波长500nm以下短波长用时所采取的面精度，通过切削加工形，使其表面粗糙度Ra在5nm以下。较优选该表面粗糙度Ra在2 3nm以下。参照图4，对注射成型机中模具42的周边结构作说明。腔31中连续形成了浇口 321、流道322及浇道323。沿着腔31、流道322及浇道(模具通路)323设有加热器(省略图示)。通过设加热器，接触腔31及模具通路的熔融树脂受热传导，防止冷却而失去流动性固化。也可以在模具中设温度调节用的水路，以代替加热器。图4中，作为被充填到腔31中的反射光学元件(树脂成型品)1的外形，出示了腔31的内表面，同样图4中作为流过浇口 321、浇道323及流道322各部分的树脂的外形，分别出示了浇口 321、浇道323及流道322。充填手段优选充填手段32在模具中被配置成，是从反射光学元件1的宽度侧向长度方向充填树脂。充填手段32的喷嘴3M连通上述浇道323。充填手段32具有用来从喷嘴3M挤出熔融树脂的螺杆(图示省略)。螺杆使熔融树脂从喷嘴3M经过浇道323、流道322、浇口 321充填到腔31中。螺杆从移动开始位置起的距离，或螺杆从移动开始起的经过时间， 与挤出的熔融树脂量(注射量)相应。另外，从浇道323到浇口 321的模具通路的容积、以及在长度方向各位置的腔31的截面形状是知道的，所以，可以根据螺杆从移动开始位置起的距离或螺杆从移动开始起的经过时间，求出充填到腔31中的熔融树脂的先端部的位置。检测手段检测手段33是检测腔31内表面温度的温度传感。一个或多个检测手段33被配置在包括用来形成第2表面12的腔31内表面的第2区域312的内表面、以第2区域312 为顶面时包括底面313及两侧面314的内表面。图4中出示的检测手段33被配置在浇口侧第2区域312的长度方向相反侧的第2区域312 (顶面)对着的底面313上。作为检测手段33，只要是能够检测向腔31内注射时树脂先端部的传感，并不局限于温度传感，也可以是例如超声波传感和磁传感。检测手段33能够检测到达腔31第2区域312的树脂先端部。控制手段35经由接口 38从检测手段33接受作为检测信号的检测温度tl。控制手段35根据来自于检测手段33的检测温度tl，控制充填手段32停止树脂充填，控制气体注入手段34开始压缩气体的注入。通过上述在包括第2区域312、长度方向与第2区域312相同的区域设检测手段33，检测手段33不会成为使第1表面11表面精度降低的原因。另外，检测手段33直接检测到达第2区域312的树脂先端部和形成在树脂内部的中空部的先端部，接受其检测信号控制停止树脂充填和压缩气体的注入开始，所以，能够确保使中空部延伸到第2表面12。控制手段35使记忆手段36记忆预定时间。控制手段35通过操作手段41受理操作，调整预定时间，使记忆手段36记忆调整后的预定时间。通过调整预定时间，能够调节中空部先端部的位置。气体沣入手段气体注入手段34具有存放压缩气体的气箱(图示省略)、电磁阀341、与腔31内相通的射出口部342。控制手段35控制电磁阀341开闭。使用的压缩气体只要是不与树脂反应、混合的气体即可。可以举出例如惰性气体。考虑安全面和成本面时，出于非燃性和中毒性还有可以用低成本方法来得到而优选氮。射出口部342被设在对着腔31内表面第 2区域312 (顶面)的内表面底面313上。射出口部342在浇口附近，被向着上述长度方向开设。记忆手段记忆手段36记忆着必须与来自于检测手段33的检测温度进行比较的预定基准温度t0。图5中出示检测温度tl及基准温度t0。判断手段判断手段37比较检测温度tl与基准温度t0，当检测温度tl超过基准温度t0时， 向控制手段35输出判断结果。以熔融树脂的先端部到达检测手段33之位置时检测手段33 的检测温度tl为基准温度to。控制手段控制手段35从检测手段33接受检测温度tl，使判断手段37比较检测温度与基准温度，当判断手段37判断检测温度tl超过基准温度t0时，便控制充填手段32，使停止向腔31的树脂充填，控制气体注入手段34，使开始在被充填的树脂中注入压缩气体。另外，控制手段35从注入压缩气体开始起经过所定时间之后，使压缩气体的注入停止。图5中出示了当检测温度tl超过基准温度to时使树脂充填停止之动作以及使压缩气体注入开始之动作。通过在充填的树脂中注入压缩气体，能够在树脂内向长度方向伸出中空部4，使之沿着第1表面11 一直形成到第2表面，这样，在长度方向长于第1表面11的中空部4被形成在树脂内。形成的中空部4能够使热收缩的应力得到释放，于是能够降低树脂成型品的翘曲，并且，中空部一直被形成到第2表面，即在长度方向长于第1表面11，由此可以在整个镜面部都发挥中空效果。至于压缩气体的注入开始，如果考虑到在停止树脂充填后的树脂冷却进展之前， 则优选在停止的几乎同时或树脂充填后1 5秒以内。控制手段35通过操作手段41接受指示，使记忆手段36记忆被变更的基准温度 to。调整树脂充填停止及压缩气体注入开始时刻时，只要变更、调整基准温度to即可。基准温度to可以通过反复反射光学元件1的基材制造实验、测定评价制成的反射光学元件1， 根据经验定出。基准温度to根据反射光学元件1的基材材料、加热汽缸的温度以及每单位时间树脂的充填量相对定出。
接下去说明一系列的动作。首先控制手段35控制充填手段32，使螺杆旋转，使熔融树脂从喷嘴3 射出，流过浇道323、流道322及浇口 321，充填到腔31中(步骤S101)。 此时电磁阀341关闭。另外控制手段35没有接受检测手段33的检测信号。使熔融树脂进一步充填到腔31中。检测手段33检测到达第2表面12的熔融树脂的先端部。控制手段35接到检测手段33的检测信号时(步骤S102 ；Y)，控制手段35控制充填手段32使停止向腔31的树脂充填(步骤S103)。接下去控制手段35控制气体注入手段34，使电磁阀341开放。由此使气箱(图示省略)内的压缩气体从射出口部342喷到腔31内。射出口部342被配置在对着第2区域312的底面上，并且射出口部342向着长度方向开口，于是压缩气体被向着长度方向注入充填的树脂中(步骤S104)。由此，能够在树脂中形成延伸在长度方向的中空部。接下去通过与模具的热传导使熔融树脂固化、冷却。在固化冷却期间保持中空部 4在所定压力(步骤S105)。通过保持压力将第1表面11推到第1区域311上，这样能够提高第1表面11的面转印性。接下去除去中空部4内的压缩气体，开模并取出反射光学元件(树脂成型品)1 (步骤S106)。上述图6所示流程中出示了在第2区域312对面的底面等上设一个检测手段33 时、控制手段35使树脂充填停止、使压缩气体注入开始的情况。但并不局限于此，在对着第 2区域312的底面等上设多个检测手段33时，可以事先设定是控制手段35接受第几个检测手段33的检测信号时、控制充填手段32及气体注入手段，并使记忆手段36记忆该设定。 图6中是控制手段35接到所定检测手段33的检测信号时(步骤S102 ；Y)，控制手段35控制充填手段32使停止树脂充填(步骤S103)，控制气体注入手段34控制压缩气体的注入开始(步骤S104)。变形例参照图7，对上述实施方式反射光学元件的变形例作说明。图7是变形例反射光学元件的形状说明模式图，图7(a)是反射光学元件从厚度方向上方看到的视图，图7(b)是从宽度方向看到的视图。除了宽度方向上的镜面部6长度W3与中空部8长度W5的关系之外，其它与上述反射光学元件1的结构相同，在此，仅注重说明不同之处。上述反射光学元件1中，宽度方向上的镜面部2长度Wl与中空部4长度W2满足关系W1 > W2，而变形例反射光学元件5中，中空部4长度W6比镜面部6长度W5长，满足关系W5<W6，通过在宽度方向上将中空部8两端形成到镜面部6两端的外侧，在宽度方向上缓和树脂收缩引起的翘曲和沉陷，面精度得到提高。另外，优选镜面部6从基材部7板面突出的厚度方向的长度D5为0. 1 (mm) < D5 <3(mm)，考虑脱模，因为镜面部侧面积大的话脱模阻力大周围的镜面精度下降，所以优选满足 0. 1 (mm) < D5 彡 0. 3 (mm)。图7(a)及图7(b)与图1(a)及图1(b)相同，用与镜面部6平行的平面形状，记载了被配置在宽度方向及厚度方向中心的中空部8，但这只不过是模式性说明，中空部8的形状和位置关系并不局限于此。本发明图1或图7中记载的反射光学元件，作为实施例，以凹面镜形状为例作了记载，但并不局限于凹面镜，只要是在所定轴方向要求高面精度、在其轴方向能够取大于镜面部的中空部的反射光学元件，都可以应用。第2实施方式图8中出示了将第1实施方式中记载的反射光学元件应用于反射型扫描光学装置的面镜的实施方式。图8是反射型扫描光学装置的立体图。图8中的扫描光学装置由光源单元21、聚光手段22、24、多面镜23、平面镜25、26、f θ面镜27构成。光源单元21由没有图示的激光二极管和准直透镜组成，激光二极管根据被输入到没有图示的驱动回路的图像信息而被调制(ON、OFF)控制，ON时放射激光光束。该激光光束是氮化镓类半导体激光，振荡波长为408nm。该激光光束在准直透镜被收束为略平行光之后，在为聚光手段22的圆柱面镜被反射，其光束形状被变为长度方向与主扫描方向平行的略直线状，到达多面镜23。为聚光手段M的托力克透镜在主扫描方向和副扫描方向具有不同焦强，在副扫描方向使激光光束聚光于被扫描面，由此保持多面镜23偏向面和被扫描面为共轭关系，通过与上述为聚光手段22的扩张圆柱面镜组合，修正多面镜23各偏向面的面偏向误差。透过聚光手段M的激光光束在平面镜25 J6被反射，进一步被f θ面镜27反射， 聚光于感光体鼓观。面镜27是修正被上述多面镜23在主扫描方向等角速度偏向的激光光束，使得在被扫描面上(感光体鼓观上)的主扫描速度为等速，即修正畸变。感光体鼓观被驱动，以一定速度在箭头b方向旋转，根据来自于多面镜23的激光光束的主扫描和感光体鼓观的旋转(副扫描)，在感光体鼓观上形成图像。如本实施方式所述，通过构成作为反射光学元件采用f θ面镜的反射型扫描光学装置，激光光束不透过f θ面镜内部，能够使主扫描速度等速，能够避免发生使用像蓝色激光那样短波长激光光束时发生的树脂制光学元件的耐候性问题，能够进行高精细的图像记录和再生。并且如上所述，f θ面镜的光学面面精度被要求比利用f θ透镜还要高的面精度， 通过采用本发明反射光学元件、即具有在长度方向比镜面部还要长的、或在长度方向及宽度方向双方都长的中空部，且镜面部的整个板面在厚度方向比基材部的板面还要突出的反射光学元件，能够缓和树脂收缩时的翘曲和沉陷对镜面部的影响，得到高的面精度。本发明扫描光学装置不局限于上述实施例，在本发明要旨范围内可以有各种变更。尤其是光路中使用的光学元件的种类和配置关系是任意的。本发明反射光学元件不局限于上述实施例、即f θ面镜，可以用于在所定轴方向被要求高的面精度、且能够使中空部大于镜面部的反射光学元件。实施例以下根据优选实施例说明本发明。在实施例及比较例中，树脂制反射光学元件作为实施方式2中说明的反射型扫描光学装置中的f θ面镜27。制造形状尺寸如下的fe面镜27 长度方向全长122mm，宽度方向全宽20mm，整体厚度5mm，镜面部长度100mm，镜面部宽度14mm。为此，设定使形成镜面部的树脂成型品满足中空部形成镜面部部分的表面粗糙度在5nm以下、中空部长度在相当于形成该镜面部的基材部长度方向长度的IOOmm以上122mm以下的条件(树脂温度、模具温度、注射速度、注射切换位置、计量位置、保持的压力、保持压力的时间、气体压力、气体保持时间、气体喷嘴温度等)，切削图3所示的成型模具等之后，进行了中空成型。确认到了得到的树脂成型品是中空部在长度方向的长度长于基材部在长度方向的长度，并测定该树脂成型品形成了镜面部的基材部表面精度，如成型时的条件所示，成型模具脱模的阻力影响少，能够得到表面粗糙度被维持在5nm以下的高面精度树脂成型品， 同样也能够得到具有高面精度的反射光学元件。比较例与实施例不同，除了使中空部在长度方向的长度短于基材部在长度方向的长度之成型条件之外，其他用相同的条件与实施例相同，用图3所示的成型模具进行成型。得到的树脂成型品如成型条件所示，中空部在长度方向的长度短于基材部在长度方向的长度，测定该树脂成型品的表面精度，结果表面粗糙度大于5nm，没有能够得到高面精度的反射光学元件。符号说明1 反射光学元件2 镜面部3 基材部4 中空部11 第1表面12 第2表面21 光源单元23 多面镜27 f θ 面镜28 感光体鼓(被扫描面)31 腔32 充填手段33 检测手段34 气体注入手段35 控制手段36 记忆手段37 判断手段38 接口41 操作手段311 第 1 区域312 第 2 区域315 镜面形成部341 电磁阀342 射出口部注本说明书中的“Α以上”、“B以下”均包括A、B (A、B为任意数值及其单位)。
权利要求
1.一种反射光学元件，其特征在于，具有具有中空部的细长板状的树脂制基材部；位于所述基材部表面一部分上的镜面部；所述中空部位于形成了所述镜面部的所述基材部内部，且从所述镜面部的中央起，长于镜面部长度方向的两端，所述镜面部的整个镜面部突出在所述基材部板面上。
2.如权利要求1中记载的反射光学元件，其特征在于，所述中空部并且从所述镜面部的中央起，长于镜面部宽度方向的两端。
3.如权利要求1或2中记载的反射光学元件，其特征在于，所述反射光学元件是沿着所述镜面部表面长度方向，扫描、反射光源射出光的反射光学元件。
4.如权利要求1至3的任何一项中记载的反射光学元件，其特征在于，所述反射光学元件的形成了所述镜面部的所述基材部表面的表面粗糙度Ra为Ra ^5(nm)。
5.一种扫描光学装置，具有光源；多面镜；使所述光源射出的光入射、聚光于所述多面镜的聚光手段；使得通过所述多面镜以所定速度旋转而被扫描的扫描光、持有f θ特性的反射光学元件；扫描光学装置的特征在于，所述反射光学元件具有具有中空部的细长板状的树脂制基材部；位于所述基材部表面一部分上的镜面部；所述中空部位于形成了所述镜面部的所述基材部内部，且从所述镜面部的中央起，长于镜面部长度方向的两端，所述镜面部的整个镜面部，突出在所述基材部板面上。
6.如权利要求5中记载的扫描光学装置，其特征在于，所述中空部并且从所述镜面部的中央起，长于镜面部宽度方向的两端。
7.如权利要求5或6中记载的扫描光学装置，其特征在于，所述反射光学元件的形成了所述镜面部的所述基材部表面的表面粗糙度Ra被形成在Ra ( 5 (nm)之范围内。
8.如权利要求5至7的任何一项中记载的扫描光学装置，其特征在于，从所述光源射出的光的波长在500nm以下。注本权利要求书中的“A以上”、“B以下”均包括A、B (A、B为任意数值及其单位)。
全文摘要
本发明提供一种缓和树脂固化时的收缩所引起的翘曲和沉陷、且抑制脱模阻力引起的镜面变形、从而具有高镜面精度的树脂制反射光学元件，并且提供一种应用了该反射光学元件的扫描光学装置。特征在于，通过具有细长板状的基材部3、位于基材部3一个板面上的镜面部2、位于镜面部2的镜面反面的基材部3内部的中空部4，且使中空部4大于镜面部2，由此在整个镜面部2上缓和了树脂固化收缩产生的翘曲和沉陷；并且，通过使镜面部2板面的整个板面突出在基材部3板面上，抑制伴随树脂收缩的成型品夹住模具引起脱模阻力增大，从而防止脱模阻力引起镜面部2变形。
文档编号G02B5/08GK102356336SQ20108001280
公开日2012年2月15日 申请日期2010年2月4日 优先权日2009年3月19日
发明者原新一朗, 金子直树, 高木宽司 申请人:柯尼卡美能达精密光学株式会社