专利名称：感光性树脂组合物、元件、抗蚀剂图形和引线框的制造方法、印刷线路板及其制造方法
技术领域：
本发明涉及感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的制造方法、引线框(lead frame)的制造方法、印刷线路板的制造方法和印刷线路板。
背景技术：
一直以来，在印刷线路板的制造领域中，广泛使用在蚀刻、镀敷等中用作抗蚀剂材料的感光性树脂组合物以及具有在支持膜上形成含有该感光性树脂组合物的层(以下称为“感光性树脂层”)且在感光性树脂层上配置了保护膜的构造的感光性元件(叠层体)。一直以来，使用上述感光性元件按照例如以下步骤制造印刷线路板。即，首先将感光性元件的感光性树脂层层压在覆铜叠层板等电路形成用基板上。此时，感光性树脂层的与接触支持膜的面(以下称为感光性树脂层的“下表面”)相反侧的面(以下称为感光性树脂层的“上表面”)能够密合到电路形成用基板的形成电路的面。因此，在感光性树脂层的上表面配置了保护膜的情况下，在剥离保护膜的同时进行该层压作业。此外，层压通过将感光性树脂层加热压接于基底电路形成用基板而进行(常压层压法)。接着，通过掩模膜等对感光性树脂层进行图形曝光。此时，在曝光前或曝光后任意时机剥离支持膜。然后，通过显影液将感光性树脂层的未曝光部溶解或分散除去。接着，实施蚀刻处理或镀敷处理以形成图形，最后剥离除去固化部分。然而，作为上述图形曝光方法，近年来不通过掩模膜而使用数字数据将活性光线图像状地直接照射的激光直接描画法已经实用化。作为直接描画法所用的光源，从安全性、 操作性等方面考虑，可以使用YAG激光和半导体激光等，最近提出了使用寿命长且输出功率高的氮化镓系蓝色激光等的技术。并且，随着近年来印刷线路板中的高精细化、高密度化，引入了能够形成比以前更微细的图形的被称为DLP(Digital Light Processing，数字光学处理)曝光法的直接描画法。通常，DLP曝光法中使用以蓝紫色半导体激光为光源的波长390 430nm的活性光线。此外，主要能够应对通用印刷线路板中的少量多品种的、使用以YAG激光为光源的波长355nm的多边形多束激光束(polygon multibeam)的曝光法也获得应用。伴随着上述各种图形曝光方法的开发，为了能够应对各曝光波长，正在对在感光性树脂组合物中各种增感剂的应用进行研究(例如，参照专利文献1 5。)。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2004-301996号公报专利文献2 日本特开2005-107191号公报专利文献3 日本特开2005-215142号公报专利文献4 日本特开2007-101941号公报
专利文献5 日本特开2007-101940号公报
发明内容
发明要解决的问题就抗蚀图形而言，在近年来微细化不断推进中、特别是蚀刻工序中，在具有充分的盖孔可靠性的同时，要求同时满足形成L/S(线宽/空隙宽)= 20/20(单位μπι)以下的图形的这样的高析像度性。此处，盖孔可靠性是指用抗蚀剂膜覆盖通孔时抗蚀剂膜在直至显影处理等抗蚀剂剥离工序前的阶段不易断裂的性能。此外，对于用于形成抗蚀图形的感光性树脂层还要求密合性。使感光性树脂层柔软化对于提高密合性是有效的，由此对基材凹凸的追随性提高。但是其结果是，存在剥离工序中剥离抗蚀剂需要较长时间从而生产效率降低的情况。此外，感光性树脂层的柔软化还导致发生感光性树脂层从将感光性元件卷绕而成的制品辊的端部渗出的现象(熔边)，有可能污染层压辊。此外，感光性树脂层的薄膜化对于提高感光性树脂层的析像度是有效的。但是当形成印刷线路板时需要某种程度的电路厚度(铜厚等)的情况下，蚀刻工艺中存在蚀刻时盖孔可靠性容易不充分的倾向，因此覆盖通孔部分的抗蚀剂膜容易脱落。因此，通过减薄感光性树脂层而使抗蚀图形的宽度变小来提高析像度的方法也存在限制。进而，与使用碳弧灯、汞蒸气弧灯、超高压汞灯、高压汞灯和氙灯等能有效放射紫外线的光源进行一次性曝光的现有曝光方法相比，高速移动激光进行曝光的直接描画法每个点的曝光能量量小、生产效率低。因此，直接描画法中需要灵敏度更高的感光性树脂组合物。因此，为了提高光灵敏度而增加感光性树脂组合物中所含的光引发剂、增感剂时， 在感光性树脂层的表层部局部地进行光反应，层底部的固化性降低，因此存在光固化后而得的析像度和抗蚀形状变差的倾向。本发明是鉴于上述问题而进行的，目的在于提供光灵敏度优异、能提高形成的抗蚀剂膜的盖孔可靠性、密合性以及形成的抗蚀图形的析像度的感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图形的制造方法、引线框的制造方法和印刷线路板的制造方法。解决问题的方法本发明人等发现，通过形成含有作为(A)成分的粘合剂聚合物、作为(B)成分的具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、作为(C)成分的光聚合引发剂、作为(D)成分的增感色素，且上述(B)成分含有具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物，上述(D)成分含有吡唑啉化合物的感光性树脂组合物，从而能够使光灵敏度优异、能够提高形成的抗蚀剂膜的盖孔可靠性、密合性以及形成的抗蚀图形的析像度，进而完成了本发明。此外，本发明涉及一种感光性元件，其具有支持体、和形成于上述支持体上的来自于上述感光性树脂组合物的感光性树脂层。由此可以提供上述特性优异的感光性元件。进而，本发明涉及一种抗蚀图形的制造方法，其具有在基板上形成来自于上述感光性树脂组合物的感光性树脂层的感光性树脂层形成工序、对上述感光性树脂层的至少一部分照射活性光线而使曝光部光固化的曝光工序、和通过显影从基板上除去上述感光性树脂层的未固化部分的显影工序。由此可以形成上述特性优异的抗蚀图形。此外，本发明涉及一种印刷线路板的制造方法以及通过该方法而得到的印刷线路基板，该方法包括对通过上述抗蚀图形的制造方法形成有抗蚀图形的基板进行蚀刻处理或镀敷处理而形成导体图形的工序。由于使用的感光性树脂组合物的上述特性优异，因此可以提供适合于印刷线路板的高密度化的制造方法。进而，本发明涉及一种引线框的制造方法，其包括对通过上述抗蚀图形的形成方法形成有抗蚀图形的基板进行镀敷处理而形成导体图形的工序。由于使用的感光性树脂组合物的上述特性优异，因此可以提供适合于引线框的高密度化的制造方法。发明效果根据本发明，可以提供光灵敏度优异、形成的抗蚀剂膜的盖孔可靠性、密合性以及形成的抗蚀图形的析像性优异的感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图形的形成方法、引线框的制造方法、印刷线路板的制造方法和印刷线路板。
图1是表示本发明的感光性元件的一个实施方式的模式剖视图。符号说明2支持体4感光性树脂层6保护膜10感光性元件
具体实施例方式下面对本发明的优选实施例进行详细说明。另外，本发明中的(甲基)丙烯酸是指丙烯酸和其对应的甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯和其对应的甲基丙烯酸酯，(甲基)丙烯酰基是指丙烯酰基和其对应的甲基丙烯酰基。此外，本发明中，“工序”这一用语不仅仅是独立的工序，即使是与其它工序无法明确区别的情况下只要实现了该工序预期的作用则也包含在本用语中。此外，本说明书中，使用“ ”表示的数值范围表示的是包含分别以“ ”前后记载的数值为最小值和最大值的范围。〈感光性树脂组合物〉本发明的感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、⑶增感色素。下面进一步详细地说明本发明的感光性树脂组合物中使用的各成分。[ (A)成分粘合剂聚合物]作为能够在本发明中使用的㈧成分粘合剂聚合物，可以列举出例如丙烯酸系树脂、苯乙烯系树脂、环氧系树脂、酰胺系树脂、酰胺环氧系树脂、醇酸系树脂和酚系树脂。 从碱显影性的立场出发，优选丙烯酸系树脂。上述树脂可以单独使用或将两种以上组合使用。
上述(A)粘合剂聚合物例如可以通过使聚合性单体进行自由基聚合而制造。作为上述聚合性单体，可以列举出例如苯乙烯、乙烯基甲苯和α-甲基苯乙烯等在α-位或芳香族环被取代的能够聚合的苯乙烯衍生物，双丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺，丙烯腈和乙烯基-正丁基醚等乙烯基醇的酯类，(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸-2，2，2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸-2，2，3，3-四氟丙酯、 (甲基)丙烯酸、α -溴丙烯酸、α -氯丙烯酸、β -呋喃基(甲基)丙烯酸、β -苯乙烯基 (甲基)丙烯酸，马来酸、马来酸酐、马来酸单甲酯、马来酸单乙酯、马来酸单异丙酯等马来酸单酯，富马酸、肉桂酸、α-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸和丙炔酸。这些可以单独使用或将两种以上组合使用。作为上述(甲基)丙烯酸烷基酯，可以列举出例如下述通式(IV)所示的化合物， 和这些化合物的烷基被羟基、环氧基、卤素基团等取代而成的化合物。H2C = C(R6)-COOR7 (IV)〔式(IV)中，R6表示氢原子或甲基，R7表示碳原子数1 12的烷基〕。作为上述通式(IV)中的R7所表示的碳原子数1 12的烷基，可以列举出例如甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、i^一烷基、十二烷基、苄基和它们的结构异构体。作为上述通式(IV)所示的单体，可以列举出例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基) 丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯和(甲基)丙烯酸苄酯。这些可以单独使用或将两种以上组合使用。此外，从碱显影性的立场来看，作为本发明中的(A)成分的粘合剂聚合物优选含有羧基，例如可以通过使具有羧基的聚合性单体和其它聚合性单体进行自由基聚合而制造。作为上述具有羧基的聚合性单体，优选(甲基)丙烯酸，其中更优选甲基丙烯酸。从碱显影性和碱耐性的平衡的立场出发，上述(A)粘合剂聚合物的羧基含量(具有羧基的聚合性单体相对于使用的全部聚合性单体的配合率)优选为12 50质量％，更优选为12 40质量％，进一步优选为15 35质量％，特别优选为15 30质量％。该羧基含有率为12质量％以上则具有碱显影性提高，为50质量％以下则具有碱耐性优异的倾向。此外，上述(A)粘合剂聚合物中的来自于具有羧基的聚合性单体的结构单元的含有率与上述含羧基单体的配合率有关，因此优选为12 50质量％，更优选为12 40质量％，进一步优选为15 35质量％，特别优选为15 30质量％。此外，从密合性和耐化学药品性的立场出发，作为本发明中的(A)成分的粘合剂聚合物优选含有苯乙烯或苯乙烯衍生物作为聚合性单体。将上述苯乙烯或苯乙烯衍生物作为共聚成分时，从使密合性和耐化学药品性良好的立场出发，其含量(苯乙烯或苯乙烯衍生物相对于使用的全部聚合性单体的配合率)优选相对于(A)成分全体的固体成分含有10 质量％ 60质量％，更优选含有15质量％ 50质量％。该含量为10质量％以上则具有密合性提高的倾向，为50质量％以下则能够抑制剥离片变大所导致的剥离所需要的长时
6间化。此外，上述(A)粘合剂聚合物中的来自于苯乙烯或苯乙烯衍生物的结构单元的含有率与苯乙烯或苯乙烯衍生物的上述配合率有关，优选为10质量％ 60质量％，更优选为 15质量％ 50质量％。这些粘合剂聚合物可以单独使用或将两种以上组合使用。作为将两种以上组合使用时的粘合剂聚合物，可以列举出例如由不同的共聚成分构成的两种以上的粘合剂聚合物、重均分子量不同的两种以上的粘合剂聚合物、和分散度不同的两种以上的粘合剂聚合物。上述㈧粘合剂聚合物可以通过常规方法制造。具体而言，例如，可以通过使(甲基)丙烯酸烷基酯与(甲基)丙烯酸、苯乙烯等进行自由基聚合而制造。从机械强度和碱显影性的平衡的立场出发，上述(A)粘合剂聚合物的重均分子量优选为20，000 300，000，更优选为40，000 150，000，进一步优选为40，000 120，000， 特别优选为50，000 80，000。重均分子量为20，000以上，则具有耐显影液性优异的倾向， 为300，000以下则具有可以抑制显影时间延长的倾向。此外，本发明中的重均分子量是通过凝胶渗透色谱法测定并使用标准聚苯乙烯制作的校正曲线换算而得的值。就上述(A)粘合剂聚合物的含量而言，相对于(A)成分和后述的(B)成分的总量 100质量份优选设为30质量份 80质量份，更优选设为40质量份 75质量份，进一步优选设为50质量份 70质量份。当(A)成分的含量在该范围内时，感光性树脂组合物的涂膜性和光固化物的强度更良好。[ (B)成分具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物]从平衡性良好地提高析像度和盖孔可靠性的立场出发，作为本发明中使用的(B) 成分的具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物，至少含有具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。此处，具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯的意思是二季戊四醇和(甲基)丙烯酸的酯化物且定义为该酯化物中含有经亚烷氧基改性的化合物。此外，一分子中的酯键的数目优选为6，也可以混合酯键的数目为1 5的化合物。作为具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯，更具体而言，可以列举出例如下述通式(I)所示的化合物。化学式1
R4 οο R4
I Il / / ν Il I
H2C=C —C—O-^-AO^j-CHzCH2-O-^-AO^-C一C=CH2
‘ο R4
Rh O
I Il
Il I
H2C=C-C-O-J-AO^H2C-C—H2C-O-CH2 —C—CH2-0-(-A0)^C—C=
CH,
f Q
(I)
C5 f
H2C=C—C—O—(-AO^HzCH2-O-fAO^C一C=CH2 通式(I)中，R4各自独立地表示氢原子或甲基，A表示碳原子数2 6的亚烷基， 存在的多个A可以彼此相同也可以不同。η为0 20的整数。
通式(I)中，R4各自独立地表示氢原子或甲基，从进一步提高灵敏度、密合性和析像度的观点出发，优选为甲基。通式(I)中，A表示碳原子数2 6的亚烷基，优选为碳原子数2 5的亚烷基， 更优选为碳原子数2 4的亚烷基。通式(I)中，η为0 20的整数，优选为0 15，更优选为0 10，更优选0 5。此外，从盖孔可靠性和析像性的平衡的立场出发，上述具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份为3质量份 25质量份，更优选为5质量份 20质量份。对于B)成分而言，除了上述具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物外，还可以使用其它的光聚合性化合物。作为其它的光聚合性化合物，可以列举出例如使α，β -不饱和羧酸与多元醇反应而得的化合物、双酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物、具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯化合物等氨基甲酸酯单体、壬基苯氧基四亚乙氧基(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基八亚乙氧基(甲基)丙烯酸酯、Y-氯-β-轻基丙基-β，甲基)丙烯酰氧乙基-邻苯二甲酸酯、β-羟基乙基-β，_(甲基)丙烯酰氧乙基-邻苯二甲酸酯、β-羟基丙基-β，_(甲基)丙烯酰氧乙基-邻苯二甲酸酯、和(甲基)丙烯酸烷基酯。这些可以单独使用或将两种以上组合使用。上述之中，从平衡性良好地提高盖孔可靠性和析像性的观点出发，优选含有双酚A 系(甲基)丙烯酸酯化合物。作为上述双酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物，可以列举出2， 2-双甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷、2，2_双0-((甲基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷、2，2_双0-((甲基)丙烯酰氧基聚丁氧基)苯基)丙烷、2，2_双 (4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷等。这些可以单独使用或将两种以上组合使用。作为双酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物，例如就2，2-双((甲基)丙烯酰氧基二丙氧基)苯基)丙烷而言，可以作为BPE-200(新中村化学工业(株)制，制品名)而商购，就2，2-双甲基丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷而言，可以作为BPE-500(新中村化学工业(株)制，制品名)或FA-321M(日立化成工业(株)制，制品名)而商购。进而，就2，2_双(甲基丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)丙烷而言，可以作为BPE-1300(新中村化学工业(株)制，制品名)而商购。就双酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物的含有率而言，相对于(A)成分和(B)成分的总量优选为5质量％ 25质量％，更优选为7质量％ 15质量％。作为上述使α，β-不饱和羧酸与多元醇反应而得的化合物，可以列举出例如亚乙基的数目为2 14的聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亚丙基的数目为2 14的聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亚乙基的数目为2 14且亚丙基的数目为2 14的聚乙二醇聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亚乙基的数目为1 21的三羟甲基丙烷聚乙烯三(甲基)丙烯酸酯、亚乙基的数目为1 21的四羟甲基甲烷聚乙烯三(甲基)丙烯酸酯、和亚乙基的数目为1 30的四羟甲基甲烷聚乙烯四(甲基)丙烯酸酯。这些可以单独使用或将两种以上组合使用。上述之中，从盖孔可靠性和析像性优异的观点出发，优选含有亚乙基的数目为1 21的三羟甲基丙烷聚乙烯三(甲基)丙烯酸酯。就使α，β -不饱和羧酸与多元醇反应而得的化合物的含有率而言，相对于(A)成分和(B)成分的总量，优选为5质量％ 25质量％，更优选为7质量％ 15质量％。作为上述氨基甲酸酯单体，可以列举出例如在β位具有羟基的(甲基)丙烯酸单体与异佛尔酮二异氰酸酯、2，6_甲苯二异氰酸酯、2，4_甲苯二异氰酸酯和1，6_六亚甲基二异氰酸酯等二异氰酸酯化合物的加成产物，三((甲基)丙烯酰氧基四乙二醇异氰酸酯) 六亚甲基异氰脲酸酯、EO改性氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯和Ε0、Ρ0改性氨基甲酸酯二 (甲基)丙烯酸酯。此外，EO表示环氧乙烷，经EO改性的化合物具有环氧乙烷基的嵌段结构。此外， PO表示环氧丙烷，经PO改性的化合物具有环氧丙烷基的嵌段结构。作为EO改性氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯可以列举出例如新中村化学工业 (株)制的制品名UA-11。此外，作为Ε0、PO改性氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯可以列举出例如新中村化学工业(株)制的制品名UA-13。此外，作为三((甲基)丙烯酰氧基四乙二醇异氰酸酯)六亚甲基异氰脲酸酯可以列举出例如新中村化学工业(株)制的制品名UA-21。其中，从进一步提高盖孔可靠性的立场出发，优选具有异氰脲酸环骨架的氨基甲酸酯单体，更优选作为三(甲基丙烯酰氧基四乙二醇异氰酸酯六亚甲基)异氰脲酸酯的 UA-21 (新中村化学工业(株)制，制品名)。就具有异氰脲酸环骨架的氨基甲酸酯单体的含有率而言，相对于(A)成分和(B) 成分的总量，优选为5质量％ 25质量％，更优选为7质量％ 15质量％。上述其它光聚合性化合物可以单独使用或将两种以上组合使用。就上述(B)成分的含量而言，相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份，优选设为20质量份 60质量份，更优选设为30质量份 55质量份，特别优选设为35质量份 50质量份。当(B)成分的含量在该范围时，感光性树脂组合物的光灵敏度和涂膜性更加良好。[(C)成分光聚合引发剂]作为(C)成分的光聚合引发剂，可以列举出二苯甲酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1，2-甲基-144-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代-丙酮-1 等芳香族酮，烷基蒽醌等醌类，苯偶姻烷基醚等苯偶姻醚化合物，苯偶姻、烷基苯偶姻等苯偶姻化合物，苯偶酰二甲基缩酮等苯偶酰衍生物，2-(邻氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、2-(邻氟苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚体等2，4，5-三芳基咪唑二聚体，9-苯基吖啶、1， 7-(9，9’ -吖啶基)庚烷等吖啶衍生物等。这些可以单独使用或将两种以上组合使用。上述之中，优选含有2，4，5-三芳基咪唑二聚体。作为上述2，4，5_三芳基咪唑二聚体，可以列举出例如2-(邻氯苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚体、2-(邻氯苯基)_4，5-双-(间甲氧基苯基)咪唑二聚体、和2-(对甲氧基苯基)-4，5_ 二苯基咪唑二聚体。其中，优选 2-(邻氯苯基)_4，5- 二苯基咪唑二聚体。作为2，4，5-三芳基咪唑二聚体，例如，就2，2，-双(2_氯苯基)_4，4，，5，5，-四苯基双咪唑而言，可以作为B-CIM(保土谷化学制，制品名)而商购。就(C)成分的含量而言，相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份，优选为 0. 01质量份 30质量份，优选0. 1质量份 10质量份，更优选1质量份 7质量份，更优
9选0. 1质量份 20质量份，进一步优选2质量份 6质量份，特别优选3质量份 5质量份。其配合量为0. 1质量份以上则具有光灵敏度、析像度或密合性提高的倾向，为10质量份以下则具有抗蚀形状优异的倾向。[⑶成分增感色素]作为(D)成分的增感色素含有吡唑啉化合物。通过与作为光聚合性化合物的具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物组合使用，能够获得光灵敏度优异、形成的抗蚀剂膜的盖孔可靠性、密合性以及形成的抗蚀图形的析像性优异的感光性树脂组合物。作为吡唑啉化合物，可以应用能够用作增感色素的吡唑啉化合物。可以列举出例如在吡唑啉环上具有含有苯乙烯基、噻嗯基、呋喃基、联苯基或萘基的基团的化合物，优选具有含有选自苯乙烯基、噻嗯基和呋喃基中的至少一种的基团。吡唑啉环上的含有苯乙烯基、噻嗯基和呋喃基的基团的结合位置可以是1位 5 位中的任一位置，更优选在3位和5位中的至少一个位置进行结合。吡唑啉化合物优选还具有苯基。吡唑啉环上的苯基的取代位置可以是1位 5位中的任一位置，更优选为1位。作为上述吡唑啉化合物，优选含有下述通式(II)所示的化合物。化学式2
权利要求
1.一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分粘合剂聚合物、(B)成分具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)成分光聚合引发剂、和⑶成分增感色素，其中， 所述(B)成分含有具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物，所述(D)成分含有吡唑啉化合物。
2.一种感光性元件，其具有支持体、和形成于所述支持体上的来自于权利要求1所述的感光性树脂组合物的感光性树脂层。
3.一种抗蚀图形的制造方法，其具有在基板上形成来自于权利要求1所述的感光性树脂组合物的感光性树脂层的感光性树脂层形成工序、对所述感光性树脂层的至少一部分照射活性光线而使曝光部光固化的曝光工序、和通过显影从基板上除去所述感光性树脂层的未固化部分的显影工序。
4.一种印刷线路板的制造方法，其包括对通过权利要求3所述的抗蚀图形的制造方法形成有抗蚀图形的基板进行蚀刻处理或镀敷处理而形成导体图形的工序。
5.一种引线框的制造方法，其包括对通过权利要求3所述的抗蚀图形的制造方法形成有抗蚀图形的基板进行镀敷处理而形成导体图形的工序。
6.一种印刷线路板，其通过权利要求4所述的制造方法而制造。
全文摘要
本发明提供光灵敏度、盖孔可靠性、密合性和析像度优异的感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的制造方法、印刷线路板的制造方法、引线框的制造方法以及印刷线路板。所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)至少具有一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)增感色素，其中，上述(B)成分含有具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物，上述(D)成分含有吡唑啉化合物。
文档编号G03F7/09GK102375341SQ20111021927
公开日2012年3月14日 申请日期2011年7月28日 优先权日2010年7月30日
发明者味冈芳树, 石充, 矶纯一, 薄叶爱美 申请人:日立化成工业株式会社