一种可动镜片调整机构的制作方法

本发明涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种可动镜片调整机构。

背景技术：

在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像像质变差，为了解决这一问题，一般采用可动镜片以补偿镜片的制造和装配误差。美国专利US 2008/0204905公开的可动镜组由三个均布的柔性块支撑，通过柔性块的弹性变形实现可动镜片的移动。中国专利CN200810204974公开的可动镜组由三个均布的杠杆机构支撑，通过杠杆的转动实现可动镜片的移动。

上述二个专利，在实现上有一定的局限性。美国专利US 2008/0204905结构复杂，且只能实现Dz运动。中国专利CN200810204974中，可动镜组由三个均布的杠杆机构支撑，电机驱动杆直接与杠杆的一端接触，杠杆的另一端直接与可动镜片接触。在杠杆的转动过程中，电机驱动杆与杠杆之间会发生径向滑移，且杠杆与可动镜片之间也会发生径向滑移。因此，在可动镜片的移动过程中，会发生窜动现象，导致调整精度不高。

技术实现要素：

本发明的目的在于克服现有技术中存在的结构复杂、调整时出现窜动等现象，调整精度低等问题。

为了实现上述发明目的，本发明公开一种可动镜片调整机构，包括：驱动机构组件（100）、可动镜片（200）和支撑座（300），其特征在于，所述驱动机构组件（100）安装在所述支撑座（300）上，所述可动镜片（200）安装在所述驱动机构组件（100）上；通过所述驱动机构组件（100）的运动实现所述可动镜片（200）的三个自由度调整。

更进一步地，所述驱动机构组件（100）包括柔性铰链机构（110），弹簧盖（120），预载弹簧（130）和驱动电机（140）；所述柔性铰链机构（110）在H1、H2、H3和H4四处通孔，形成铰链，相当于四个支点；杆件（110a）、杆件（110b）、杆件（110c）、杆件（110d）和杆件（110e）形成五连杆柔性铰链机构；所述杆件（110a）与所述可动镜片（200）连接固定，通过所述驱动电机（140）驱动所述杆件（110c）做旋转运动，实现所述杆件（110a）做Z向运动；通过所述预载弹簧（130），驱动所述杆件（110c）做反向旋转运动，实现所述杆件（110a）做-Z向运动。

更进一步地，所述驱动机构组件（100）为3个，均布在所述支撑座（300）上。

更进一步地，所述柔性铰链机构（110）采用弹性金属材料。

更进一步地，所述柔性铰链机构（110）在K1、K2两处开槽。

与现有技术相比较，本发明可动镜片调整机构克服了现有技术中存在的结构复杂、调整时出现窜动等现象，具有结构简单、稳定可靠等优点。

附图说明

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

图1是本发明可动镜片调整机构结构示意图；

图2是本发明可动镜片调整机构剖视图；

图3是本发明可动镜片调整机构驱动结构示意图；

图4是本发明可动镜片调整机构柔性铰链机构结构示意图；

图5是本发明可动镜片调整机构柔性铰链机构立体结构示意图；

图6是本发明可动镜片调整机构柔性铰链机构原理图；

图7是本发明可动镜片调整机构柔性铰链机构Z方向运动原理图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。

曝光设备中，可动镜片调整机构实现可动镜片三个自由度的调整，从而对光刻投影物镜的像差进行调整。

图1是本发明可动镜片调整机构结构示意图，图2是本发明可动镜片调整机构剖视图。如图1和2所示，本发明可动镜片调整机构包括：驱动机构组件100、可动镜组200和支撑座300。支撑座300是整个机构的安装基础，三个驱动机构组件100安装在支撑座300上，可动镜片200安装在三个驱动机构组件100上，通过三个驱动机构组件100的组合运动实现可动镜片200三个自由度的调整。可动镜片200包括镜座201和可动镜片202。

驱动机构组件100如图3所示，包括：柔性铰链机构110，弹簧盖120，预载弹簧130和驱动电机140。柔性铰链机构110为整个可动镜片调整机构的关键零件，采用弹性材料，结构如图4和5所示， H1、H2、H3和H4处通孔，形成铰链，相当于四个支点。杆件110a、杆件110b、杆件110c、杆件110d和杆件110e形成五连杆柔性铰链机构。铰链110a与可动镜片200连接固定，通过驱动电机140驱动110c做旋转运动，实现110a做Z向运动，通过预载弹簧130，驱动110c做反向旋转运动，实现110a做-Z向运动。

柔性铰链机构110可简化为一个连杆机构，如图6所示， 通过驱动电机140驱动铰链110c绕H3做旋转运动，可实现铰链110a做Z方向运动，如图7所示。三个柔性铰链机构110组合，就可实现可动镜片200在Dz、Rx和Ry的调整。为了避免三个柔性铰链机构110在调整过程中由于运动不一致而出现卡死现象，如图5所示，在K1和K2处开槽。

与现有技术相比较，本发明可动镜片调整机构克服了现有技术中存在的结构复杂、调整时出现窜动等现象，具有结构简单、稳定可靠等优点。

本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。