技术总结
本发明公开了一种甲醛气体检测用红外滤光片及其制备方法，红外滤光片基底材料选用单晶Si，高折射率材料选用Ge，低折射率材料选用ZnS。在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜，其镀膜工艺条件是Ge选用电子束蒸镀，沉积速率为ZnS选用多孔钼舟电热蒸镀，沉积速率为开始蒸镀真空度为1.0×10‑3Pa，沉积温度为130℃。本发明得到的5768nm带通红外滤光片，峰值透过率可达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他气体的干扰，提高仪器探测精度和效能。
技术研发人员：刘桂武;张旭;邵海成;侯海港
受保护的技术使用者：镇江爱豪科思电子科技有限公司
文档号码：201610778570
技术研发日：2016.08.30
技术公布日：2016.11.16