技术总结
本发明提供一种基板清洗设备，其通过采用由清洗旋转轴带动的密集排列的多个清洗刷头取代包裹在清洗旋转轴表面的毛刷，使得基板与毛刷之间的线接触变为基板与多个清洗刷头之间的面接触，从而大大增加基板在清洗时与清洗刷头之间的接触面积，提升清洗的接触时间，使基板背面的滚轮印清除的更加彻底，从而提升基板的清洁度，保证制程质量。
技术研发人员：张鹏飞;沈顺杰;龚冰
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201611179594
技术研发日：2016.12.19
技术公布日：2017.05.31