基于石墨烯‑介质‑金属层状结构的纳米器件的制作方法

文档序号:12533263阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于石墨烯-介质-金属层状结构的纳米器件,其特征在于,该纳米器件由多个偏振三维单元组成,多个偏振三维单元呈水平放置,且多个偏振三维单元的上下表面均在同一个水平面上;

每个偏振三维单元包括位于最底层的金层、位于中间层的二氧化硅隔离层和位于最上面层的石墨烯层,所述金层、二氧化硅隔离层和石墨烯层三者由下至上依次固定,且所述石墨烯层上开设有多个打孔。

2.根据权利要求1所述的基于石墨烯-介质-金属层状结构的纳米器件,其特征在于,所述金层的厚度在0.1μm左右,所述二氧化硅隔离层的厚度为1.1μm,且其介电常数为2.1。

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