技术总结
一种液晶曝光装置，对沿着XY平面移动之基板保持具(34)所保持之基板(P)，在基板保持具(34)往X轴方向之移动中经由光学系(16)照射照明光，其具有：标尺(52)，根据基板保持具往X轴方向之移动而被测量；读头(66x、66y)，根据基板保持具往X轴方向之移动，一边相对标尺(52)往X轴方向相对移动一边测量标尺(52)；多个标尺(56)，根据基板保持具往Y轴方向之移动而被测量，配置于在X轴方向彼此不同之位置；以及多个读头(64x、64y)，对应标尺(56)之各个设置，且根据基板往Y轴方向之移动，一边相对标尺(56)往Y轴方向相对移动一边测量标尺(56)。
技术研发人员：白户章仁;
受保护的技术使用者：株式会社尼康;
文档号码：201680057154
技术研发日：2016.09.29
技术公布日：2018.06.08