技术特征：
技术总结
本发明公开了一种柔性超表面结构，涉及超材料技术领域。柔性超表面结构由柔性衬底以及该衬底上周期排布的多个亚波长微纳结构重复单元构成，通过特定设计的亚波长微纳结构重复单元在外加应力的情况下，改变亚波长微纳结构中的亮模式和暗模式的相互作用强度，获得了具有高透过率、高品质因子的表面等离子体耦合共振峰，并且获得了较大的群折射率。该结构设计简单，易于制备，实现了超表面结构表面等离子体耦合共振现象动态可调，对于超表面结构在等离子体传感、光开关和慢光器件等技术领域的应用展现了更广阔的应用前景。
技术研发人员：李彤;陈良惠;宋国峰;江宇;宋甲坤;韦欣;徐云
受保护的技术使用者：中国科学院半导体研究所
技术研发日：2017.03.09
技术公布日：2017.07.04