一种大张角玻璃镜片的减反膜及其制作工艺的制作方法

文档序号:12817925阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种大张角玻璃镜片的减反膜及其制作工艺,大张角玻璃镜片的减反膜,包括设置在大张角玻璃镜片表面的减反膜,所述减反膜为八层的多层膜结构,其包括依次堆叠的高折射率膜层及低折射率膜层。所述高折射率膜层为五氧化三钛膜层;低折射率膜层为氟化镁膜层或二氧化硅膜层。一种大张角玻璃镜片的减反膜的制作工艺,包括以下步骤:步骤一,采用行星镀膜机台进行镀膜加工,在镀膜真空室镀膜前,使用高能离子源进行清洁处理60秒;步骤二,镀第一膜层时,镀膜压力为2.0*10‑2Pa,镀膜速率为镀膜时间为117~120秒;所述第一膜层为五氧化三钛膜层。本发明具有膜层均匀性一致,且凹面边缘膜强度佳的特点。

技术研发人员:李毅桢;聂小飞;叶忠海;谢志高;唐甫星;王维;张强;闵丹丹;蒋连林;牟联伟
受保护的技术使用者:舜宇光学(中山)有限公司
技术研发日:2017.04.25
技术公布日:2017.07.11
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