技术特征:
技术总结
本发明公开了一种基板传送系统以及基板检测设备和检测方法,所述设备包括:相对平行设置的两个电极;连接于两个电极的电源单元,用于在两个电极上加载交变电压;连接于所述电源单元与任意一个所述电极间的检测单元,用于检测其所接入的电路中的电流值,并根据待检测的基板位于所述两个电极之间时检测到的第一电流值判断所述基板是否破损。本发明可以对基板整体破损状况进行检测,并能避免检测结果受基板洁净度或传感器洁净度影响,从而提高检测结果的准确性。
技术研发人员:李明龙;王志强;陈荣龙;马纪艳;殷鹏飞;高鸿飞
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
技术研发日:2017.05.22
技术公布日:2017.09.15