光调制器的制作方法

文档序号:15738473发布日期:2018-10-23 21:53阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种光调制器,其能够使由终端电阻产生的热量有效地分散、放出,提高包含终端电阻的终端基板的可靠性,能够降低热量对于光波导的影响。光调制器具备:光波导基板,形成有光波导;信号电极,设置于该光波导基板,向该光波导施加电场;终端电阻,形成为该信号电极的终端;及终端基板,配置有该终端电阻,所述光调制器的特征在于,对于一个该终端基板,至少具有多个该终端电阻,为了抑制由该终端电阻产生的热量集中于该终端基板内的局部部分的情况或者由该终端电阻产生的热量向该光波导基板传导的情况,使设置于该终端基板且与该终端电阻电连接的接地电极形成得比0.1μm厚。

技术研发人员:菅又徹
受保护的技术使用者:住友大阪水泥股份有限公司
技术研发日:2017.04.03
技术公布日:2018.10.23

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