抗蚀剂剥离液组合物的制作方法

技术总结
本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含化学式1所表示的含有羟基甲基氨基的叔胺0.1～20重量％、和极性有机溶剂79～99.9重量％。下述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～5的烷基、碳原子数1～5的羟基烷基或碳原子数1～5的烷氧基。所述抗蚀剂剥离液组合物对于铜膜和铝膜的防腐蚀力、溶解力和剥离力优异。

技术研发人员：金正铉;金圣植;高京俊
受保护的技术使用者：东友精细化工有限公司
技术研发日：2018.02.09
技术公布日：2018.10.23