技术特征：
技术总结
本发明提供一种全视场高数值孔径成像系统偏振像差在线检测技术，通过设计一系列具有傅里叶远场频谱结构简单的标记掩模；用琼斯光瞳的pesudo－zernike展开法表征成像模型中投影物镜的PA，并由标记掩模衍射远场特性简化成像模型；根据离散化的成像模型，推导出成像光强与PA展开系数的二阶灵敏的矩阵，得到以下关系；对上式两边进行傅里叶变换，并同时提取其+1阶频谱信息，得到成像结果傅里叶变换+1阶谱与PA展开系数的二次解析关系；合理改变光源偏振照明方式、调整集成掩模版的位置、曝光区域及成像离焦量等参数，根据上述所得关系，建立二阶超定方程组，最终可通过成像的+1阶谱逆向求解出全视场每一个视场点的PA展开系数，实现光刻投影物镜全视场PA的在线检测。
技术研发人员：李艳秋;李恩泽
受保护的技术使用者：北京理工大学
技术研发日：2018.06.22
技术公布日：2018.11.16