1.一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,包括玻璃基板(1)和金属走线(5),其特征是:所述玻璃基板(1)和金属走线(5)之间设置有SiNx层(2),所述金属走线(5)上方依次覆盖有SiNx绝缘层(3)和ITO层(4)。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,其特征是:所述SiNx层(2)通过物理沉积在所述玻璃基板(1)上,所述SiNx绝缘层(3)通过物理沉积在所述金属走线(5)上,所述ITO层(4)通过物理沉积在所述SiNx绝缘层(3)上。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,其特征是:所述SiNx层(2)厚度为50-400nm。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,其特征是:所述SiNx绝缘层(3)厚度为30-600nm。
5.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,其特征是:所述ITO层(4)厚度为20-100nm。