一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构的制作方法

文档序号:18197176发布日期:2019-07-17 05:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,包括玻璃基板(1)和金属走线(5),其特征是:所述玻璃基板(1)和金属走线(5)之间设置有SiNx层(2),所述金属走线(5)上方依次覆盖有SiNx绝缘层(3)和ITO层(4)。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,其特征是:所述SiNx层(2)通过物理沉积在所述玻璃基板(1)上,所述SiNx绝缘层(3)通过物理沉积在所述金属走线(5)上,所述ITO层(4)通过物理沉积在所述SiNx绝缘层(3)上。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,其特征是:所述SiNx层(2)厚度为50-400nm。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,其特征是:所述SiNx绝缘层(3)厚度为30-600nm。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管液晶显示器用的走线保护结构,其特征是:所述ITO层(4)厚度为20-100nm。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1