电极结构及微显示器的制作方法

文档序号:18714842发布日期:2019-09-20 21:02阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电极结构,其特征在于,包括金属电极(10)以及覆盖所述金属电极(10)上的介质层(20);

所述介质层(20)包括层叠设置的多层子介质层(21),相邻的两个子介质层(21)的材料分别为第一材料及第二材料,最底层的子介质层(21)的材料为第一材料,且所述第一材料的折射率大于第二材料的折射率。

2.如权利要求1所述的电极结构,其特征在于,所述第一材料和第二材料的介电常数均大于10。

3.如权利要求1所述的电极结构,其特征在于,所述第一材料的折射率与第二材料的折射率的差值大于0.5。

4.如权利要求1所述的电极结构,其特征在于,所述介质层包括层叠设置的五层子介质层(21),其中第一、第三及第五层子介质层(21)的材料为硅,第二及四层子介质层(21)的材料为二氧化钛。

5.一种微显示器,其特征在于,包括:相对设置的硅片(1)及顶板(2)、设于所述硅片(1)及顶板(2)之间的液晶层(3)、设于所述硅片(1)靠近所述顶板(2)的一侧的多个间隔排列的底电极(4)、覆盖所述底电极(4)及硅片(1)的介质层(5)以及设于所述顶板(2)靠近硅片(1)的一侧的顶电极(6);

所述介质层(5)包括层叠设置的多层子介质层(51),相邻的两个子介质层(51)的材料分别为第一材料及第二材料,最底层的子介质层(51)的材料为第一材料,且所述第一材料的折射率大于第二材料的折射率。

6.如权利要求5所述的微显示器,其特征在于,所述第一材料和第二材料的介电常数均大于10。

7.如权利要求5所述的微显示器,其特征在于,所述第一材料的折射率与第二材料的折射率的差值大于0.5。

8.如权利要求5所述的微显示器,其特征在于,所述介质层(5)包括层叠设置的五层子介质层(51),其中第一、第三及第五层子介质层(51)的材料为硅,第二及四层子介质层(51)的材料为二氧化钛。

9.如权利要求5所述的微显示器,其特征在于,所述硅片(1)包括底层电路(11)及设于所述底层电路(11)上的绝缘层(12),所述底电极(4)设于所述绝缘层(12)上并通过一穿越绝缘层(12)的过孔(13)与所述底层电路(11)电性连接。

10.如权利要求5所述的微显示器,其特征在于,还包括设于所述顶电极(6)靠近所述硅片(1)的一侧的定向层(7)。

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