一种掩模工艺夹盘的制作方法

本实用新型涉及开炼机结构的技术领域，具体为一种掩模工艺夹盘。

背景技术：

掩模是半导体业、集成电路制作时所需的一种模具，其可将掩模上的图形经过曝光制程复制于晶圆上。掩模制作单位根据客户设计的图形，将图形数据转化后，利用掩模曝光机在感光石英基材上进行曝光，经显影、蚀刻制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。在掩模显影、湿法蚀刻、去胶工艺过程中，会将掩模基板放置于工艺夹盘上进行工艺制作，在工艺过程结束前，会使用去离子水冲洗掩模基板表面，并通过高速旋转去除掩模基板表面的水。在高速旋转过程中，现有的工艺夹盘仅通过四个支承台、和每个支承台上对应凸起圆柱放置对应的掩模基板，在掩模基板高速旋转过程中，会将掩模基板旋出、造成掩模基板破碎、机台当机。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型提供了一种掩模工艺夹盘，其在支承台的外周设置便于插装的挡块，使得掩模基板的四角高度方向限位，从而使得掩模基板在高速旋转过程中不会脱离夹盘，确保掩模基板的安全。

一种掩模工艺夹盘，其技术方案是这样的，其包括其包括盘本体，所述盘本体的对应于掩模基板的四角位置设置有上凸的支承台，所述支承台的上表面对应于所述掩模基板的对应定位孔位置布置有上凸圆柱，其特征在于：所述支承台的对应于掩模基板的每个角的两侧边分别设置有导向凸台，每个所述导向凸台内侧立面平行于掩模基板的对应侧边布置，每个所述支承台上的一对导向凸台的相向面之间设置有垂直安装槽，每个所述支承台还设置有内凸挡块，所述内凸挡块包括上部内凸止挡部分、底部卡装部分，所述底部卡装部分塞装于所述垂直安装槽内，掩模基板定位到上凸圆柱后、所述上部内凸止挡部分位于所述掩模基板的正上方面域布置。

其进一步特征在于：所述内凸止挡部分具体为自下而上向内逐渐内凸的斜角结构，所述内凸止挡部分高于所述掩模基板的上表面布置；

所述垂直安装槽的底部用于放置掩模基板的对应角区域；

所述支承台具体为圆柱形结构，每个所述导向凸台的外弧面仿形于所述支承台的对应位置弧面设置、使得支承台和导向凸台成为一体结构；

所述内凸挡块的远离所述上凸圆柱的外表面固接有外凸手持件，所述外凸手持件使得内凸挡块方便脱离所述支承台；

所述外凸手持件具体为紧固螺丝，所述紧固螺丝的螺纹端固接于所述内凸挡块的外露端面，所述紧固螺丝的大头端外露、为外凸手持件的握持部分；

所述盘本体包括外周环、中间十字连接架，所述中间十字连接件的交叉位置底部设置有下凸支承圆柱，所述支承台分别布置于所述十字连接架的延伸至所述外周环的延长点位置处，使得支承台稳固可靠。

采用上述技术方案后，掩模基板的四角定位孔分别通过支承台上的上凸圆柱定位，掩模基板的下表面支承于支承台的上表面，之后内凸挡块的底部卡装部分塞装于垂直安装槽内、使得上部内凸止挡部分位于掩模基板的正上方面域布置，其在支承台的外周设置便于插装的挡块，使得掩模基板的四角高度方向限位，从而使得掩模基板在高速旋转过程中不会脱离夹盘，确保掩模基板的安全。

附图说明

图1为本实用新型的立体图结构示意图；

图2为内凸挡块的立体图结构示意图；

图3为内凸挡块和支承台的安装结构示意图；

图中序号所对应的名称如下：

盘本体1、外周环11、中间十字连接架12、下凸支承圆柱13、支承台2、上凸圆柱3、导向凸台4、内侧立面41、相向面42、垂直安装槽5、内凸挡块6、上部内凸止挡部分61、底部卡装部分62、紧固螺丝7、大头端71。

具体实施方式

一种掩模工艺夹盘，见图1-图3，其包括其包括盘本体1，盘本体1的对应于掩模基板的四角位置设置有上凸的支承台2，支承台2的上表面对应于掩模基板的对应定位孔位置布置有上凸圆柱3，支承台2的对应于掩模基板的每个角的两侧边分别设置有导向凸台4，每个导向凸台4内侧立面41平行于掩模基板的对应侧边布置，每个支承台2上的一对导向凸台4的相向面42之间设置有垂直安装槽5，每个支承台2还设置有内凸挡块6，内凸挡块6包括上部内凸止挡部分61、底部卡装部分62，底部卡装部分62塞装于垂直安装槽5内，掩模基板定位到上凸圆柱3后、上部内凸止挡部分61位于掩模基板的正上方面域布置。

内凸止挡部分61具体为自下而上向内逐渐内凸的斜角结构，内凸止挡部分61高于掩模基板的上表面布置；

垂直安装槽5的底部用于放置掩模基板的对应角区域；

支承台2具体为圆柱形结构，每个导向凸台4的外弧面仿形于支承台的对应位置弧面设置、使得支承台2和导向凸台4成为一体结构；

内凸挡块6的远离上凸圆柱3的外表面固接有外凸手持件，外凸手持件使得内凸挡块方便脱离支承台；

外凸手持件具体为紧固螺丝7，紧固螺丝7的螺纹端固接于内凸挡块的外露端面，紧固螺丝7的大头端71外露、为外凸手持件的握持部分；

盘本体1包括外周环11、中间十字连接架12，中间十字连接件12的交叉位置底部设置有下凸支承圆柱13，支承台2分别布置于十字连接架12的延伸至外周环的延长点位置处，使得支承台2稳固可靠。

其工作原理如下：掩模基板的四角定位孔分别通过支承台上的上凸圆柱定位，掩模基板的下表面支承于支承台的上表面，之后内凸挡块的底部卡装部分塞装于垂直安装槽内、使得上部内凸止挡部分位于掩模基板的正上方面域布置，其在支承台的外周设置便于插装的挡块，使得掩模基板的四角高度方向限位，从而使得掩模基板在高速旋转过程中不会脱离夹盘，确保掩模基板的安全。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：

1.一种掩模工艺夹盘，其包括其包括盘本体，所述盘本体的对应于掩模基板的四角位置设置有上凸的支承台，所述支承台的上表面对应于所述掩模基板的对应定位孔位置布置有上凸圆柱，其特征在于：所述支承台的对应于掩模基板的每个角的两侧边分别设置有导向凸台，每个所述导向凸台内侧立面平行于掩模基板的对应侧边布置，每个所述支承台上的一对导向凸台的相向面之间设置有垂直安装槽，每个所述支承台还设置有内凸挡块，所述内凸挡块包括上部内凸止挡部分、底部卡装部分，所述底部卡装部分塞装于所述垂直安装槽内，掩模基板定位到上凸圆柱后、所述上部内凸止挡部分位于所述掩模基板的正上方面域布置。

2.如权利要求1所述的一种掩模工艺夹盘，其特征在于：所述内凸止挡部分具体为自下而上向内逐渐内凸的斜角结构，所述内凸止挡部分高于所述掩模基板的上表面布置。

3.如权利要求1所述的一种掩模工艺夹盘，其特征在于：所述垂直安装槽的底部用于放置掩模基板的对应角区域。

4.如权利要求1所述的一种掩模工艺夹盘，其特征在于：所述支承台具体为圆柱形结构，每个所述导向凸台的外弧面仿形于所述支承台的对应位置弧面设置、使得支承台和导向凸台成为一体结构。

5.如权利要求1所述的一种掩模工艺夹盘，其特征在于：所述内凸挡块的远离所述上凸圆柱的外表面固接有外凸手持件。

6.如权利要求5所述的一种掩模工艺夹盘，其特征在于：所述外凸手持件具体为紧固螺丝，所述紧固螺丝的螺纹端固接于所述内凸挡块的外露端面，所述紧固螺丝的大头端外露、为外凸手持件的握持部分。

7.如权利要求1所述的一种掩模工艺夹盘，其特征在于：所述盘本体包括外周环、中间十字连接架，所述中间十字连接件的交叉位置底部设置有下凸支承圆柱，所述支承台分别布置于所述十字连接架的延伸至所述外周环的延长点位置处。

技术总结
本实用新型提供了一种掩模工艺夹盘，其在支承台的外周设置便于插装的挡块，使得掩模基板的四角高度方向限位，从而使得掩模基板在高速旋转过程中不会脱离夹盘，确保掩模基板的安全。其包括其包括盘本体，所述盘本体的对应于掩模基板的四角位置设置有上凸的支承台，所述支承台的上表面对应于所述掩模基板的对应定位孔位置布置有上凸圆柱，其特征在于：所述支承台的对应于掩模基板的每个角的两侧边分别设置有导向凸台，每个所述导向凸台内侧立面平行于掩模基板的对应侧边布置，每个所述支承台上的一对导向凸台的相向面之间设置有垂直安装槽，每个所述支承台还设置有内凸挡块，所述内凸挡块包括上部内凸止挡部分、底部卡装部分。

技术研发人员：刘维维;华卫群;尤春;顾梦星;刘浩
受保护的技术使用者：无锡中微掩模电子有限公司
技术研发日：2019.11.11
技术公布日：2020.05.05