专利名称：一种掩膜版传递和检查夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型属于传递和检查夹具技术领域，尤其涉及一种掩膜版传递和检 查夹具。
背景技术：
掩膜版是掩膜行业内的一种光罩，它可以将图形转移到晶圆上，由于这种 工艺对掩膜版的表面洁净度和缺陷要求很高，这就给掩膜版的清洗和检查造成 了很大的难度。在一般掩膜版的生产过程中，人手必须接触到掩膜版才可进行
传递，传递时手就会污染掩膜版；同时，掩膜版表面会贴一层保护膜，当掩膜 版在仪器上检查时容易把此保护膜弄破。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种掩膜版传递和检查夹具，旨在解决现有技 术中的掩膜版在传递时易受到手的污染和在4企查时易损坏其表面的保护膜的问 题。
本实用新型是这样实现的， 一种掩膜版传递和检查夹具，其包括一框架、 若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所 述支撑件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一对边中部分别向外设有 一把手，所述把手和框架之间通过连接件连接。
在传递时手握住把手，不会接触到掩膜版，避免了手对掩膜版的污染；掩 膜版在仪器上检查时，在大小塑料销钉的作用下，可以保证掩膜版上的保护膜 不被损坏。
图1是本实用新型实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具的方形框架的
示意图2是本实用新型实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具的支撑件的示 意图3是本实用新型实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具的定位件的示 意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图 及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体 实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参阅图1所示，本实用新型实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具，包 括一方形框架1、若干个支撑件6和定位件7，所述支撑件6可选用小塑料销4丁， 定位件7可选用大塑料销钉。所述方形框架1由硬铝制成，其一对边中部各向 外设有一把手5，所述把手5与方形框架1之间通过连接件连接，比如螺钉； 所述方形框架1的四边中部及四角分别开设有一小孔3和两相同的大孔2，所 述两大孔2对称设于小孔3的两侧，所述小孔3和支撑件6配合，所述大孔2 和定位件7配合，可使支撑件6和定位件7固定在方形框架1上，其中所述支 撑件6的高度小于定位件7的高度；所述支撑件6的用来支撑掩膜版，所述定 位件7用来限定掩膜版的位置和外形尺寸。
在传递时，手握住把手5，不会接触到掩膜版，避免了手对掩膜版的污染； 掩膜版在仪器上检查时，由于掩膜版放置在支撑件6上，而定位件7高于支撑 件6,这样可以保证掩膜版上的保护膜在检查时不祐:损坏。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型， 凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应 包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1、一种掩膜版传递和检查夹具，包括一框架，其特征在于还包括若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所述支撑件的高度小于所述定位件的高度。
2、 如权利要求1所述的一种掩膜版传递和^r查夹具，其特征在于所述支 撑件由开设于框架周边中部及四角的小孔分别固定，所述定位件由分别设置于 所述小孔两侧的大孔固定。
3、 如权利要求2所述的一种掩膜版传递和检查夹具，其特征在于所述框 架的 一对边中部各向外设有一把手，所述把手和框架之间通过连接件连接。
4、 如权利要求3所述的一种掩膜版传递和检查夹具，其特征在于所述框 架为方形，由硬铝制成。
5、 如权利要求1或2所述的一种掩膜版传递和检查夹具，其特征在于所述支撑件为小塑料销钉。
6、 如权利要求1或2所述的一种掩膜版传递和检查夹具，其特征在于所述定位件为大塑料销钉。
专利摘要本实用新型适用于传递和检查夹具技术领域，提供了一种掩膜版传递和检查夹具，其包括一框架、若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所述支撑件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一对边中部分别向外设有一把手，所述把手和框架之间通过连接件连接。在传递时手握住把手，不会接触到掩膜版，避免了手对掩膜版的污染；掩膜版在仪器上检查时，在大小塑料销钉的作用下，可以保证掩膜版上的保护膜不被损坏。
文档编号G03F7/20GK201273985SQ20082014715
公开日2009年7月15日 申请日期2008年9月10日 优先权日2008年9月10日
发明者荆学军 申请人:清溢精密光电(深圳)有限公司