1.一种用于将电磁射束投影到观察场上的微型扫描器(200;300;400),其中,所述微型扫描器(200;300;400)具有:
2.根据权利要求1所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述曲流部(210b)的其中之一具有:直线形的第一曲流支路和第二曲流支路,所述第一曲流支路和所述第二曲流支路分别沿着关于所述微型镜的几何中心点(m)的相应径向方向延伸;以及第三曲流支路,所述第三曲流支路连接所述第一曲流支路和所述第二曲流支路并在此补充所述曲流部(210b)。
3.根据权利要求2所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述第第一曲流支路和所述第二曲流支路分别具有沿关于所述微型镜的中心点(m)的方位角方向确定的结构宽度,所述结构宽度位于最小0.05°和最大5.00°的范围内或者在该范围内伸展。
4.根据权利要求2或3所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述第三曲流支路沿着所述方位角方向被弧形地引导。
5.根据前述权利要求中任一项所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述偏转元件(205)具有弯曲的周向区段,并且所述弹簧区段(210a)沿其纵向延伸至少部分地平行于所述偏转元件(205)的该周向区段的路线被引导。
6.根据权利要求5所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述偏转元件(205)的周边至少在一周向区段中圆弧形地延伸,并且所述弹簧区段(210a)以其纵向方向(210d)沿着至少部分平行于所述偏转元件(205)的该周向区段的圆弧形路线延伸的线被引导。
7.根据前述权利要求中任一项所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述微型扫描器(200;300;400)的以下功能元件中的至少两个是至少成比例地由相同的板形基板制成:所述弹簧装置,所述偏转元件,所述支撑结构。
8.根据前述权利要求中任一项所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述弹簧装置的弹簧(210)的数量为2、3、4、5或6个。
9.根据前述权利要求中任一项所述的微型扫描器(200;300;400),还具有用于直接或间接驱动所述微型扫描器(200;300;400)围绕两个振动轴振荡的驱动装置。
10.根据权利要求9所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述驱动装置具有至少一个带有压电致动器的驱动元件(230),所述压电致动器被布置在所述弹簧(210)的其中一个上以使该弹簧置于振动中。
11.根据权利要求9或10所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述驱动装置被配置为,其能够使所述偏转元件处于相对于所述第一振动轴和所述第二振动轴的双谐振振动中。
12.根据权利要求11所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述驱动装置被配置为,其能够使所述偏转元件处于相对于所述第一振动轴和所述第二振动轴的双谐振振动中,使得两个振动轴中较快的振动轴的振动频率f1与两个振动轴中较慢的振动轴的振动频率f2的频率比适合于:f1/f2=f+v,其中f是自然数,并且失谐v适合于:v=(f1-f2)/f2,其中(f1-f2)<200hz,其中v不是整数。
13.根据前述权利要求中任一项所述的微型扫描器(200;300;400),所述微型扫描器被设计为,使所述偏转元件(205)能够同时围绕两个彼此正交的振动轴(a1,a2)以各自的特定于相应轴的独有谐振频率自由地振动。
14.根据权利要求13所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述第一和第二振荡的谐振频率中较大的谐振频率与这些振荡中较小的谐振频率之比对应于一整数值,或者与最接近的整数值的比率相差最大10%,优选最大5%。
15.根据权利要求13或14所述的微型扫描器(200;300;400),其中,所述弹簧装置具有偶数n个结构相同的弹簧(210),用于将所述偏转元件(205)悬挂在所述支撑结构(215)上,但是所述n个弹簧的整体布置偏离相对于与两个振动轴(a1,a2)正交的对称轴的n重旋转对称而被选择为,使所述弹簧装置的由该n个弹簧(210)整体引起的弹簧刚性和/或所述偏转元件(205)连同所述弹簧(210)一起的振动性布置的有效惯性力矩对于两个振动轴(a1,a2)是不同的。
16.根据权利要求12或13所述的微型扫描器(200;300;400),其中: