辑控制器处理接收到的感应信号并发出信号控制中间继电器与电磁阀断路，与所述电磁阀连接的内置磁环型气缸及无刷直流电机7随之停止下降，此时中间继电器开启无刷直流电机7，无刷直流电机7正反旋转，并通过所述可编程逻辑控制器连接的触摸屏，设置所述无刷直流电机7的正反旋转时间，进行显影定影的搅拌工序。
[0024]按设定时间搅拌完成后，所述可编程逻辑控制器发出指令，中间继电器关闭无刷直流电机7使其停止转动，并与与电磁阀形成通路，此时，所述内置磁环型气缸上升，芯片承载栏8抬离所述显影定影缸，所述可编程逻辑控制器处理接收到所述内置磁环型气缸上升到位的感应信号时发出信号控制中间继电器与电磁阀断路，与所述电磁阀连接的内置磁环型气缸及无刷直流电机7随之停止上升，即完成一次显影或定影操作。
[0025]具体在进行芯片的显影操作时:
首先圆盘复位到初始位置，所有内置磁环型气缸和无刷直流电机7运动到初始位置的始终不动作，此时在初始位置完成第一栏芯片承挂后，不下降进行显影操作，圆盘3转动60度，使承挂好的第一栏芯片移动至第一显影定影缸21上方，此时显影定影缸内盛有显影液，此时除初始位置的内置磁环型气缸和无刷直流电机7不动可又承挂一栏芯片，其余位置的内置磁环型气缸带动芯片承载栏8下降进行显影操作，完成一次显影操作，内置磁环型气缸带动芯片承载栏8上升到位，圆盘3继续转动至下一显影定影缸上方，初始位置再承挂一栏芯片，圆盘3继续转动，之后同样地，在每一次完成显影操作并上升到位后，初始位置均可承挂一栏芯片，在第一栏芯片完成5次显影操作完成并回到初始位置后，第二栏芯片也已完成5次显影操作，第三栏完成4次，其后类推。
[0026]实施例2
本实施例与实施例1区别在于，圆盘3转动角度为120度，用于完成一栏芯片的2次定影，此时显影定影缸内盛有定影液。
[0027]具体实施时，圆盘3停在初始位置，所有内置磁环型气缸和无刷直流电机7运动到初始位置的始终不动作，此时在初始位置完成第一栏芯片承挂后，不下降进行定影操作，圆盘3转动120度，使承挂好的第一栏芯片移动至第二显影定影缸22上方，此时除初始位置的内置磁环型气缸和无刷直流电机7不动再次承挂一栏芯片，其余位置的内置磁环型气缸带动芯片承载栏8下降进行定影操作，完成一次定影操作，内置磁环型气缸带动芯片承载栏8上升到位，圆盘3继续转动至第四显影定影缸24上方，再在初始位置再承挂一栏芯片，其余位置的内置磁环型气缸带动芯片承载栏8下降进行定影操作；完成一次定影操作后，圆盘3继续转动，之后同样地，在每一次完成定影操作并上升到位后，初始位置均可承挂一栏芯片，在第一栏芯片完成2次定影操作完成并回到初始位置后，第二栏芯片也已完成I次定影操作。
[0028]采用上述实施例的方式，使得芯片的生产的速率大幅度提高。
【主权项】
1.一种芯片显影定影装置，包括: 机架(1)，所述机架向上伸出一支撑轴(11); 旋转单元，设置于所述支撑轴(11)顶端并以所述支撑轴(11)为圆心进行旋转； N个升降单元，一端与所述旋转单元连接，另一端连接一芯片承载栏(8)； N个容器，设置于所述机架(I)上，所述容器开口向上且内部盛有显影液或定影液； 控制单元，用于控制所述旋转单元、升降单元的运动；承放于所述芯片承载栏(8)内的芯片通过所述升降单元下降进入所述容器进行显影或定影，完成后上升抬离所述容器； 其中，N为I以上自然数。2.根据权利要求1所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述旋转单元包括圆盘(3)及设置所述圆盘上的驱动电机，所述驱动电机用于驱动所述圆盘(3)进行转动。3.根据权利要求2所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述圆盘(3)上设置有接近开关，用于在芯片显影定影装置复位，在圆盘(3)转到原点时反馈原点信号，使驱动电机停止转动，圆盘(3)停在原点，所述原点为芯片承载栏(8)初始承挂位置。4.根据权利要求3所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述接近开关为光电接近开关(5)。5.根据权利要求1所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述升降单元包括气缸和一端连接所述气缸的搅拌电机，所述搅拌电机另一端连接所述芯片承载栏(8)，所述气缸用于带动所述搅拌电机及芯片承载栏(8)进入或离开所述容器。6.根据权利要求5所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述气缸为内置磁环型气缸(6)。7.根据权利要求6所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述内置磁环型气缸(6)上下两端设置有感应器，用于感应所述气缸的运动位置，并将感应的位置信息传输到所述控制单元。8.根据权利要求7所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述内置磁环型气缸(6)连接有一电磁阀，所述电磁阀连接一继电器，所述继电器还连接所述搅拌电机； 所述继电器接收所述控制单元信号控制电磁阀的通断电以控制所述气缸的运动，还控制所述搅拌电机的开启与关闭； 所述芯片承载栏在气缸带动下进入所述容器后，气缸停止运动，所述继电器开启搅拌电机。9.根据权利要求1和8任一项所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述控制单元包括可编程逻辑控制器和触摸屏。
【专利摘要】本发明公开了一种芯片显影定影装置，包括：机架，所述机架向上伸出一支撑轴；旋转单元，设置于所述支撑轴顶端并以所述支撑轴为圆心进行旋转；N个升降单元，一端与所述旋转单元连接，另一端连接一芯片承载栏；N个容器，设置于所述机架上，所述容器开口向上且内部盛有显影液或定影液；控制单元，用于控制所述旋转单元、升降单元的运动；承放于所述芯片承载栏内的芯片通过所述升降单元下降进入所述容器进行显影或定影，完成后上升抬离所述容器；其中，N为1以上自然数。本发明采用机械半自动化的生产替代原有手工操作，解决了人工操作易疲劳、操作一致性差、易出现芯片漏显的问题，使芯片生产速率明显提高次品率明显降低。
【IPC分类】G03F7/26, G03F7/40
【公开号】CN104977817
【申请号】CN201510487951
【发明人】滕勇, 骆军, 彭应龙
【申请人】乐山无线电股份有限公司
【公开日】2015年10月14日
【申请日】2015年8月10日