，对与第一实施方式的不同点 进行说明，省略对相同的事项的说明。
[0112] 在上述的第一实施方式所涉及的光波导1中，直立面173、174相对于包含芯层13 与被覆层11的界面的平面正交，与此相对，在本实施方式所涉及的光波导1中，这些直立面 173、174成为以相对于上述平面倾斜的方式交叉的倾斜面173'、174'。本实施方式所涉及 的光波导1除了在该点不同以外，与第一实施方式所涉及的光波导1相同。
[0113] 上述的凹部170的内侧面由四个倾斜面构成。即，凹部170的内侧面整体构成为 与基准面的角度（与凹部170侧相反的一侧的角度）成为锐角。上述的凹部170呈所谓的 研钵状，因此比较容易形成。因此，能够容易地形成尺寸精度（倾斜角的精度以及面精度） 高的倾斜面171。
[0114] 即使在上述的第三实施方式中，也能够获得与第一实施方式相同的作用、效果。
[0115] 《第四实施方式》
[0116] 接下来，对本发明的光波导的第四实施方式进行说明。
[0117] 图7是第四实施方式所涉及的光波导的剖视图。
[0118] 以下，对第四实施方式进行说明，但在以下的说明中，对与第一实施方式的不同点 进行说明，省略对相同的事项的说明。
[0119] 图7所示的第四实施方式所涉及的光波导1除了进一步具备层叠于被覆层11的 下表面的支承膜片2以及层叠于被覆层12的上表面的覆盖膜片3以外，与第一实施方式所 涉及的光波导1相同。
[0120] 另外，凹部170构成为贯通覆盖膜片3。因此，倾斜面171成为形成为在从覆盖膜 片3分别经由被覆层12以及芯层13直至被覆层11的中途之间连续的平坦面。
[0121 ]即使在上述的第四实施方式中，也能够获得与第一实施方式相同的作用、效果。
[0122] 另外，根据第四实施方式，倾斜面171也包含覆盖膜片3的剖面，因此具有更宽的 面积。因此，容易以更高的精度形成倾斜面171。即，欲加工的面越宽，越能够容易地提高芯 部14的剖面的加工精度，因此根据第四实施方式，能够特别地提高反射镜的反射效率。
[0123] 此外，不仅上述的开口部175、开口部177、被覆层12与芯层13的界面的凹部170 的开口部以及凹部170的底部，即使在覆盖膜片3与被覆层12的界面的凹部170的开口 部、被覆层11与支承膜片2的界面的凹部170的开口部，与倾斜面171对应的直线线段和 与直立面173对应的弧的连接部的最小曲率半径也分别优选为1~500 μ m左右，更加优选 为3~400 μ m左右，进一步优选为5~350 μ m左右，进一步更加优选为10~100 μ m左右， 最优选为20~40 μm左右。由此，在光波导1中，能够更加可靠地抑制伴随着应力集中的 不良情况的产生。
[0124] 〈光波导的制造方法〉
[0125] 接下来，对本发明的光波导的制造方法进行说明。
[0126] 图1所示的光波导1能够通过具有以下工序的方法而制造，即依次层叠被覆层11、 芯层13以及被覆层12而获得层叠体10的工序以及施加除去层叠体10的一部分的加工从 而形成凹部170的工序。
[0127] 以下，依次对各工序进行说明。
[0128] [1]首先，通过（a)依次成膜而制造用于形成被覆层11的组成物、用于形成芯层 13的组成物以及用于形成被覆层12的组成物的方法，（b)在使用各组成物分别形成被覆层 11、芯层13以及被覆层12后，层叠的方法，（c)同时挤压成形三种组成物而制造层叠体的 方法等，获得芯层形成层或者包含芯层形成层的多层构造。
[0129] 此时，作为用于形成芯层13的组成物，使用具有折射率因曝光而变化的折射率调 制能力的材料，仅对该芯层形成层实施曝光处理，能够获得包含以所希望的图案铺设的芯 部14的芯层13。
[0130] 此外，芯层13的制造方法不限定于上述的方法，例如反复进行成膜工序与组合光 刻技术与蚀刻技术的刻画图案工序，从而能够获得包含以所希望的图案铺设的芯部14的 芯层13。
[0131] [2]接下来，实施除去层叠体10的一部分的加工。由此，形成有凹部170,从而能 够获得光波导1。在凹部170的形成方法中，能够列举各种方法。例如，除了切削加工、磨削 加工之类的机械加工法之外，还能够列举激光加工法、电子束加工法、压印法等。其中，根据 激光加工法，能够比较容易地形成尺寸精度较高的凹部170。以下，以此为代表，对通过激光 加工法形成凹部170的方法进行说明。
[0132] 图8是示意性地表示本发明的光波导的制造所使用的激光加工装置的一个例子 的立体图，图9是图示了使激光加工用掩模相对地移动而形成凹部的样子的俯视图。
[0133] 图8所示的激光加工机（激光加工装置）900具备未图示的激光光源、配置于激光 的光轴上的激光加工用掩模910以及隔着激光加工用掩模910配置于与激光光源相反的一 侧并使层叠体10相对于激光加工用掩模910相对地移动的未图示的驱动工作台。以下，对 激光加工机900的各部的结构进行详述。
[0134] 激光光源与振荡的激光的波长对应地适当选择，但例如能够列举YAG激光器、YVO4 激光器、Yb激光器、半导体激光器那样的各种固体激光器、032激光器、He-Ne激光器、受激 准分子激光器那样的各种气体激光器等。
[0135] 另外，激光的波长与层叠体10的构成材料对应地被适当设定，例如能够形成 150~950nm左右。
[0136] 作为驱动工作台，例如能够使用X-Y工作台、线性促动器等。使载置于驱动工作台 上的层叠体10相对于激光加工用掩模910相对地移动，从而能够使激光的照射区域相对于 层叠体10以任意的图案扫描。由此，能够对层叠体10的任意的位置实施任意时间的激光 照射。
[0137] 若照射激光，则在照射区域产生气化反应，从而产生凹部。因此，扫描照射区域，从 而沿着扫描轨迹连续地形成凹部，最终形成具有与扫描轨迹对应的开口的凹部。
[0138] 此外，可以不使层叠体10相对于固定的激光加工用掩模910移动，而在固定层叠 体10的状态下使激光加工用掩模910移动，也可以使双方均移动。
[0139] 本制造方法所涉及的激光加工用掩模910为板状体，并具备遮挡激光的遮挡部 911以及供激光透过的透过部912。若经由该激光加工用掩模910照射激光，则在透过部 912成形有激光的照射区域，从而能够向与透过部912的俯视形状对应的层叠体10上的区 域选择性地照射激光。
[0140] 接下来，对使用上述的激光加工用掩模910,在层叠体10形成凹部170的方法进行 说明。
[0141] 使用图8所示的激光加工用掩模910,使得透过部912沿着芯部14的长度方向，即 Y方向相对地移动并且照射有激光。图9间歇地示出了上述移动时的透过部912的位置。
[0142] 若透过部912 (激光的照射区域）以图9所示那样的轨迹移动，则与该照射区域的 轨迹对应地形成有图4所示那样的开口部175的凹部170。即，能够容易地形成具有在俯视 时呈椭圆形的开口部175的凹部170。
[0143] 另外，若透过部912 (激光的照射区域）以图9所示那样的轨迹移动，则与此相伴 在Y方向的端部，即移动开始端与移动结束端，形成有累计光量伴随着朝向缘部而逐渐减 少的累计光量分布。因此，在图9所示的轨迹的上端部与下端部形成有图1所示那样的倾 斜面171与倾斜面172。此外，适当地变更此时的透过部912的移动速度，从而能够调整倾 斜面171、172的倾斜角度。
[0144] 另外，针对透过部912中的与开口部177的连接部178对应的部位，如上所述，形 成最小曲率半径1~500 μm的曲线，从而也能够使连接部178满足上述的条件。即，使用 激光加工用掩模910,从而能够高效地形成上述的凹部170。
[0145] 〈电子设备〉
[0146] 上述的本发明所涉及的光波导的传送效率较高，并且与其他的光学部件的光耦合 效率优越。因此，能够获得具备本发明的光波导，从而能够进行高品质的光通信的可靠性高 的电子设备（本发明的电子设备）。
[0147] 作为具备本发明的光波导的电子设备，例如能够列举手机、游戏机、路由装置、WDM 装置、个人计算机、电视、家庭服务器等电子设备类。在这些电子设备中，均需要例如在LSI 等运算装置与RAM等存储装置之间高速地传送大容量的数据。因此，上述的电子设备具备 本发明的光波导，从而能够消除电气配线所特有的噪声、信号劣化等不良情况，从而能够期 待其性能的显著的提高，因此能够有助于电子设备的低成本化。
[0148] 另外，在光波导部分中，发热量与电气配线相比大幅度地减少。因此，能够减少冷 却所需的电力，从而能够减少电子设备整体的消耗电力。
[0149] 以上，对本发明的光波导以及电子设备进行了说明，但本发明不限定于此，例如也 可以在光波导附加有任意的构成物。
[0150] 另外，在将倾斜面使用为光入射侧反射镜的情况下，光出射侧可以使光从芯部14 的端面沿着芯部14的光轴出射，此时，也可以在出射端安装有连接器。另一方面，在将倾斜 面使用为光出射侧反射镜的情况下，光入射侧可以使光从芯部14的端面沿着芯部14的光 轴入射，此时，也可以在入射端安装有连接器。
[0151] 另外，也可以在光波导形成有多个凹部。例如在形成有两个凹部的情况下，能够将 一方的倾斜面使用为光入射侧反射镜，将另一方的倾斜面使用为光出射侧反射镜。
[0152] 另外，凹部的开口部的俯视形状也可以呈图10所示那样的形状。图10是示意性 地表示图4所示的凹部的开口的其他构成例的俯视图。
[0153] 图10(a)所示的凹部170的开口部175呈大致矩形。另外，图10(b)所示的凹部 170的开口部175呈大致梯形。另外，图10(c)所示的凹部170的开口部175呈大致六边 形。连接上述的凹部170的倾斜面171的上端（倾斜面上端171a)与直立面173的上端 (直立面上端173a)的连接部176成为上述那样的曲线。即使在具备上述的形状的凹部的 光波导中，也能够获得与上述的各实施方式所涉及的光波导相同的作用、效果。
[0154] 本实施方式以及本制造方法包含以下的技术思想。
[0155] (1) -种光波导，其具有形成有芯部的芯层、层叠于上述芯层的一面的第一被覆 层、层叠于上述芯层的另一面的第二被覆层以及分别贯通上述第二被覆层以及上述芯层直 至上述第一被覆层的空洞部，
[0156] 上述光波导的特征在于，
[0157] 上述空洞部的内壁面的一部分由相对于包含上述芯层与上述第一被覆层的界面 的平面倾斜且交叉的倾斜面构成，
[0158] 在上述空洞部的内壁面被上述平面剖切后的剖面中，上述倾斜面与同其连续的上 述内壁面其他部分的连接部的最小曲率半径为1~500 μm。
[0159] (2)根据上述（1)所记载的光波导，其特征在于，构成为：
[0160] 上述空洞部设置于上述芯部的中途或者延长线上，
[0161] 上述倾斜面横截上述芯部的光轴或者其延长线。
[0162] (3)根据上述⑴或⑵所记载的光波导，其特征在于，
[0163] 在上述第二被覆层的与上述芯层相反的一侧的面的上述空洞部中以及上述第二 被覆层与上述芯层的界面的上述空洞部中，上述倾斜面与同其连续的上述内壁面的其他部 分的连接部的最小曲率半径分别为1~500 μ m。
[0164] (4)根据上述（1)~（3)中任一项所记载的光波导，其特征在于，构成为：
[0165] 该光波导进一步具有层叠于上述第二被覆层的与上述芯层相反的一侧的面的覆 盖层，
[0166] 上述空洞部仍贯通上述覆盖层。
[0167] (5)根据上述（1)~（4)中任一项所记载的光波导，其特征在于，
[0168] 上述空洞部的内壁面包含上述倾斜面以及与上述平面大致垂直地交叉的直立面。
[0169] (6)根据上述（5)所记载的光波导，其特征在于，构成为：
[0170] 上述空洞部的内壁面包含两个上述倾斜面以及两个上述直立面，
[0171] 上述空洞部构成为在其内壁面被上述平面剖切后的剖面中，上述倾斜面彼此以及 上述直立面彼此分别对置。
[0172] (7)根据上述（5)或（6)所记载的光波导，其特征在于，
[0173] 上述空洞部的上述剖面的上述直立面整体弯曲。
[0174] (8)根据上述（1)~（4)中任一项所记载的光波导，其特征在于，构成为：
[0175]