5 μπι
[0293] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为20 μπι。
[0294] (实施例 2-3)
[0295] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0296] 〈凹部的形状〉
[0297] ?开口部175的示意图 ：图10(a)
[0298] ?连接部178的最小曲率半径r2 :40 μ m
[0299] ?凹部170的Y方向的最大长度：210 μπι
[0300] ?凹部170的X方向的最大长度：125 μπι
[0301] ?凹部170的最大深度 ：65μπι
[0302] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为40 μπι。
[0303] (实施例 2-4)
[0304] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0305] 〈凹部的形状〉
[0306] ?开口部175的示意图 ：图10(a)
[0307] ?连接部178的最小曲率半径r2 :100 μ m
[0308] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：900 μπι
[0309] ?凹部170的X方向的最大长度 ：200 μπι
[0310] ?凹部170的最大深度 ：65μπι
[0311] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为100 μπι。
[0312] (实施例 3-1)
[0313] 在形成凹部的工序中，除了通过切削加工以及磨削加工形成以下的形状的凹部以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0314] 〈凹部的形状〉
[0315] ?开口部175的示意图 ：图4
[0316] ?连接部178的最小曲率半径r2 :40 μ m
[0317] ?连接部176的最小曲率半径Γι :80 μ m
[0318] ?被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开口部的连接部的最小曲率半径： 80 μ m
[0319] ?凹部170的底部的连接部最小曲率半径：40 μ m
[0320] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径45 μm)
[0321] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0322] ?凹部170的X方向的最大长度 ：160μπι
[0323] ?凹部170的最大深度 ：65 μπι
[0324] (实施例 3-2)
[0325] 在形成凹部的工序中，除了通过切削加工以及磨削加工形成以下的形状的凹部以 及将芯部之间的距离P设为500 μπι以外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0326] 〈凹部的形状〉
[0327] ?开口部175的示意图 ：图4
[0328] ?连接部178的最小曲率半径r2 :300 μπι
[0329] ?连接部176的最小曲率半径ri :475 μ m
[0330] ?被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开口部的连接部的最小曲率半径： 475 μ m
[0331] ?凹部170的底部的连接部最小曲率半径：300 μπι
[0332] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径300 μπι)
[0333] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0334] ?凹部170的X方向的最大长度 ：950 μπι
[0335] ?凹部170的最大深度 ：65μπι
[0336] (实施例4)
[0337] 在本实施例中，除了在芯部的延长线上的侧面被覆部形成凹部以及变更激光加工 用掩模的形状，将形成的凹部的形状变更成以下的形状以外，与实施例1-1相同地获得光 波导。
[0338] 〈凹部的形状〉
[0339] ?开口部175的示意图 ：图4
[0340] ?连接部178的最小曲率半径r2 :20 μπι
[0341] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径20 μπι)
[0342] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0343] ?凹部170的X方向的最大长度 ：115 μπι
[0344] ?凹部170的最大深度 ：65μπι
[0345] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为20 μπι。
[0346] (实施例 5-1)
[0347] 在本实施例中，除了在被与被覆层12的上表面正交且与芯部14的长度方向平行 的平面剖切后，凹部的剖面形状成为以底部为顶点的三角形的形状以及变更激光加工用掩 模的形状，将形成的凹部的形状变更成以下的形状以外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0348] 〈凹部的形状〉
[0349] ?开口部175的示意图 ：图4
[0350] ?连接部178的最小曲率半径r2 :20 μ m
[0351] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径40 μm)
[0352] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0353] ?凹部170的X方向的最大长度 ：115μπι
[0354] ?凹部170的最大深度 ：65μπι
[0355] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为20 μπι。
[0356] (实施例 5-2)
[0357] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例5-1相同地获得光波导。
[0358] 〈凹部的形状〉
[0359] ?开口部175的示意图 ：图4
[0360] ?连接部178的最小曲率半径r2 :100 μ m
[0361] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径150 μm)
[0362] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0363] ?凹部170的X方向的最大长度 ：200 μπι
[0364] ?凹部170的最大深度 ：65 μπι
[0365] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为100 μπι。
[0366] (实施例 6-1)
[0367] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0368] 〈凹部的形状〉
[0369] ?开口部175的示意图 ：图10(b)
[0370] ?形成锐角的连接部178的最小曲率半径r2' ：0. 5 μ m
[0371] ?形成钝角的连接部178的最小曲率半径r2" ：15. 4 μπι
[0372] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径14. 2 μπι)
[0373] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：80μπι
[0374] ?凹部170的X方向的最大长度 ：105 μπι
[0375] ?凹部170的最大深度 ：60μπι
[0376] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径与对应的连接部178 - 致。
[0377] (实施例 6_2)
[0378] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0379] 〈凹部的形状〉
[0380] ?开口部175的示意图 ：图10(b)
[0381] ?形成锐角的连接部178的最小曲率半径r2' ：1. 5μπι
[0382] ?形成钝角的连接部178的最小曲率半径r2" ：45. 3 μ m
[0383] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径50. 46 μ m)
[0384] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：80μπι
[0385] ?凹部170的X方向的最大长度 ：135μπι
[0386] ?凹部170的最大深度 ：60μπι
[0387] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径与对应的连接部178 - 致。
[0388] (实施例 6_3)
[0389] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0390] 〈凹部的形状〉
[0391] ?开口部175的示意图 ：图10(b)
[0392] ?形成锐角的连接部178的最小曲率半径r2' ：3. 3μπι
[0393] ?形成钝角的连接部178的最小曲率半径r2" ：8. 5 μ m
[0394] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径4. 3 μm)
[0395] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：140μπι
[0396] ?凹部170的X方向的最大长度 ：160μπι
[0397] ?凹部170的最大深度 ：60 μπι
[0398] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径均与对应的连接部178 一致。
[0399] (实施例 6_4)
[0400] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0401] 〈凹部的形状〉
[0402] ?开口部175的示意图 ：图10(b)
[0403] ?形成锐角的连接部178的最小曲率半径r2' :4. 2 μπι
[0404] ?形成钝角的连接部178的最小曲率半径r2" ： 10. 3 μ m
[0405] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径4. 3 μπι)
[0406] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：140 μπι
[0407] ?凹部170的X方向的最大长度 ：160 μπι
[0408] ?凹部170的最大深度 ：60μπι
[0409] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径与对应的连接部178 - 致。
[0410] (实施例 6-5)
[0411] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0412] 〈凹部的形状〉
[0413] ?开口部175的示意图 ：图10(b)
[0414] ?形成锐角的连接部178的最小曲率半径r2' ：6. 2μπι
[0415] ?形成钝角的连接部178的最小曲率半径r2" :19. 1 μπι
[0416] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径4. 3 μπι)
[0417] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：140 μπι
[0418] ?凹部170的X方向的最大长度 ：160 μπι
[0419] ?凹部170的最大深度 ：60μπι
[0420] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的