连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径均与对应的连接部178 一致。
[0421] (实施例 6-6)
[0422] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0423] 〈凹部的形状〉
[0424] ?开口部175的示意图 ：图10(b)
[0425] ?形成锐角的连接部178的最小曲率半径r2' ： 16. 0 μ m
[0426] ?形成钝角的连接部178的最小曲率半径r2" :35. 0 μπι
[0427] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径4. 3 μπι)
[0428] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：140 μπι
[0429] ?凹部170的X方向的最大长度 ：160 μπι
[0430] ?凹部170的最大深度 ：60 μπι
[0431] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径均与对应的连接部178 一致。
[0432] (实施例 6-7)
[0433] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0434] 〈凹部的形状〉
[0435] ?开口部175的示意图 ：图10(b)
[0436] ?形成锐角的连接部178的最小曲率半径r2' ： 18. 9 μ m
[0437] ?形成钝角的连接部178的最小曲率半径r2" :40. 6 μπι
[0438] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径4. 3 μπι)
[0439] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：140 μπι
[0440] ?凹部170的X方向的最大长度 ：160 μπι
[0441] ?凹部170的最大深度 ：60 μπι
[0442] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径与对应的连接部178 - 致。
[0443] (实施例 6-8)
[0444] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0445] 〈凹部的形状〉
[0446] ?开口部175的示意图 ：图10(b)
[0447] ?形成锐角的连接部178的最小曲率半径r2' ：43. 0 μ m
[0448] ?形成钝角的连接部178的最小曲率半径r2" ： 147. 0 μ m
[0449] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径4. 3 μm)
[0450] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：140μπι
[0451] ?凹部170的X方向的最大长度 ：160μπι
[0452] ?凹部170的最大深度 ：60μπι
[0453] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径均与对应的连接部178 一致。
[0454] (比较例1)
[0455] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0456] 〈凹部的形状〉
[0457] ?开口部175的简要形状 ：图4
[0458] ?连接部178的最小曲率半径r2 :0. 5 μ m
[0459] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径3. 13 μm)
[0460] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0461] ?凹部170的X方向的最大长度 ：510μπι
[0462] ?凹部170的最大深度 ：65 μπι
[0463] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径均为0. 5 μπι。
[0464] (比较例2)
[0465] 除了将芯部之间的距离P设为500 μπι以外，与比较例1相同地获得光波导。
[0466] (比较例3)
[0467] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0468] 〈凹部的形状〉
[0469] ?开口部175的简要形状 ：图4
[0470] ?连接部178的最小曲率半径r2 :510 μπι
[0471] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径510 μπι)
[0472] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0473] ?凹部170的X方向的最大长度 ：520 μπι
[0474] ?凹部170的最大深度 ：65μπι
[0475] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为510 μπι。
[0476] (比较例4)
[0477] 除了将芯部之间的距离P设为500 μπι以外，与比较例3相同地获得光波导。
[0478] 2.光波导的评价
[0479] 针对在各实施例以及各比较例中获得的光波导，用于温度循环试验，比较试验前 与试验后的传送特性，从而评价了耐久性。此外，温度循环试验的试验条件如下所示。
[0480] 〈温度循环试验的试验条件〉
[0481] ?温度 ：-40 ~125 Γ
[0482] ?循环数 ：500循环（高温、低温各30分钟）
[0483] ?评价特性：插入损失
[0484] 评价的结果不于表1、表2、表3。此外，在表1、表2、表3中，所谓不意图表不开口 部175的示意图，所谓r 2表示连接部178的最小曲率半径，所谓r i表示连接部176的最小 曲率半径，所谓r3表示被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开口部的连接部的最小曲 率半径，所谓4表示凹部170的底部的连接部最小曲率半径，所谓缘轮廓表示开口部175的 缘部的轮廓形状，所谓弧的曲率半径表示开口部175的缘部的弧的曲率半径，所谓Y表示凹 部170的Y方向的最大长度，所谓X表示凹部170的X方向的最大长度，所谓深度表示凹部 170的最大深度，所谓P表示芯部之间的距离P。另外，所谓r 2'表示在大致梯形中形成锐 角的连接部178的最小曲率半径，r2"表示在大致梯形中形成钝角的连接部178的最小曲率 半径。
[0485] 【表1】
[0491] 此外，也以与实施例1-1、1-2、1-3以及2-4相同的条件，对如图7所示那样具备支 承膜片2以及覆盖膜片3的光波导1-Γ、1-2'、1-3'以及2-4进行了相同的评价。此时，贯 通覆盖膜片3的凹部的开口部的连接部的最小曲率半径与各连接部178的最小曲率半径r2 相同。其结果示于表4。
[0492] 【表4】
[0493]
[0494] 评价的结果，在各实施例中获得的光波导中，在温度循环试验的试验前后，在插入 损失的值不存在变化。
[0495] 与此相对，在比较例1~4中获得的光波导中，在温度循环试验后，插入损失增加 较大。在计算变化量后，达到试验前的测定值的20~100%。针对试验后的光波导沿厚度 方向剖切凹部，在观察剖面后，认为在被覆层与芯层的界面产生剥离。
[0496] 据此，认为根据本发明的光波导，即使用于温度循环试验也能够抑制传送特性、反 射特性的降低，从而能够进行高品质的光通信。
[0497] 【工业上的利用可能性】
[0498] 根据本发明，能够获得传送特性的降低被抑制从而进行高品质的光通信的光波 导。另外，根据本发明，能够获得具备上述的光波导的可靠性较高的电子设备。
[0499] 因此，本发明能够优选利用于光波导以及电子设备，从而在工业上极其重要。
[0500] 【符号说明】
[0501] 1…光波导；2…支承膜片；3…覆盖膜片；10···层叠体；11…被覆层；12···被覆 层；13···芯层；14···芯部；15···侧面被覆部；170…凹部；171…倾斜面；171a···倾斜面上端； 171a'…左侧的终端；171a"…右侧的终端；171b…直线线段；171b'…左侧的终端；171b"··· 右侧的终端；172…倾斜面；172a···倾斜面上端；172a'…左侧的终端；172a"…右侧的终端； 172b…直线线段；172b'…左侧的终端；172b"…右侧的终端；173…直立面；173'…倾斜面； 173a…直立面上端；173b…弧；174…直立面；174'…倾斜面；174a…直立面上端；174b..· 弧；175…开口部；176…连接部；177…开口部；178…连接部；900…激光加工机；910…激 光加工用掩模；911…遮挡部；912…透过部；L···激光器；rl、r2…曲率半径。
【主权项】
1. 一种光波导，其具有形成有芯部的芯层、层叠于所述芯层的一面的第一被覆层、层叠 于所述芯层的另一面的第二被覆层以及分别贯通所述第二被覆层以及所述芯层直至所述 第一被覆层的空洞部， 所述光波导的特征在于， 所述空洞部的内壁面的一部分由相对于包含所述芯层与所述第一被覆层的界面的平 面倾斜且交叉的倾斜面构成， 在所述平面中，所述倾斜面与所述内壁面的、同所述倾斜面连续的其他部分的连接部 的最小曲率半径为1~500 Ii m。2. 根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，构成为： 所述空洞部设置于所述芯部或者所述芯部的长度方向的延长线上， 所述倾斜面横截所述芯部的光轴或者其延长线。3. 根据权利要求1或2所述的光波导，其特征在于， 在所述第二被覆层中的与所述芯层相反的一侧的面的所述空洞部中，所述倾斜面与所 述内壁面的、同所述倾斜面连续的其他部分的连接部的最小曲率半径为1~500 ym。4. 根据权利要求1~3中任一项所述的光波导，其特征在于， 在所述第二被覆层与所述芯层的界面的所述空洞部中，所述倾斜面与所述内壁面的、 同所述倾斜面连续的其他部分的连接部的最小曲率半径为1~500 ym。5. 根据权利要求1~4中任一项所述的光波导，其特征在于， 具有层叠于所述第二被覆层的与所述芯层相反的一侧的面的覆盖层。6. 根据权利要求1~5中任一项所述的光波导，其特征在于， 所述空洞部的内壁面包含相对于所述平面以锐角侧的角度为60~90°的角度交叉的 直立面。7. 根据权利要求1~6中任一项所述的光波导，其特征在于， 所述倾斜面相对于所述平面以20~90°的角度交叉。8. 根据权利要求6或7所述的光波导，其特征在于，构成为： 所述空洞部的内壁面包含两个所述倾斜面以及两个所述直立面， 所述空洞部在其内壁面被所述平面剖切后的剖面中，所述倾斜面彼此以及所述直立面 彼此分别对置。9. 根据权利要求6~8中任一项所述的光波导，其特征在于， 所述直立面沿光波导的长度方向弯曲。10. 根据权利要求1~5中任一项所述的光波导，其特征在于，构成为： 所述空洞部的内壁面与所述平面之间的角度亦即与所述空洞部侧相反的一侧的角度 成为锐角。11. 一种电子设备，其特征在于， 具备权利要求1~10中任一项所述的光波导。
【专利摘要】本发明提供一种光波导，其具有形成有芯部的芯层、层叠于上述芯层的一面的第一被覆层、层叠于上述芯层的另一面的第二被覆层以及分别贯通上述第二被覆层以及上述芯层直至上述第一被覆层的空洞部，上述光波导的特征在于，上述空洞部的内壁面的一部分由相对于包含上述芯层与上述第一被覆层的界面的平面倾斜且交叉的倾斜面构成，在上述平面中，上述倾斜面与上述内壁面的、同上述倾斜面连续的其他部分的连接部的最小曲率半径为1～500μm。
【IPC分类】G02B6/122
【公开号】CN105051581
【申请号】CN201480017773
【发明人】久保田匠
【申请人】住友电木株式会社
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2014年3月24日
【公告号】WO2014157039A1