上述空洞部的内壁面整体与上述平面之间的角度亦即与上述空洞部侧相反的一 侧的角度成为锐角。
[0176] (9) 一种电子设备，其特征在于，
[0177] 具备上述（1)~（8)中任一项所记载的光波导。
[0178] 【实施例】
[0179] 接下来，对本发明的具体的实施例进行说明。
[0180] 1.附带凹部的光波导的制造
[0181] (实施例 1-1)
[0182] (1)被覆层形成用树脂组成物的制造
[0183] 对大赛璐化学工业（株）制的脂环式环氧树脂、CELL0XIDE2081 20g、（株）ADEKA 制的阳离子聚合引发剂、ADEKA Optomer SP-170 0.6g以及甲基异丁基甲酮80g进行搅拌 混合而调制了溶液。
[0184] 接下来，利用0. 2 μπι孔径的PTFE过滤器对所获得的溶液进行过滤，获得清洁且无 色透明的被覆层形成用树脂组成物。
[0185] (2)感光性树脂组成物的制造
[0186] 将作为环氧类聚合物的新日铁化学（株）制的苯氧基树脂、YP-50S 20g、作为光聚 合性单体的大赛璐化学工业（株）制的CELL0XIDE2021P 5g以及作为聚合引发剂的（株） ADEKA制的ADEKA Optomer SP-170 0.2g投入甲基异丁基甲酮80g中，搅拌溶解而调制了溶 液。
[0187] 接下来，利用0. 2 μπι孔径的PTFE过滤器对所获得的溶液进行过滤，获得清洁且无 色透明的感光性树脂组成物。
[0188] (3)下侧被覆层的制作
[0189] 在通过刮刀将被覆层形成用树脂组成物均匀地涂覆于厚度25 μπι的聚酰亚胺薄 膜上后，投入50°C的干燥机10分钟。在完全除去溶剂后，通过UV曝光机向整个面照射紫外 线，使涂覆的树脂组成物固化。由此，获得厚度IOym的无色透明的下侧被覆层。此外，紫 外线的累计光量形成500mJ/cm 2。
[0190] (4)芯层的制作
[0191] 当在制作的下侧被覆层上通过刮刀均匀地涂覆感光性树脂组成物后，投入40°C的 干燥机5分钟。在完全地除去溶剂而形成被膜后，向所获得的被膜上以描绘反复交替直线、 空白的直线图案的方式通过无掩模曝光装置照射紫外线。芯部的宽度W形成50 μ m，芯部之 间的距离P形成250 μπι。此外，所谓芯部之间的距离P是指芯部的中心线之间的距离。所 谓芯部的中心线是指通过芯部的中心且与芯部的长度方向平行的直线。此外，紫外线的累 计光量形成l〇〇〇mJ/cm2。
[0192] 接下来，将曝光后的被膜投入150°C的烘箱内30分钟。能够确认若从烘箱取出，则 在被膜呈现鲜明的波导路图案。此外，所获得的芯层的厚度为50 μπι。
[0193] (5)上侧被覆层的制作
[0194] 在制作的芯层上与（3)相同地涂覆被覆层形成用树脂组成物，获得厚度10 μπι的 无色透明的上侧被覆层。
[0195] (6)凹部的形成
[0196] 接下来，通过激光加工在芯部隔开IOcm的间隔形成两个凹部，将这些凹部分别设 为光入射侧反射镜、光出射侧反射镜。凹部相对于所有的芯部相同地制作。形成的凹部的 形状如下述所示。另外，凹部构成为作为其开放端的开口部175的形状与被包含芯层13与 被覆层11的界面的平面剖切后的开口部177的形状成为类似关系。
[0197] 〈凹部的形状〉
[0198] ?开口部175的示意图 ：图4
[0199] ?连接部178的最小曲率半径r2 ：5μπι
[0200] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径125 μπι)
[0201] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0202] ?凹部170的X方向的最大长度 ：105 μπι
[0203] ?凹部170的最大深度 ：65 μπι
[0204] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为5 μπι。
[0205] 此外，所谓连接部是位于与倾斜面171对应的直线线段和与直立面173对应的弧 之间的部分。
[0206] (实施例 1-2)
[0207] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0208] 〈凹部的形状〉
[0209] ?开口部175的示意图 ：图4
[0210] ?连接部178的最小曲率半径r2 :20 μπι
[0211] ?开口部175的缘部的轮廓形状 ：弧状（弧的曲率半径66. 25 μπι)
[0212] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0213] ?凹部170的X方向的最大长度 ：115 μπι
[0214] ?凹部170的最大深度 ：65μπι
[0215] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为20 μπι。
[0216] (实施例 1-3)
[0217] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0218] 〈凹部的形状〉
[0219] ?开口部175的示意图 ：图4
[0220] ?连接部178的最小曲率半径r2 :40 μ m
[0221] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径48. 33 μm)
[0222] ?凹部170的Y方向的最大长度：210 μ m
[0223] ?凹部170的X方向的最大长度：125 μ m
[0224] ?凹部170的最大深度 ：65 μπι
[0225] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为40 μπι。
[0226] (实施例 1-4)
[0227] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0228] 〈凹部的形状〉
[0229] ?开口部175的示意图 ：图4
[0230] ?连接部178的最小曲率半径r2 :1 μ m
[0231] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径6. 33 μπι)
[0232] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0233] ?凹部170的X方向的最大长度 ：105 μπι
[0234] ?凹部170的最大深度 ：65 μπι
[0235] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为1 μπι。
[0236] (实施例 1-5)
[0237] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0238] 〈凹部的形状〉
[0239] ?开口部175的示意图 ：图4
[0240] ?连接部178的最小曲率半径r2 :100 μ m
[0241] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径120 μπι)
[0242] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0243] ?凹部170的X方向的最大长度 ：200 μπι
[0244] ?凹部170的最大深度 ：65 μπι
[0245] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为100 μπι。
[0246] (实施例 1-6)
[0247] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以及 将芯部之间的距离P设为500 μπι以外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0248] 〈凹部的形状〉
[0249] ?开口部175的示意图 ：图4
[0250] ?连接部178的最小曲率半径r2 :300 μπι
[0251] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径340 μπι)
[0252] ?凹部170的Y方向的最大长度：210 μ m
[0253] ?凹部170的X方向的最大长度：640 μ m
[0254] ?凹部170的最大深度：65μπι
[0255] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为300 μπι。
[0256] (实施例 1-7)
[0257] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以及 将芯部之间的距离P设为500 μ m以外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0258] 〈凹部的形状〉
[0259] ?开口部175的示意图 ：图4
[0260] ?连接部178的最小曲率半径r2 :450 μ m
[0261] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径580 μm)
[0262] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0263] ?凹部170的X方向的最大长度 ：900 μπι
[0264] ?凹部170的最大深度 ：65 μπι
[0265] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为450 μπι。
[0266] (实施例 1-8)
[0267] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0268] 〈凹部的形状〉
[0269] ?开口部175的示意图：图4
[0270] ?连接部178的最小曲率半径r2 :100 μ m
[0271] ?开口部175的缘部的轮廓形状：弧状（弧的曲率半径120 μπι)
[0272] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：900 μπι
[0273] ?凹部170的X方向的最大长度 ：200 μπι
[0274] ?凹部170的最大深度 ：65μπι
[0275] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为100 μπι。
[0276] (实施例 2-1)
[0277] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0278] 〈凹部的形状〉
[0279] ?开口部175的示意图 ：图10(a)
[0280] ?连接部178的最小曲率半径r2 ：5μπι
[0281] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0282] ?凹部170的X方向的最大长度 ：125 μπι
[0283] ?凹部170的最大深度 ：65 μπι
[0284] 此外，针对开口部175的连接部176、被覆层12与芯层13的界面的凹部170的开 口部的连接部以及凹部170的底部的连接部，它们的最小曲率半径为5 μπι。
[0285] (实施例 2-2)
[0286] 除了变更激光加工用掩模的形状，而将形成的凹部的形状变更成以下的形状以 外，与实施例1-1相同地获得光波导。
[0287] 〈凹部的形状〉
[0288] ?开口部175的示意图 ：图10(a)
[0289] ?连接部178的最小曲率半径r2 :20 μ m
[0290] ?凹部170的Y方向的最大长度 ：210μπι
[0291] ?凹部170的X方向的最大长度 ：125μπι
[0292] ?凹部170的最大深度 ：6