光照射装置以及光照射方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光照射装置以及光照射方法，尤其涉及具备能够在相同轴上往复移动的两个工件工作台，并对该工件工作台上的工件交替地照射光的光照射装置以及光照射方法。
【背景技术】
[0002]近年来，关于以液晶面板为首的液晶显示元件的取向膜、视场角补偿薄膜的取向层等的取向处理，采用通过照射规定的波长的偏振光来进行取向的、被称为光取向的技术。
[0003]在光取向中使用的光照射装置具备:具有与光照射区域的宽度相当的长度的棒状的光源；以及使来自该光源的光偏振的偏振元件，对沿与光源的长边方向正交的方向被搬运的工件照射偏振光。
[0004]作为这样的光照射装置，例如存在专利文献I所记载的技术。该技术采用双工作台方式，具备:能够在设定于照射区域的一侧的第一工件搭载位置与照射区域之间往复移动的第一工作台；以及能够在设定于照射区域的另一侧的第二工件搭载位置与照射区域之间往复移动的第二工作台。而且，通过使第一工作台和第二工作台交替地朝照射区域移动，并对工作台上的工件照射光，由此，与仅具备一方的工作台的情况相比较生产间隔时间减少。
[0005]专利文献1:日本特开2014 - 174352号公报
[0006]在上述专利文献I所记载的技术中，为了实现进一步的生产间隔时间的缩短的目的，也可以形成为:与一方的工作台的归路移动(从照射区域朝工件搭载位置返回的移动)相连续，开始另一方的工作台的去路移动(从工件搭载位置朝向照射区域的移动)。
[0007]然而，各工作台在照射区域内移动的期间(照射偏振光的期间)、和在照射区域外移动的期间工作台的移动速度不同。具体而言，各工作台当在照射区域外移动而仅进行工件的搬运的情况下，能够高速移动，但当在照射区域内移动的期间，存在为了获得规定的曝光量而低速移动的情况。
[0008]因此，仅仅使一方的工作台的归路移动开始的定时与另一方的工作台的去路移动开始的定时同步的话，存在因上述的移动速度差而在工作台之间产生干涉的顾虑。
【发明内容】
[0009]因此，本发明的课题在于，在双工作台方式中，提供一种工作台彼此不会干涉而能够高效地进行光照射处理的光照射装置以及光照射方法。
[0010]为了解决上述课题，本发明所涉及的光照射装置的一个方式为一种光照射装置，对通过预先设定的照射区域的工件照射光，其中，具备:第一工作台，载置第一工件，且能够在通过上述照射区域的搬运轴上将从设定于上述照射区域的一侧的第一待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往复移动；第二工作台，载置第二工件，且能够在通过上述照射区域的搬运轴上将从设定于上述照射区域的另一侧的第二待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往复移动；以及控制部，对上述第一工作台以及上述第二工作台的移动独立地进行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通过上述照射区域，上述控制部以下述方式进行控制:上述第一工作台以及上述第二工作台在上述照射区域内以第一移动速度移动，在上述照射区域外的归路以比上述第一移动速度高速的第二移动速度移动，在上述照射区域外的去路，当工作台间距离比预先设定的最接近距离长时以上述第二移动速度移动、当上述工作台间距离为上述最接近距离以下时以上述第一移动速度移动，并且以下述方式进行控制:在上述第一工作台以及上述第二工作台中的、处于归路移动中的一方的工作台至少处于上述照射区域的期间之前，另一方的工作台开始进行去路移动。
[0011]这样，采用具备载置工件的两个工作台，且对各工件交替地照射光的所谓双工作台方式。由此，在朝一方的工作台照射光的期间，能够进行另一方的工作台的工件更换作业等。因此，与工作台仅为一个的情况相比较能够减少生产间隔时间，能够提高生产率。并且，由于使在照射区域外进行去路移动的工作台以使得工作台间距离不会低于最接近距离的移动速度移动，因此，即便当在第一工作台与第二工作台之间存在移动速度差的情况下，也能够以不会发生工作台之间的干涉且能够高效地进行光照射处理的方式使工作台移动。
[0012]并且，由于直至不发生工作台之间的干涉的位置为止以以较高的速度进行去路移动，之后使其追随先行移动的工作台，因此能够避免工作台之间的干涉并且能够使其尽早到达照射区域。因此，能够在对一方的工件进行光照射处理后立刻对另一方的工件进行光照射处理，能够实现生产间隔时间的进一步缩短。
[0013]此外，在上述的光照射装置中，也可以形成为，当上述第一工作台以及上述第二工作台中的一方的工作台在上述照射区域外正进行去路移动、且另一方的工作台正进行归路移动时，上述控制部使上述一方的工作台追随上述另一方的工作台而移动。
[0014]这样，由于使在照射区域外进行去路移动的工作台以与另一方的工作台相同的移动速度移动，因此，即便当在第一工作台与第二工作台之间存在移动速度差的情况下，也能够可靠地防止工作台之间的干涉。
[0015]并且，在上述的光照射装置中，也可以形成为，上述控制部以下述方式进行控制:当上述第一工作台以及上述第二工作台中的一方的工作台在上述照射区域外正进行去路移动、且另一方的工作台正进行归路移动时，当上述另一方的工作台的归路移动方向上的后端部位置相比上述照射区域的靠上述一方的工作台的待机位置侧的端部位置而位于上述另一方的工作台的待机位置侧时，使上述一方的工作台以上述第二移动速度移动直至到上述端部位置为止。
[0016]由此，若先行移动的工作台完全进入照射区域内，则在照射区域外进行去路移动的工作台与工作台间距离无关而直至照射区域的入口为止都能够以较高的速度移动。因此，也能够形成为对两个工件中的至少一方的工件始终进行光照射处理的状态，能够实现进一步的生产间隔时间的缩短。
[0017]此外，在上述的光照射装置中，也可以形成为，当上述第一工作台以及上述第二工作台中的一方的工作台正进行去路移动的期间，上述控制部禁止另一方的工作台的去路移动。
[0018]由此，能够在一方的工作台开始进行归路移动后再开始另一方的工作台的去路移动，能够避免两个工作台均进行去路移动的状况。因此，能够可靠地避免工作台彼此的干涉。
[0019]并且，在上述的光照射装置中，也可以形成为，当上述第一工作台以及上述第二工作台中的一方的工作台正进行去路移动的期间，上述控制部使上述另一方的工作台开始朝向目标停止位置进行去路移动，其中，上述目标停止位置设定于相对于上述一方的工作台的从去路移动朝归路移动切换的折返位置而靠另一方的工作台的待机位置侧上述最接近距离的位置，当上述另一方的工作台到达上述目标停止位置时，当上述一方的工作台正进行去路移动时，直至上述一方的工作台开始进行归路移动为止，使上述另一方的工作台在上述目标停止位置停止。
[0020]这样，当一方的工作台正进行去路移动时，开始另一方的工作台的去路移动，因此能够更高效地进行针对两个工件的光照射处理。
[0021]此外，在上述的光照射装置中，也可以形成为，还具备旋转控制部，该旋转控制部独立地控制上述第一工作台以及上述第二工作台绕相对于工作台面正交的轴的旋转，使该工作台的姿态成为光照射时的姿态，当上述第一工作台以及上述第二工作台在从各自的待机位置直至到达上述照射区域前的旋转允许位置为止的区间正进行去路移动的期间，上述旋转控制部对上述旋转进行控制。
[0022]通过像这样具备旋转控制部，例如在对工件照射偏振光的情况下，能够将工件的方向相对于偏振光的偏振光轴设置成规定的方向而进行光照射处理。并且，通过在去路移动中进行工作台的旋转控制，能够抑制生产间隔时间变长。
[0023]并且，在上述的光照射装置中，也可以形成为，当未由上述旋转控制部控制的非旋转控制对象的工作台正进行去路移动时，上述旋转允许位置设定于相比该非旋转控制对象的工作台从去路移动朝归路移动切换的折返位置而靠旋转控制对象的待机位置侧上述最接近距离的位置，当上述非旋转控制对象的工作台正进行归路移动时，上述旋转允许位置设定于相比该非旋转控制对象的工作台的位置靠上述旋转控制对象的待机位置侧上述最接近距离的位置。
[0024]由此，能够在避免工作台间的干涉的同时进行去路移动中的旋转控制。
[0025]并且，在上述的光照射装置中，也可以形成为，上述工作台间距离是上述第一工作台的去路移动方向上的前端位置与上述第二工作台的去路移动方向上的前端位置之间的沿上述搬运轴方向的距离。
[0026]这样，由于各工作台的去路移动方向上的前端位置彼此的距离设为工作台间距离，因此，即便当各工作台的形状或绕与工作台面正交的轴的旋转角度等产生差异的情况下，也能够进行避免了工作台间的干涉的工作台移动控制。
[0027]此外，在上述的光照射装置中，上述光可以是偏振光。这样，也能够应用于对工件照射偏振光而进行光取向处理的偏振光照射装置。
[0028]并且，在上述的光照射装置中，可以对上述第一工件以及上述第二工件，在去路移动和归路移动这双方照射上述光。由此，能够不浪费能量地进行光照射处理。
[0029]此外，本发明所涉及的光照射方法的一个方式涉及对通过预先设定的照射区域的工件照射光的光照射方法，其中，对第一工作台和第二工作台独立地进行控制以便第一工件和第二工件交替地通过上述照射区域，其中，上述第一工作台载置上述第一工件，且能够在通过上述照射区域的搬运轴上将从设定于上述照射区域的一侧的第一待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往复移动，上述第二工作台载置上述第二工件，且能够在通过上