透明导电电极的修补装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种透明导电电极的修补装置。
【背景技术】
[0002]目前，液晶显示面板及触摸屏一般都具有透明导电电极。在光刻过程中，由于工艺条件、工艺环境及工艺材料等原因，会造成透明导电电极的缺陷。一般表现为透明导电电极的膜缺损。对于此类缺陷，现有技术中不存在对缺损的透明导电电极进行精确修补的装置。而对于带有缺陷的透明导电电极只能做降等处理或者报废处理，降低了液晶显示面板的良品率的同时，造成了材料的浪费。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是:现有技术中不存在对缺损的透明导电电极进行精确修补的装置，降低了液晶显示面板的良品率。
[0004]为了解决上述技术问题，本发明提供了一种透明导电电极的修补装置。该修补装置包括:
[0005]电极溅射机构；以及
[0006]挡板机构，设置在所述电极溅射机构与设有待修补电极的基板之间，通过形成横截面积可调、位置可移动的通道(A)，来调节所述电极溅射机构输出的电极粒子在所述基板上的覆盖面积和覆盖位置。
[0007]优选的是，所述挡板机构包括:
[0008]控制器；
[0009]第一挡板部和第二挡板部，所述第一挡板部和所述第二挡板部围成所述通道(A)，且所述通道(A)的横截面积和位置通过各挡板部的移动而改变；
[0010]第一移动部，用于在所述控制器的控制下，根据所述待修补电极的位置和面积驱动所述第一挡板部沿X轴方向移动；以及
[0011]第二移动部，用于在所述控制器的控制下，根据所述待修补电极的位置和面积驱动所述第二挡板部沿Y轴方向移动。
[0012]优选的是，所述第一挡板部包括沿X轴方向并排布设的第一子挡板和第二子挡板；所述第二挡板部包括沿Y轴方向并排布设的第三子挡板和第四子挡板。
[0013]优选的是，所述第一子挡板和所述第二子挡板分别沿X轴方向往复移动；所述第三子挡板和所述第四子挡板分别沿Y轴方向往复移动。
[0014]优选的是，所述第一挡板部包括长度方向的夹角呈直角的第一子挡板和第二子挡板；所述第二挡板部包括长度方向的夹角呈直角的第三子挡板和第四子挡板；所述第一子挡板和所述第三子挡板的长度方向平行，所述第二子挡板和所述第四子挡板的长度方向平行。
[0015]优选的是，上述透明导电电极的修补装置还包括:
[0016]控制器；以及
[0017]挡板驱动部，用于在所述控制器的控制下，驱动所述挡板机构移动，以使所述通道(A)的位置与所述待修补电极的位置相对应，并使所述通道(A)的横截面积与所述待修补电极的面积相适配。
[0018]优选的是，所述电极溅射机构包括:
[0019]相对设置的阴极和阳极；
[0020]分别与所述阴极和所述阳极电连接的溅射电源，以在两极间产生电场；以及
[0021]依次设置在所述阴极下方的溅射靶和所述基板。
[0022]优选的是，上述透明导电电极的修补装置还包括用于精密修整所述电极溅射机构输出的电极粒子在所述基板上的沉积形状的激光修整机构。
[0023]优选的是，所述激光修整机构包括:
[0024]激光发生装置；
[0025]长度方向沿X轴方向延伸的第一滑动轴，所述激光发生装置与所述第一滑动轴滑动连接；
[0026]长度方向均沿Y轴方向延伸的第二滑动轴和第三滑动轴，所述第一滑动轴的左端通过第一滑动块与所述第二滑动轴滑动连接，所述第一滑动轴的右端通过第二滑动块与所述第三滑动轴滑动连接；
[0027]驱动所述激光发生装置沿X轴方向往复移动的第一驱动部；以及
[0028]驱动所述第一滑动轴沿Y轴方向往复移动的第二驱动部。
[0029]优选的是，上述透明导电电极的修补装置还包括围绕所述电极溅射机构的电极粒子输出口设置的气体隔绝机构；所述气体隔绝机构包括相间设置的多个吸气口和多个吹气
□ O
[0030]与现有技术相比，上述方案中的一个或多个实施例可以具有如下优点或有益效果:
[0031]应用本发明实施例提供的透明导电电极的修补设备，能够对缺损的透明导电电极进tx精确修补，大幅提尚了液晶显不面板的良品率。
[0032]本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
【附图说明】
[0033]附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例共同用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0034]图1示出了本发明实施例透明导电电极的修补装置的结构示意图；
[0035]图2示出了图1中所示的挡板机构的一种结构示意图；
[0036]图3示出了图1中所示的挡板机构的另一种结构示意图；以及
[0037]图4示出了本发明实施例中激光修整机构的俯视图。
【具体实施方式】
[0038]以下将结合附图及实施例来详细说明本发明的实施方式，借此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题，并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。需要说明的是，只要不构成冲突，本发明中的各个实施例以及各实施例中的各个特征可以相互结合，所形成的技术方案均在本发明的保护范围之内。
[0039]本发明所要解决的技术问题是:现有技术中不存在对缺损的透明导电电极进行精确修补的装置，降低了液晶显示面板的良品率。为解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种透明导电电极的修补装置。
[0040]如图1所示，是本发明实施例透明导电电极的修补装置的结构示意图。本实施例所述的修补装置，主要包括电极溅射机构和挡板机构200。其中，电极溅射机构的主要作用是产生透明导电电极粒子，并使电极粒子沉积在基板104上。挡板机构200的主要作用是调节电极溅射机构输出的电极粒子的覆盖面积。
[0041]具体地，电极溅射机构包括阴极101、阳极102、溅射电源(图中未标号)、溅射靶103和待形成透明导电电极的基板104。其中，阴极101位于阳极102的正上方。阴极101的下表面与阳极102的上表面相对设置。溅射电源的负极和正极分别与阴极101和阳极102电连接。这样，在阴极101和阳极102之间产生垂直的电场。溅射靶103设置在阴极101和阳极102之间。基板104位于溅射靶103和阳极102之间。
[0042]电极溅射机构工作时，工作气体(例如氩气)在电场中形成等离子体。其中正离子轰击低电位的溅射靶103时，透明导电电极粒子(例如ITO粒子)就会脱离溅射靶103。脱离溅射靶103的透明导电电极粒子掉落在位于溅射靶103下方的基板104上，沉积成透明导电膜。
[0043]由于透明导电电极粒子通常是大面积掉落下来的，其面积很难控制。因此，为了提升修补的精度，需要通过增设挡板机构200来调节沉积在目标基板104上的透明导电电极粒子的覆盖面积和覆盖位置。图1中所示的通道A即为透明导电电极粒子的沉积路径。
[0044]图2是图1中所示的挡板机构200的一种结构示意图。本实施例中挡板机构200主要包括控制器(图中未示出)、第一挡板部210、第二挡板部220以及挡板驱动部(图中未示出。挡板驱动部用于在控制器的控制下，根据待修补电极的位置和面积，分别驱动第一挡板部210和第二挡板部220沿X轴和Y轴方向移动。在本实施例中，该挡板驱动部具体包括第一移动部和第二移动部。
[0045]具体地，控制器优选为中央处理器(CPU，Central Processing Unit)、嵌入式处理器、单片机和可编程逻辑控制器(PLC, Programmable Logic Controller)中的一种。
[0046]第一移动部包括第一步进电机及相应的传动部件。第一移动部受控于控制器，以根据基板104上待修补电极在图2所示的X轴方向的位置和尺寸，带动第一挡板部210沿X轴方向(水平方向)移动。第二移动部同样受控于控制器，以根据待修补电极在图2所示的Y轴方向的位置和尺寸，带动第二挡板部220沿Y方向移动。
[0047]在本实施例中，Y轴方向为与X轴方向垂直的方向，但并不用于限定本发明。
[0048]为实现沉积在目标基板104上的透明导电电极粒子的覆盖面积可根据实际待修补面积调节，第一挡板部210和第二挡板部220合围成供透明导电电极粒子通过的通道A(参见图1)。通道A的横截面积和相对于基板104的具体位置均可通过第一挡板部210和第二挡板部220的移动而改变。这样，本实施例所述的透明导电电极的修补装置通过各个挡板部的阻挡作用，来调整电极溅射机构最终输出至目标基板104上的电极粒子的覆盖面积和覆盖位置。