野光阑6、掩模8和基板10相互光学共轭。因此，有效光源分布与在单个点处入射于掩模8的光的角度分布对应。掩模8被穿过狭缝的光照射，并且，掩模8的图案通过投影光学系统9被投影到基板10上。光源单元1A、1B和1C以及照明光学系统20形成照射掩模(照明表面)的照明器件。
[0037]图3A示出沿由箭头表示的方向从图2中的线II1-1II观看的光源单元。从汞灯51发射的光被椭球镜50反射并然后向透镜11A、11B和11C中的对应的一个行进。此时，光的多个部分被冷却喷嘴54A(遮光部件)和电缆53A(遮光部件)遮挡。因此，在有效光源分布中形成冷却喷嘴54A和电缆53A的阴影。图3B示出沿依着沿图2中的线III_III切取的截面的光束的光强度分布。除了具有一定的光强度的区域60以外，圆形的光强度分布还包括电缆53A的阴影63和冷却喷嘴54A的阴影64。因此，有效光源分布包含电缆53A和冷却喷嘴54A的阴影，在阴影处，光强度比区域60中的光强度低。为了简化描述，假定区域60中的光强度为100%，阴影63和64中的光强度为0%。汞灯51的阳极52A也遮挡从汞灯51的发光点发射的光的一部分，使得在有效光源分布的中心处形成阳极52A的阴影62。但是，由于阳极52A是汞灯51的部件，因此，汞灯51的阳极52A的阴影与遮挡从汞灯51发射的光、被椭球镜50反射并且向掩模行进的遮光部件的阴影区分开。
[0038]曝光装置包括三个光源单元1A、1B和1C。由于光源单元1A、1B和1C中的每一个包含冷却喷嘴54A和电缆53A，因此有效光源分布包含光源单元中的每一个的冷却喷嘴54A和电缆53A的阴影。
[0039]首先，描述比较例。图4A和图4B示出比较例。参照图4A，光源单元ΙΑ、1B和1C被布置为使得从光源单元1A、1B和1C发射的光束分别沿其截面具有光强度分布60A、60B和60C。如上所述，光强度分布60A、60B和60C分别包含遮光部件的阴影(黑色区域)。由于当光束从光源单元1A、1B和1C向蝇眼透镜4行进时由透镜和镜子导致的逆转和旋转，如图4B所不，光强度分布60A、60B和60C分别在照明光学系统的瞳面中被转换成光强度分布61A、61B和61C。有效光源分布是光强度分布61A、61B和61C的组合，并且，被定义为通过将光强度分布61A、61B和61C加在一起所获得的光强度分布100A。光强度分布100A包含其中光强度为300%的区域70以及其中光强度为0%的阴影区域71。因此，光强度不均匀。当用具有这种不均匀的有效光源分布的光照射掩模并且通过曝光处理将掩模的图案转印到基板上时，不能获得令人满意的分辨率(光宽度、光宽度均匀性、聚焦、畸变等)。
[0040]下面，描述本实施例的例子。
[0041]第一例子
[0042]参照图5A，光源单元1A、1B和1C被布置为使得从光源单元1A、1B和1C发射的光束分别沿其截面具有光强度分布80A、80B和80C。与比较例类似，光强度分布80A、80B和80C分别包含遮光部件的阴影(黑色区域)。但是，在本例子中，遮光部件的阴影的位置与比较例中的不同。在光强度分布80A、80B和80C中的每一个中，电缆53A的阴影和冷却喷嘴54A的阴影相互分开60°的圆心角度。由于当光束从光源单元1A、1B和1C向蝇眼透镜4行进时由透镜和镜子导致的逆转和旋转，如图5B所示，光强度分布80A、80B和80C在照明光学系统的瞳面中分别被转换成光强度分布81A、81B和81C。有效光源分布是光强度分布81A、81B和81C的组合，并且，被定义为通过将光强度分布81A、81B和81C加在一起所获得的光强度分布100。在光强度分布100中，遮光部件的阴影以60°的相等的圆心角相互分开。
[0043]在本例子中，在照明光学系统的瞳面中的合成光的光强度分布中，包含于光源单元中的一个中的遮光部件的阴影的位置与包含于其它光源单元中的遮光部件的阴影的位置分开。更具体而言，在有效光源分布中，包含于光源单元1A中的遮光部件的阴影83A和84A的位置与包含于光源单元1B中的遮光部件的阴影83B和84B的位置以及与包含于光源单元1C中的遮光部件的阴影83C和84C的位置分开。因此，光强度分布100包含光强度为300%的区域80和光强度为200%的遮光部件的区域85 (黑色区域)。由于阴影的位置以这种方式在有效光源分布中相互分开，因此，提高了有效光源分布中的光强度的均勾性。作为结果，可以抑制由于光源单元的遮光部件的阴影导致的掩模图案的分辨率下降。
[0044]第二例子
[0045]参照图6A，光源单元1A、1B和1C被布置为使得从光源单元1A、1B和1C发射的光束分别沿其截面具有光强度分布90A、90B和90C。光强度分布90A、90B和90C分别包含遮光部件的阴影(黑色区域)。在第一例子中，各光源单元中的冷却喷嘴54A和电缆53A之间的角度为60°。但是，在本例子中，各光源单元的冷却喷嘴54A和电缆53A被布置为彼此相对，即，在它们之间具有180°的角度。因此，在本例子中，遮光部件的阴影的位置与第一例子中的不同。在光强度分布90A、90B和90C中的每一个中，电缆53A的阴影和冷却喷嘴54A的阴影相互分开180°的圆心角。由于当光束从光源单元1A、1B和1C向蝇眼透镜4行进时由透镜和镜子导致的逆转和旋转，如图6B所示，光强度分布90A、90B和90C在照明光学系统的瞳面中分别被转换成光强度分布91A、91B和91C。有效光源分布是光强度分布91A、91B和91C的组合，并且，被定义为通过将光强度分布91A、91B和91C加在一起所获得的光强度分布200。与第一例子中的光强度分布100类似，在光强度分布200中，遮光部件的阴影以60°的相等的圆心角相互分开。
[0046]在本例子中，与第一例子类似，在照明光学系统的瞳面中的合成光的光强度分布中，包含于光源单元中的一个中的遮光部件的阴影的位置与包含于其它光源单元中的遮光部件的阴影的位置分开。更具体而言，在有效光源分布中，包含于光源单元1A中的遮光部件的阴影93A和94A的位置与包含于光源单元1B中的遮光部件的阴影93B和94B的位置以及与包含于光源单元1C中的遮光部件的阴影93C和94C的位置分开。因此，与第一例子类似，提高了有效光源分布中的光强度的均匀性。作为结果，可以抑制掩模图案的分辨率下降。
[0047]在第一例子和第二例子中，照明器件包含多个光源单元。光源单元的数量为三个，并且，包含于各光源单元中的遮光部件的数量为两个。但是，部件的数量不限于此。假定冷却喷嘴54A和电缆53A中的每一个是形成单个阴影的遮光部件且包含于各光源单元中的遮光部件的数量为m(整数)且光源单元的数量为k(整数)。当所有遮光部件的阴影相互分开以不在有效光源分布中重叠时，阴影的数量为n = mXko如图7所示，阴影的位置可以以A = 360° /η的相等圆心角相互分开。
[0048]阴影不一定如图7所示的那样彼此分开确切地相等的圆心角，而是阴影也可彼此分开不同的角度。例如，如图8所示，照明光学系统的瞳面可均匀地分成具有360° /η的圆心角的区域110Α?110F，并且，包含于光源单元中的遮光部件可被布置为使得其阴影单独地设置在各区域中。当有效光源分布中的遮光部件的阴影相互分开大于或等于360° /η的一半即180° /η的圆心角时，阴影不在有效光源分布中局部集中。
[0049]在电流在各光源单元中流动的方向逆转的情况下，阴极和阳极垂直逆转。因此，阳极52Α的冷却喷嘴54Α、与阳极52Α连接的电缆53Α、阴极52Β的冷却喷嘴54Β、以及与阴极52Β连接的电缆53Β的位置从图2中的那些位置垂直逆转。在这种情况下，冷却喷嘴54Β和电缆53Β用作阻挡被椭球镜50反射且向掩模行进的光的遮光部件。
[0050]如在日本专利公开N0.2008-262911中描述的那样，各光源单元可包含其中冷却喷嘴和电缆被集成在一起的部件。图9A示出包括其中