有的激光镭射方案没有设置任何除尘保护装置，粉尘直接掉落于邻近的像素上。而且由于镭射能量较大，粉尘颗粒非常细密，在下游制程的清洗过程中很难清洗除去，反而造成再次污染，导致维修失败。为了解决上述问题，进一步的，所述维修装置还可以包括粉尘吸收装置，粉尘吸收装置设置于所述安装背板10上，并位于激光光束分散部件与平台I之间。如图2a所示，所述粉尘吸收装置包括:粉尘回收器13、粉尘聚集器14和用于产生负压的吸收管16。吸收管16的前端设置有开口，吸收管16的末端与粉尘回收器13相连，能够利用负压吸收激光镭射缺陷点产生的粉尘。粉尘聚集器14呈圆弧状，设置于吸收管16的前端的开口处，用于临时收集激光镭射缺陷点产生的粉尘。
[0083]通过在激光光束分散部件与平台之间设置粉尘吸收装置，利用气流防止粉尘掉落在彩膜基板的表面，粉尘随着气流汇聚在粉尘聚集器内，再通过吸收管进入粉尘回收器，实现粉尘的收集，防止粉尘散落污染彩膜基板上正常的像素区域。
[0084]由于激光镭射异物灰化速度非常快，单独采用吸收管16产生的负压很难将灰化的异物(粉尘)吸收完全，因此，所述粉尘吸收装置还可以包括用于产生气流的吹气管15。优选的，吹气管15呈鸭嘴型，且吹气管15的开口低于吸收管16的前端的开口。
[0085]采用鸭嘴形的、位置低于吸收管16的开口的吹气管15，位于下方的吹气管15产生的气流将产生的粉尘吹起，在灰化的同时造成分成的扰动，防止粉尘掉落在基板膜层表面，同时粉尘可以随着气流汇聚在粉尘聚集器14附近，再在吸收管16的吸力作用下进入粉尘回收器13，实现粉尘的收集，防止粉尘散落，污染基板上的正常像素区域。吸收后的粉尘存储在粉尘回收器13中，定期对其进行清理即可
[0086]优选的，吸收管16开口向下且呈喇叭口状，更有利于粉尘的吸收与收集，使粉尘更易进入吸收管16。
[0087]本发明实施例还提供一种维修系统，如图6所示，所述维修系统包括:检查装置61、控制器62和如前所述的维修装置63。
[0088]检查装置61用于，确定缺陷点的坐标。
[0089]控制器62用于，根据所述缺陷点的坐标，以及用户输入的缺陷点的尺寸，控制维修装置63的激光光束分散部件，在所述缺陷点的上方，将激光发射器发射的激光分散为与所述缺陷点数量相同、大小相等的激光光束。
[0090]维修系统在实际使用中，由检查装置61将所需维修的缺陷点的坐标信息传递给控制器62，用户在控制器62的软体界面上设定缺陷点的尺寸(长、宽、角度)，控制器62根据用户所设定的尺寸控制、调节维修装置63的开口区域的位置和尺寸，形成与所需要修复的缺陷点的尺寸相符合的透光部分。
[0091]具体的，控制器62将用户输入的设置值传送给数据转化装置(即信号转换器，图中未绘示)，数据转化装置将用户的设定值转化为控制指令，并将控制指令传送给第一驱动部6和第二驱动部7，第一驱动部6和第二驱动部7按照指令控制第一挡板组和第二挡板组转动，形成所需要的开口区域。设定完毕后，用户启动激光修复按键，维修部通过控制第一导轨和第二导轨移动，将维修部移动到缺陷点的坐标处的上方，激光发生器3发射激光，激光通过激光光束分散部件后，被分散为若干个激光光束，激光光束通过显微镜9镭射在缺陷点处，对缺陷点进行灰化处理，可以对覆盖多个像素点的缺陷点同时进行维修，大大提升了维修的效率。
[0092]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种维修装置，其特征在于，包括:用于放置彩膜基板的平台和至少一组维修部，维修部设置在平台的上方，包括:激光光束分散部件、用于发射激光的激光发射器和用于聚拢激光的挡板罩； 激光发射器设置于挡板罩的上方，并借助激光传导光纤将激光传导至挡板罩内； 激光光束分散部件设置在挡板罩内，用于将激光发射器发射的激光分散为多个激光光束，以使所述激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点。2.如权利要求1所述的维修装置，其特征在于，所述激光光束分散部件包括相互垂直且高度位置不同的第一挡板组和第二挡板组，第一挡板组包括多个能够转动的第一挡板，第二挡板组包括多个能够转动的第二挡板，第一挡板与第二挡板能够形成多个开口区域，以使激光通过所述开口区域，并被分散为多个激光光束。3.如权利要求2所述的维修装置，其特征在于，所述第一挡板组还包括第一驱动部，第一驱动部与第一挡板相连，用于驱动第一挡板转动，以使两两相邻的第一挡板之间形成狭缝； 所述第二挡板组还包括第二驱动部，第二驱动部与第二挡板相连，用于驱动第二挡板转动，以使两两相邻的第二挡板之间形成狭缝； 两两相邻的第一挡板之间形成的狭缝与两两相邻的第二挡板之间形成狭缝形成所述开口区域，当各第一挡板均处于水平状态时，第一挡板组闭合，当各第二挡板均处于水平状态时，第二挡板组闭合。4.如权利要求3所述的维修装置，其特征在于，各第一挡板的宽度相等，各第二挡板的宽度相等。5.如权利要求3所述的维修装置，其特征在于，在所述挡板罩的侧壁上设置有一组第一滑轨和一组第二滑轨，第一滑轨相对设置于第一挡板的两端的挡板罩的侧壁上，第二滑轨相对设置于第二挡板的两端的侧壁上； 第一滑轨内设置有第一滑块，第一滑块能够在第一滑轨内滑动，设置在第一挡板两端的第一滑块能够分别带动第一挡板的两端向相反方向倾斜； 第二滑轨内设置有第二滑块，第二滑块能够在第二滑轨内滑动，设置在第二挡板两端的第二滑块能够分别带动第二挡板的两端向相反方向倾斜。6.如权利要求2所述的维修装置，其特征在于，还包括显微镜，显微镜设置于所述激光光束分散部件的下方。7.如权利要求1-6任一项所述的维修装置，其特征在于，所述平台的上方设置有至少一个第一导轨和至少一个第二导轨，第一导轨与第二导轨相互垂直，第一导轨能够沿第二导轨移动； 所述激光发射器固定于第一导轨上，所述激光光束分散部件和挡板罩通过安装背板固定于第一导轨上，所述安装背板能够沿第一导轨移动。8.如权利要求7所述的维修装置，其特征在于，所述第二导轨为两个，两个第二导轨平行设置，第一导轨的两端能够分别在所述两个第二导轨上移动； 当所述第一导轨为多个，且各第一导轨上均设置有多个维修部时，各第一导轨上的维修部数量相同且位置对应设置。9.如权利要求7所述的维修装置，其特征在于，所述维修装置还包括粉尘吸收装置，粉尘吸收装置设置于所述安装背板上，并位于所述激光光束分散部件与平台之间，包括:粉尘回收器、粉尘聚集器和用于产生负压的吸收管； 吸收管的前端设置有开口，吸收管的末端与粉尘回收器相连，能够利用负压吸收激光镭射缺陷点产生的粉尘； 粉尘聚集器呈圆弧状，设置于吸收管的前端的开口处，用于临时收集激光镭射缺陷点产生的粉尘。10.如权利要求9所述的维修装置，其特征在于，所述粉尘吸收装置还包括用于产生气流的吹气管，所述吹气管呈鸭嘴型，且所述吹气管的开口低于所述吸收管的开口。11.如权利要求9所述的维修装置，其特征在于，所述吸收管开口向下且呈喇叭口状。12.—种维修系统，其特征在于，包括:检查装置、控制器和如权利要求1-11任一项所述的维修装置， 检查装置用于，确定缺陷点的坐标； 控制器用于，根据所述缺陷点的坐标，以及用户输入的缺陷点的尺寸，控制所述维修装置的激光光束分散部件，在所述缺陷点的上方，将激光发射器发射的激光分散为与所述缺陷点数量相同、大小相等的激光光束。
【专利摘要】本发明提供一种维修装置及系统，利用平台放置彩膜基板，在平台上方利用挡板罩聚拢激光发射器发射的激光，并利用激光光束分散部件将激光分散为多个激光光束，以使各激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点，从而实现利用一个激光源同时镭射彩膜基板上的多个缺陷点，缩短缺陷点的维修时间，提高维修效率；即使一张彩膜基板上存在较多缺陷点，也可以同步维修，避免放弃维修带来的浪费。
【IPC分类】G02F1/13, G02F1/1335
【公开号】CN105572928
【申请号】CN201610150842
【发明人】李娟 , 马光和
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 合肥京东方光电科技有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2016年3月16日