专利名称：高栅控多棱型阴极结构的平板显示器及其制作工艺的制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种高栅控多棱型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。
背景技术：
场致发射平板显示器是一种新型的自发光平板显示设备，具有功耗低、高亮度、宽视角以及响应速度快等优点，公认为是一种理想的平板显示器件。碳纳米管具有小的尖端曲率半径，高的纵横比率以及极高的机械强度，能够呈现出优良的场致发射特性，是一种新型的冷阴极材料。而碳纳米管阴极场致发射显示器就是利用碳纳米管阴极的这种场致发射原理而研制出来的，具有高显示亮度、高显示图像质量、高分辨率等特点，代表着国际平板显示技术领域的发展方向。
目前，在大多数的三极结构场致发射显示器件当中，都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的结构形式。其制作工艺简单，栅极控制作用显著，但是栅极电流偏大，且栅极电压居高不下，这是其不利之处。进一步降低栅极结构的工作电压也是符合低压平板显示器件的质量体系要求的。尽可能的缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，能够有效的降低栅极结构的工作电压；同时，碳纳米管阴极的形状也对所形成的电场强度存在着一定的影响作用。很显然，碳纳米管阴极的形状的曲率越小，也就越能够增强表面顶端的电场强度，这实际上从间接角度来降低了栅极结构的工作电压。此外，还需要尽可能的碳纳米管阴极都参与到电子发射当中来，以便于提高器件的显示亮度。那么，在实际器件的制作过程中，究竟采用何种栅极结构，如何进一步的降低栅极的工作电压，等等，这些都是值得考虑的问题。
此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。
发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的高栅控多棱型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。
本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上设置有阴极导电层、碳纳米管以及高栅控多棱型阴极结构。
所述的高栅控多棱型阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆盘面形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成阴极升高层；阴极升高层呈现三角棱型形状，即阴极升高层的横截面为三角型，长度方向为长条型，依次相邻排列在阴极过渡层的上表面上；阴极升高层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层要布满阴极升高层的上表面；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极过渡层、阴极升高层以及阴极导电层；间隔层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；间隔层的上表面大部分都是平面，但是在圆型孔的周围形成一个倾斜面，即从间隔层的上表面开始，逐渐向下倾斜，直至到达圆型孔的内侧壁位置为止；间隔层倾斜面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制一层；栅极管制一层布满间隔层倾斜面上表面，其前端部分与圆型孔内侧壁平齐；间隔层的上表面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和栅极管制一层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住全部的栅极引线层；附加间隔层靠近圆型孔一侧的前端部分呈现一个半圆型形状；附加间隔层前端半圆型形状在垂直方向上位于间隔层倾斜面的上方，其最前端也不能超越圆型孔内侧壁；附加间隔层前端半圆型形状的表面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制二层；栅极管制二层的底部和栅极管制一层相互连通；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的高栅控多棱型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极导电层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；栅极管制一层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制二层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。
一种高栅控多棱型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)阻滞层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；3)阴极引线层[3]的制作在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；4)阴极过渡层[4]的制作在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；5)阴极升高层[5]的制作在阴极过渡层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；6)阴极导电层[6]的制作在阴极升高层的表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；7)间隔层[7]的制作在阻滞层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；8)栅极管制一层[8]的制作在间隔层倾斜面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制一层；9)栅极引线层[9]的制作在间隔层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；10)附加间隔层[10]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；11)栅极管制二层[11]的制作在附加间隔层前端半圆型形状的表面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制二层；12)高栅控多棱型阴极结构的表面清洁处理对高栅控多棱型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
13)碳纳米管[12]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；14)阳极玻璃面板[13]的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；15)阳极导电层[14]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；16)绝缘浆料层[15]的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；17)荧光粉层[16]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；18)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装配到一起，并将消气剂[19]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；19)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下的积极效果首先，在所述的高栅控多棱型阴极结构中，将碳纳米管制备在了阴极导电层的上面，而阴极导电层则是制作了呈现多棱型形状的阴极升高层的表面上。这样，一方面充分利用了碳纳米管阴极中的边缘位置能够发射大量电子的特有现象，更改了碳纳米管阴极的表面形状，使其能够在较低的电压下发射出大量的电子，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率；另一方面，也极大地增加了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管都参与电子发射，有利于提高器件的显示亮度。
其次，在所述的高栅控多棱型阴极结构中，分别制作了栅极管制一层、栅极管制二层以及栅极引线层结构。其中栅极引线层能够将外界电压传递到器件内部，而栅极管制一层则严格控制着碳纳米管阴极的电子发射，栅极管制二层起着辅助调控碳纳米管阴极电子发射的同时，还能够体现对所发射的电子束进行聚焦的功能。当在栅极结构上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子。有利于进一步提高整体器件的显示分辨率。
此外，在所述的高栅控多棱型阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。
图1给出了高栅控多棱型阴极结构的纵向结构示意图；图2给出了高栅控多棱型阴极结构的横向结构示意图；图3给出了高栅控多棱型阴极结构中阴极的斜视示意图；图4给出了带有高栅控多棱型阴极结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。
所述的高栅控多棱型阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂附属元件[19]。在阴极玻璃面板上有阴极导电层[6]、碳纳米管[12]以及高栅控多棱型阴极结构；所述的高栅控多棱型阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、阴极引线层[3]、阴极过渡层[4]、阴极升高层[5]、阴极导电层[6]、间隔层[7]、栅极管制一层[8]、栅极引线层[9]、附加间隔层[10]、栅极管制二层[11]和碳纳米管[12]部分。
所述的高栅控多棱型阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆盘面形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成阴极升高层；阴极升高层呈现三角棱型形状，即阴极升高层的横截面为三角型，长度方向为长条型，依次相邻排列在阴极过渡层的上表面上；阴极升高层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层要布满阴极升高层的上表面；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极过渡层、阴极升高层以及阴极导电层；间隔层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；间隔层的上表面大部分都是平面，但是在圆型孔的周围形成一个倾斜面，即从间隔层的上表面开始，逐渐向下倾斜，直至到达圆型孔的内侧壁位置为止；间隔层倾斜面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制一层；栅极管制一层布满间隔层倾斜面上表面，其前端部分与圆型孔内侧壁平齐；间隔层的上表面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和栅极管制一层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住全部的栅极引线层；附加间隔层靠近圆型孔一侧的前端部分呈现一个半圆型形状；附加间隔层前端半圆型形状在垂直方向上位于间隔层倾斜面的上方，其最前端也不能超越圆型孔内侧壁；附加间隔层前端半圆型形状的表面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制二层；栅极管制二层的底部和栅极管制一层相互连通；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的高栅控多棱型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极导电层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；栅极管制一层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制二层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。
一种带有高栅控多棱型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)阻滞层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；3)阴极引线层[3]的制作在阻滞层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；
4)阴极过渡层[4]的制作在阴极引线层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成阴极过渡层；5)阴极升高层[5]的制作在阴极过渡层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；6)阴极导电层[6]的制作在阴极升高层的表面上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；7)间隔层[7]的制作在阻滞层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；8)栅极管制一层[8]的制作在间隔层倾斜面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制一层；9)栅极引线层[9]的制作在间隔层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；10)附加间隔层[10]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；11)栅极管制二层[11]的制作在附加间隔层前端半圆型形状的表面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制二层；12)高栅控多棱型阴极结构的表面清洁处理对高栅控多棱型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；13)碳纳米管[12]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；14)碳纳米管的后处理对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；15)阳极玻璃面板[13]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；16)阳极导电层[14]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；17)绝缘浆料层[15]的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；18)荧光粉层[16]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；19)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装配到一起，并将消气剂[19]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；20)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
权利要求
1.一种高栅控多棱型阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂附属元件[19]，其特征在于在阴极玻璃面板上设置有阴极导电层[6]、碳纳米管[12]以及高栅控多棱型阴极结构。
2.根据权利要求1所述的高栅控多棱型阴极结构的平板显示器，其特征在于所述的高栅控多棱型阴极结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆盘面形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成阴极升高层；阴极升高层呈现三角棱型形状，即阴极升高层的横截面为三角型，长度方向为长条型，依次相邻排列在阴极过渡层的上表面上；阴极升高层上表面上刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层要布满阴极升高层的上表面；阻滞层上面印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极过渡层、阴极升高层以及阴极导电层；间隔层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；间隔层的上表面大部分都是平面，在圆型孔的周围形成一个倾斜面，即从间隔层的上表面开始，逐渐向下倾斜，直至到达圆型孔的内侧壁位置为止；间隔层倾斜面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制一层；栅极管制一层布满间隔层倾斜面上表面，其前端部分与圆型孔内侧壁平齐；间隔层的上表面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和栅极管制一层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住全部的栅极引线层；附加间隔层靠近圆型孔一侧的前端部分呈现一个半圆型形状；附加间隔层前端半圆型形状在垂直方向上位于间隔层倾斜面的上方，其最前端也不能超越圆型孔内侧壁；附加间隔层前端半圆型形状的表面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制二层；栅极管制二层的底部和栅极管制一层相互连通；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
3.根据权利要求2所述的高栅控多棱型阴极结构的平板显示器，其特征在于所述的高栅控多棱型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极导电层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层为金属金、银、铜、铝、钼、铬；阴极导电层为金属铁、钴、镍；栅极管制一层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制二层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。
4.一种高栅控多棱型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)阻滞层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；3)阴极引线层[3]的制作在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；4)阴极过渡层[4]的制作在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；5)阴极升高层[5]的制作在阴极过渡层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；6)阴极导电层[6]的制作在阴极升高层的表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；7)间隔层[7]的制作在阻滞层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；8)栅极管制一层[8]的制作在间隔层倾斜面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制一层；9)栅极引线层[9]的制作在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；10)附加间隔层[10]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；11)栅极管制二层[11]的制作在附加间隔层前端半圆型形状的表面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制二层；12)高栅控多棱型阴极结构的表面清洁处理对高栅控多棱型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；13)碳纳米管[12]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；14)阳极玻璃面板[13]的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；15)阳极导电层[14]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；16)绝缘浆料层[15]的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；17)荧光粉层[16]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；18)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装配到一起，并将消气剂[19]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；19)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
5.根据权利要求4所述的高栅控多棱型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度150℃，保持时间5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度580℃，保持时间10分钟。
6.根据权利要求4所述的高栅控多棱型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度120℃，保持时间10分钟。
7.根据权利要求4所述的高栅控多棱型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
全文摘要
本发明涉及一种高栅控多棱型阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及高栅控多棱型阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步增强栅极结构的控制功能和控制效率，提高碳纳米管阴极的电子发射效率，有助于提高器件的显示亮度，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。
文档编号H01J1/46GK101071724SQ20071005458
公开日2007年11月14日 申请日期2007年6月19日 优先权日2007年6月19日
发明者李玉魁 申请人:中原工学院