专利名称：圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺的制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及一种圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺。
背景技术：
碳纳米管阴极的平板场致发射显示器件是一种真空微电子类平板显示设备，它充分利用了碳纳米管阴极的冷场致发射原理，依靠栅极结构的低工作电压使得碳纳米管阴极发射大量的电子，轰击阳极结构中的荧光粉层而发出可见光。这种显示器的工作原理实际上就是阴极射线管显示器工作原理的一种改良，因此它可以达到或者超过阴极射线管显示器的高图像质量效果，但是既能够实现完全平板化，同时还具有了超薄型结构。碳纳米管是一种卷曲的薄薄的石墨层结构，具有小的尖端曲率半径以及极高的纵横比率，具有良好的场致发射特性，是一种性能优良的冷阴极材料。
栅极结构是三极场致发射平板显示器件当中比较关键的控制元件之一，它直接决定着碳纳米管阴极能否进行电子发射，也就是直接决定着整体显示器件能否进行正常发光。当在栅极结构上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大电场强度，迫使碳纳米管阴极发射大量电子。但是，在目前的大多数平板显示器件当中，栅极结构的工作电压都居高不下，很难和常规的集成驱动电路相联系在一起，而制作专用的集成驱动电压只会进一步的提高总体器件成本，这是不符合平板器件质量要求的。那么降低栅极结构的工作电压就成了首要解决的现实问题。缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，当然会进一步降低栅极结构的工作电压，但是同时也会受到绝缘材料性能指标以及制作工艺的约束；改变碳纳米管阴极的宏观形状，使其能够在较低电压下就能够发射大量电子，这也是从间接角度降低栅极工作电压的一个有效途径。因此，在实际器件的制作过程中，究竟采用何种栅极结构形式，以及如何进一步降低栅极结构的工作电压等等问题，都是急需解决的问题。此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。
发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺。
本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及圆台斜面栅控阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件。
所述的圆台斜面栅控阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆盘面型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现圆台斜面型形状，即提升层的底面是一个圆型面，座落于阴极过渡层的上面，提升层的下部分是一个圆柱体，圆柱体上面是一个圆台面，圆台面的下底面直径与圆柱体相同，圆台面的上底面的直径要小于圆柱体的直径，在圆台面的侧面是一个斜坡面；提升层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层仅仅位于圆台斜面型提升层的圆台面侧面上，其它部分则不存在阴极导电层；提升层表面上的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖住圆台面的上底面以及圆柱体的侧面，即除了阴极导电层以外的提升层的表面；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在圆型孔，要暴露出底部的提升层和阴极导电层；间隔层的上表面为平面，和栅极引线层相互接触；间隔层前端部分形成圆型孔的内侧壁，其形状为上部分是一个垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，下部分也是一个垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，中间部分为一个斜坡面，即从上部分圆筒面的底端开始，逐渐向下部分圆筒面倾斜，直至到达下部分圆筒面的顶端位置为止，上部分圆筒面的直径要比下部分圆筒面的直径大；间隔层中圆型孔在间隔层上表面所形成的截面为一个中空的圆型孔；间隔层中圆型孔下部分侧壁圆筒面的高度介于提升层圆台斜面的上表面和下表面之间，也就是说圆型孔内侧壁中间部分斜坡面的末端指向提升层圆台斜面；间隔层圆型孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成栅极管制一层；栅极管制一层位于圆型孔内侧壁上部分圆筒面表面上以及中间部分斜坡面表面上，下部分圆筒面表面上则不存在栅极管制一层；间隔层前端部分印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层覆盖在间隔层前端栅极管制一层的上面，其侧面形成了圆型孔的内侧壁，为一个垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，其直径与原来圆型孔下部分圆筒面的直径相同；附加间隔层的上表面为一个斜坡面，位于圆型孔边缘处位置高，然后依次逐渐向下倾斜，直至到达间隔层的上表面位置为止；附加间隔层的高度要高于间隔层的上表面；附加间隔层上表面斜坡面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制二层；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层、栅极管制一层和栅极管制二层都是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住栅极引线层以及栅极管制二层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的圆台斜面栅控阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；栅极管制一层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制二层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。
一种圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)阻滞层的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；3)阴极引线层的制作在阻滞层上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；4)阴极过渡层的制作在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；5)提升层的制作在阴极过渡层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；6)阴极导电层的制作在提升层圆台面的斜面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；7)阴极覆盖层的制作在提升层除了阴极导电层以外的区域表面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；8)间隔层的制作在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；9)栅极管制一层的制作在间隔层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制一层；10)附加间隔层的制作在间隔层前端部分印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；11)栅极管制二层的制作在附加间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制二层；12)栅极引线层的制作在间隔层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；13)栅极覆盖层的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；14)圆台斜面栅控阴极结构的表面清洁处理对圆台斜面栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；15)碳纳米管的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；16)阳极玻璃面板的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；17)阳极导电层的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；18)绝缘浆料层的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；19)荧光粉层的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；20)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；21)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下的积极效果首先，在所述的圆台斜面栅控阴极结构中，分别制作了栅极管制一层、栅极管制二层以及栅极引线层结构。其中，栅极引线层能够将外界电压传递到器件内部，同时还起到像素点矩阵寻址的功能；栅极管制一层则能够将外界电压转换为碳纳米管阴极表面顶端的强大的电场强度，迫使碳纳米管阴极发射出大量的电子；栅极管制二层则是起到辅助调控碳纳米管阴极电子发射的作用，同时还附带有对所经过的电子束进行聚焦的附加功能。由于栅极管制一层的末端直接指向碳纳米管阴极表面，且可尽可能的接近于碳纳米管阴极，这样就极大地降低了栅极结构的工作电压。
其次，在所述的圆台斜面栅控阴极结构中，将碳纳米管阴极制备在了阴极导电层的上面，而阴极导电层则是制作在了圆台斜面型提升层的斜面上。这样，改变了碳纳米管阴极的形状，充分利用了碳纳米管阴极中边缘位置能够发射大量电子的现象，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率；极大地增加了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管都参与电子发射，有助于提高器件的显示亮度。
此外，在所述的圆台斜面栅控阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。
图1给出了圆台斜面栅控阴极结构的纵向结构示意图；图2给出了圆台斜面栅控阴极结构的横向结构示意图；图3给出了带有圆台斜面栅控阴极结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。
具体实施例方式
如图所示，本发明包括由阳极玻璃面板[15]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[20]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[16]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[18]；在阴极玻璃面板上有阴极导电层[6]、碳纳米管[14]以及圆台斜面栅控阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[19]以及消气剂[21]附属元件。
所述的圆台斜面栅控阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、阴极引线层[3]、阴极过渡层[4]、提升层[5]、阴极导电层[6]、阴极覆盖层[7]、间隔层[8]、栅极管制一层[9]、附加间隔层[10]、栅极管制二层[11]、栅极引线层[12]、栅极覆盖层[13]和碳纳米管[14]部分。
所述的圆台斜面栅控阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆盘面型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现圆台斜面型形状，即提升层的底面是一个圆型面，座落于阴极过渡层的上面，提升层的下部分是一个圆柱体，圆柱体上面是一个圆台面，圆台面的下底面直径与圆柱体相同，圆台面的上底面的直径要小于圆柱体的直径，在圆台面的侧面是一个斜坡面；提升层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层仅仅位于圆台斜面型提升层的圆台面侧面上，其它部分则不存在阴极导电层；提升层表面上的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖住圆台面的上底面以及圆柱体的侧面，即除了阴极导电层以外的提升层的表面；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在圆型孔，要暴露出底部的提升层和阴极导电层；间隔层的上表面为平面，和栅极引线层相互接触；间隔层前端部分形成圆型孔的内侧壁，其形状为上部分是一个垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，下部分也是一个垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，中间部分为一个斜坡面，即从上部分圆筒面的底端开始，逐渐向下部分圆筒面倾斜，直至到达下部分圆筒面的顶端位置为止，上部分圆筒面的直径要比下部分圆筒面的直径大；间隔层中圆型孔在间隔层上表面所形成的截面为一个中空的圆型孔；间隔层中圆型孔下部分侧壁圆筒面的高度介于提升层圆台斜面的上表面和下表面之间，也就是说圆型孔内侧壁中间部分斜坡面的末端指向提升层圆台斜面；间隔层圆型孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成栅极管制一层；栅极管制一层位于圆型孔内侧壁上部分圆筒面表面上以及中间部分斜坡面表面上，下部分圆筒面表面上则不存在栅极管制一层；间隔层前端部分印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层覆盖在间隔层前端栅极管制一层的上面，其侧面形成了圆型孔的内侧壁，为一个垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，其直径与原来圆型孔下部分圆筒面的直径相同；附加间隔层的上表面为一个斜坡面，位于圆型孔边缘处位置高，然后依次逐渐向下倾斜，直至到达间隔层的上表面位置为止；附加间隔层的高度要高于间隔层的上表面；附加间隔层上表面斜坡面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制二层；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层、栅极管制一层和栅极管制二层都是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住栅极引线层以及栅极管制二层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的圆台斜面栅控阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍；栅极管制一层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制二层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；栅极引线层的走向和阴极引线层走向相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。
一种圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]制作对整体平板钠钙玻璃划割，制出阴极玻璃面板；2)阻滞层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；3)阴极引线层[3]的制作在阻滞层上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；4)阴极过渡层[4]的制作在阴极引线层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成阴极过渡层；5)提升层[5]的制作在阴极过渡层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；6)阴极导电层[6]的制作在提升层圆台面的斜面上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；7)阴极覆盖层[7]的制作在提升层除了阴极导电层以外的区域表面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；8)间隔层[8]的制作在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；9)栅极管制一层[9]的制作在间隔层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制一层；10)附加间隔层[10]的制作在间隔层前端部分印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；11)栅极管制二层[11]的制作在附加间隔层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制二层；12)栅极引线层[12]的制作在间隔层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；13)栅极覆盖层[13]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；14)圆台斜面栅控阴极结构的表面清洁处理对圆台斜面栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；15)碳纳米管[14]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；16)碳纳米管的后处理对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；17)阳极玻璃面板[15]制作对整体平板钠钙玻璃划割，制出阳极玻璃面板；18)阳极导电层[16]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；19)绝缘浆料层[17]的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；20)荧光粉层[18]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；21)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[19]和四周玻璃围框[20]装配到一起，并将消气剂[21]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；22)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤19具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤20具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
权利要求
1.一种圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[15]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[20]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[16]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[18]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[19]以及消气剂附属元件[21]；其特征在于在阴极玻璃面板上设置有阴极导电层[6]、碳纳米管[14]以及圆台斜面栅控阴极结构。
2.根据权利要求1所述的圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于所述的圆台斜面栅控阴极结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面刻蚀后金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面刻蚀后金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆盘面型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的银浆层形成提升层；提升层呈现圆台斜面型形状，即提升层底面是圆型面，座落于阴极过渡层上面，提升层下部分是圆柱体，圆柱体上面是圆台面，圆台面下底面直径与圆柱体相同，圆台面上底面直径小于圆柱体直径，圆台面侧面是斜坡面；提升层表面上刻蚀后金属层形成阴极导电层；阴极导电层位于圆台斜面型提升层圆台面侧面上；提升层表面上印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层覆盖住圆台面上底面以及圆柱体侧面，即除了阴极导电层以外提升层的表面；阻滞层上面印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层下表面为平面，覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在圆型孔，暴露出底部提升层和阴极导电层；间隔层上表面为平面，和栅极引线层相互接触；间隔层前端部分形成圆型孔内侧壁，其形状为上部分是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，下部分是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，中间部分为斜坡面，即从上部分圆筒面的底端开始，逐渐向下部分圆筒面倾斜，直至到达下部分圆筒面顶端为止，上部分圆筒面直径要比下部分圆筒面直径大；间隔层中圆型孔在间隔层上表面所形成截面为一个中空的圆型孔；间隔层中圆型孔下部分侧壁圆筒面高度介于提升层圆台斜面上表面和下表面之间，即圆型孔内侧壁中间部分斜坡面末端指向提升层圆台斜面；间隔层圆型孔内侧壁上刻蚀后金属层形成栅极管制一层；栅极管制一层位于圆型孔内侧壁上部分圆筒面表面上以及中间部分斜坡面表面上，下部分圆筒面表面上不存在栅极管制一层；间隔层前端部分印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层覆盖在间隔层前端栅极管制一层上面，其侧面形成圆型孔内侧壁，为垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，其直径与原来圆型孔下部分圆筒面直径相同；附加间隔层上表面为斜坡面，位于圆型孔边缘处位置高，逐渐向下倾斜，直至到达间隔层上表面为止；附加间隔层高度高于间隔层上表面；附加间隔层上表面斜坡面上刻蚀后的金属层形成栅极管制二层；间隔层上表面刻蚀后金属层形成栅极引线层；栅极引线层、栅极管制一层和栅极管制二层都相互连通；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层覆盖栅极引线层以及栅极管制二层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
3.根据权利要求2所述的圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于所述的圆台斜面栅控阴极结构为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层为金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为铁、钴、镍；栅极管制一层为金、银、铝、钼、铬；栅极管制二层为金、银、铝、钼、铬、锡；栅极引线层走向和阴极引线层走向相互垂直；栅极引线层为金、银、铝、钼、铬。
4.一种圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板玻璃划割，制出阴极玻璃面板；2)阻滞层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；3)阴极引线层[3]的制作在阻滞层上制出金属层，刻蚀成阴极引线层；4)阴极过渡层[4]的制作在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；5)提升层[5]的制作在阴极过渡层上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；6)阴极导电层[6]的制作在提升层圆台面斜面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；7)阴极覆盖层[7]的制作在提升层除了阴极导电层以外的区域表面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；8)间隔层[8]的制作在阻滞层上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；9)栅极管制一层[9]的制作在间隔层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制一层；10)附加间隔层[10]的制作在间隔层前端部分印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；11)栅极管制二层[11]的制作在附加间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制二层；12)栅极引线层[12]的制作在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；13)栅极覆盖层[13]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；14)圆台斜面栅控阴极结构的表面清洁处理对圆台斜面栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；15)碳纳米管[14]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；16)阳极玻璃面板[15]的制作对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；17)阳极导电层[16]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；18)绝缘浆料层[17]的制作在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；19)荧光粉层[18]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；20)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[19]和四周玻璃围框[20]装到一起，将消气剂[21]放入空腔中，用低熔点玻璃粉固定；21)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
5.根据权利要求4所述的圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；经过烘烤，烘烤温度150℃，保持时间5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度580℃，保持时间10分钟。
6.根据权利要求4所述的圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度120℃，保持时间10分钟。
7.根据权利要求4所述的圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤21具体为对装配好器件进行封装工艺将样品器件放入烘箱中烘烤；放入烧结炉烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部消气剂进行烤消，加装管脚形成成品件。
全文摘要
本发明涉及一种圆台斜面栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有阴极导电层、碳纳米管以及圆台斜面栅控阴极结构，能进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率和数量，降低栅极的工作电压，有利于进行高质量的平板器件制作，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。
文档编号H01J1/30GK101093774SQ20071005459
公开日2007年12月26日 申请日期2007年6月19日 优先权日2007年6月19日
发明者李玉魁 申请人:中原工学院