专利名称：十字尖型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺的制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种十字尖型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺。
背景技术：
碳纳米管具有小的尖端曲率半径，高的纵横比率，在外加电场强度的作用下能够发射出大量的电子，是一种相当优秀的冷阴极材料。利用碳纳米管作为场致发射阴极材料，可以使场致发射平板显示器变得更薄、更亮、更清晰。碳纳米管阴极的场致发射显示器是一种新型的平板显示设备，可以在便携式计算机、壁挂式彩色电视机、高级数字测试仪、军用头盔系统、火炮系统等方面得到大量应用。这种显示器具有高清晰度、高亮度、高分辨率以及功耗低等特点，业已成为了下一代平板显示设备的发展方向。
目前，大多数的显示器件当中都采取了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的控制模式，这种结构的制作工艺简单，栅极的控制作用比较显著，但是所形成的栅极电流偏大，栅极电压居高不下，这是其不利之处。要想降低栅极结构的工作电压，就需要从各个方面重新构造、采取各种措施来进行改进。可以尽可能的缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，从而降低栅极工作电压，这是最直接的方法，当然也要受到绝缘材料的绝缘等级等方面的限制。另一方面也可以对碳纳米管阴极的形状加以改进，使得碳纳米管阴极能够在较低的工作电压下就能够发射出大量的电子，从而间接的降低了栅极结构的工作电压。此外，还可以对栅极的结构形式以及控制模式等进行变化。降低栅极结构的工作电压是符合低压平板器件的质量体系要求的，也是研究人员的努力方向。那么在实际器件的制作过程中，如何达到上述目标呢，这是应该认真思考的问题。
此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。
发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的十字尖型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺。
本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及十字尖型阴极发射结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件。
所述的十字尖型阴极发射结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆型面形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现十字尖型形状，即中心位置有一个正四边形，正四边形的中心与阴极过渡层的中心相重合，从正四边形的四条边中间分别向外延伸出一个空心箭头，形成一个空心箭头向外的十字型形状；绝缘层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；间隔层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极过渡层以及阴极导电层；间隔层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；间隔层的上表面大部分是平面，但是在靠近圆型孔的附近是一个倾斜面，即从间隔层的上表面开始逐渐向下倾斜，直至到达圆型孔的内侧壁面位置为止；间隔层上倾斜面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层布满间隔层整体倾斜面上表面，其前端部分要向圆型孔内侧平行延伸，呈现悬空状态；调控栅极层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层仅仅覆盖在调控栅极层的上表面，且不包括前端悬空部分调控栅极层在内；附加间隔层的上表面与间隔层的上表面位于同一个高度上；附加间隔层的侧面形成一个垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，其直径与间隔层圆型孔的直径相同，且位于间隔层圆型孔的正上方；附加间隔层的侧面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层位于附加间隔层的侧面，形成一个圆环面，环绕在圆型孔的上方；调控栅极二层与调控栅极层是相互连通的；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的十字尖型阴极发射结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极二层可以为金属金、银、钼、铬、铝；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。
一种十字尖型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)绝缘层的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；3)阴极引线层的制作在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；4)阴极过渡层的制作在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；5)阴极导电层的制作在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；6)间隔层的制作在绝缘层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；7)调控栅极层的制作在间隔层倾斜面上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；8)附加间隔层的制作在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；9)调控栅极二层的制作在附加间隔层的侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极二层；10)栅极引线层的制作在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；11)栅极覆盖层的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；
12)十字尖型阴极发射结构的表面清洁处理对十字尖型阴极发射结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；13)碳纳米管的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；14)阳极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；15)阳极导电层的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；16)绝缘浆料层的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；17)荧光粉层的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；18)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定。
19)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下的积极效果首先，在所述的十字尖型阴极发射结构中，将碳纳米管制备在阴极导电层的上面，而阴极导电层则是呈现空心箭头状的十字型形状。这样，可以极大地增加碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射，有助于提高器件的显示亮度。充分利用了碳纳米管阴极的边缘位置能够发射大量电子的特有现象，有利于进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率。
其次，在所述的十字尖型阴极发射结构中，对栅极结构进行了改进。栅极引线层用于将外界电压传递到器件内部，同时还起到象素点矩阵寻址的功能；而调控栅极层则能够将外界电压转换成碳纳米管阴极表面顶端的强大电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子；调控栅极二层在起到辅助迫使碳纳米管阴极发射电子功能的同时还具有对所经过的电子束进行聚焦的功能。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；此外，在所述的十字尖型阴极发射结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。
图1给出了十字尖型阴极发射结构的纵向结构示意图；图2给出了十字尖型阴极发射结构的横向结构示意图；图3给出了十字尖型阴极发射结构中阴极的俯视示意图；图4给出了带有十字尖型阴极发射结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。
所述的一种带有十字尖型阴极发射结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[10]、碳纳米管[12]以及十字尖型阴极发射结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂[19]附属元件。
所述的十字尖型阴极发射结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、阴极引线层[3]、阴极过渡层[4]、阴极导电层[5]、间隔层[6]、调控栅极层[7]、附加间隔层[8]、调控栅极二层[9]、栅极引线层[10]、栅极覆盖层[11]和碳纳米管[12]部分。
所述的十字尖型阴极发射结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆型面形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现十字尖型形状，即中心位置有一个正四边形，正四边形的中心与阴极过渡层的中心相重合，从正四边形的四条边中间分别向外延伸出一个空心箭头，形成一个空心箭头向外的十字型形状；绝缘层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；间隔层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极过渡层以及阴极导电层；间隔层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；间隔层的上表面大部分是平面，但是在靠近圆型孔的附近是一个倾斜面，即从间隔层的上表面开始逐渐向下倾斜，直至到达圆型孔的内侧壁面位置为止；间隔层上倾斜面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层布满间隔层整体倾斜面上表面，其前端部分要向圆型孔内侧平行延伸，呈现悬空状态；调控栅极层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层仅仅覆盖在调控栅极层的上表面，且不包括前端悬空部分调控栅极层在内；附加间隔层的上表面与间隔层的上表面位于同一个高度上；附加间隔层的侧面形成一个垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，其直径与间隔层圆型孔的直径相同，且位于间隔层圆型孔的正上方；附加间隔层的侧面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层位于附加间隔层的侧面，形成一个圆环面，环绕在圆型孔的上方；调控栅极二层与调控栅极层是相互连通的；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的十字尖型阴极发射结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极二层可以为金属金、银、钼、铬、铝；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。
一种十字尖型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)绝缘层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；3)阴极引线层[3]的制作在绝缘层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；
4)阴极过渡层[4]的制作在阴极引线层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；5)阴极导电层[5]的制作在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；6)间隔层[6]的制作在绝缘层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；7)调控栅极层[7]的制作在间隔层倾斜面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；8)附加间隔层[8]的制作在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；9)调控栅极二层[9]的制作在附加间隔层的侧面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极二层；10)栅极引线层[10]的制作在间隔层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；11)栅极覆盖层[11]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；12)十字尖型阴极发射结构的表面清洁处理对十字尖型阴极发射结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；13)碳纳米管[12]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；14)碳纳米管的后处理对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；15)阳极玻璃面板[13]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；16)阳极导电层[14]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；17)绝缘浆料层[15]的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；18)荧光粉层[16]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；19)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装配到一起，并将消气剂[19]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；20)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
权利要求
1.一种十字尖型阴极发射结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂附属元件[19]，其特征在于在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层[10]、碳纳米管[12]以及十字尖型阴极发射结构。
2.根据权利要求1所述的十字尖型阴极发射结构的平板显示器，其特征在于所述的十字尖型阴极发射结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆型面形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现十字尖型形状，即中心位置有一个正四边形，正四边形的中心与阴极过渡层的中心相重合，从正四边形的四条边中间分别向外延伸出一个空心箭头，形成一个空心箭头向外的十字型形状；绝缘层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；间隔层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极过渡层以及阴极导电层；间隔层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；间隔层的上表面大部分是平面，但是在靠近圆型孔的附近是一个倾斜面，即从间隔层的上表面开始逐渐向下倾斜，直至到达圆型孔的内侧壁面位置为止；间隔层上倾斜面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层布满间隔层整体倾斜面上表面，其前端部分要向圆型孔内侧平行延伸，呈现悬空状态；调控栅极层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层仅仅覆盖在调控栅极层的上表面，且不包括前端悬空部分调控栅极层在内；附加间隔层的上表面与间隔层的上表面位于同一个高度上；附加间隔层的侧面形成一个垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，其直径与间隔层圆型孔的直径相同，且位于间隔层圆型孔的正上方；附加间隔层的侧面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层位于附加间隔层的侧面，形成一个圆环面，环绕在圆型孔的上方；调控栅极二层与调控栅极层是相互连通的；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
3.根据权利要求2所述的十字尖型阴极发射结构的平板显示器，其特征在于所述的十字尖型阴极发射结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极二层为金属金、银、钼、铬、铝；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。
4.一种十字尖型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)绝缘层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；3)阴极引线层[3]的制作在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；4)阴极过渡层[4]的制作在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；5)阴极导电层[5]的制作在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；6)间隔层[6]的制作在绝缘层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；7)调控栅极层[7]的制作在间隔层倾斜面上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；8)附加间隔层[8]的制作在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；9)调控栅极二层[9]的制作在附加间隔层的侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极二层；10)栅极引线层[10]的制作在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；11)栅极覆盖层[11]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；12)十字尖型阴极发射结构的表面清洁处理对十字尖型阴极发射结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；13)碳纳米管[12]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；14)阳极玻璃面板[13]的制作对平板玻璃进行划割，制出阳极玻璃面板；15)阳极导电层[14]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；16)绝缘浆料层[15]的制作在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；17)荧光粉层[16]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；18)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装配到一起，并将消气剂[19]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；19)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
5.根据权利要求4所述的十字尖型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度150℃，保持时间5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度580℃，保持时间10分钟。
6.根据权利要求4所述的十字尖型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度120℃，保持时间10分钟。
7.根据权利要求4所述的十字尖型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
全文摘要
本发明涉及一种十字尖型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及十字尖型阴极发射结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，增强了栅极结构的控制功能，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率，有助于进一步提高器件的显示亮度，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。
文档编号H01J29/04GK101090058SQ20071005458
公开日2007年12月19日 申请日期2007年6月19日 优先权日2007年6月19日
发明者李玉魁 申请人:中原工学院