专利名称：倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器及其制作工艺的制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器及其制作工艺。
背景技术：
随着显示技术的迅速发展，要求显示器要朝向多功能、数字化、完全平板化方向发展，具体来说，现代显示器件正在符合平板化、高密度、高分辨率、节能化、高亮度、全彩色、大屏幕的平板质量体系要求的方向上得到迅猛的前进。利用外加的电压，在阴极表面形成强电场强度，把电子从阴极材料中拉出来，这就是普通意义上的场致发射。碳纳米管是能够进行场致发射的最佳阴极材料，以此为基础进行了碳纳米管阴极场致发射平板显示器的大规模研制。场致发射显示器是一种具有极大应用潜力的新兴平板显示技术设备。
为了降低总体器件成本，以便于和常规的集成驱动电路相联系，制作三极结构的碳纳米管阴极场致发射显示器已经成为了一种必然的选择。但是在目前所制作的平板显示器件当中，普遍都存在着亮度不高、栅极电压居高不下、栅极电流过于偏大以及总体成本高等不利之处，都需要进行进一步的研究和解决。需要尽可能多的碳纳米管阴极都参与电子发射，才能够进一步提高器件的阳极工作电流而提高显示亮度，那么或者增大碳纳米管阴极的电子发射面积，或者进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率，使得同样的碳纳米管阴极能够发射出更多的电子。同样，需要缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，来降低栅极结构的工作电压，避免栅极结构截留吸收过多的电子束，从而降低栅极电流的大小。在实际器件的制作过程中，这些因素都是相互影响相互制约的，需要总体上来考虑，进行全面设计和制作。
此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。
发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器及其制作工艺。
本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及倒置弧形下栅控多面阴极结构。
所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的上表面为平面，下表面要覆盖住栅极引线层；栅极增高层的上表面上存在弧形孔，即弧形孔在栅极增高层上表面所形成的截面为一个中空的圆盘面，此处的直径最大，从栅极增高层的上表面开始，依次逐渐向栅极增高层的内部凹陷，其侧面形成一个向上凸起的弧形面，最后汇聚于栅极增高层的下表面处；栅极增高层的弧形孔底部要暴露出栅极引线层；栅极增高层中弧形孔内侧壁上面的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层布满栅极增高层中弧形孔的内侧壁，并且和栅极引线层是相互连通的；栅极增高层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的上表面为平面，下表面要完全覆盖住栅极增高层以及栅极管制层；间隔层的上表面上存在并合孔，即并合孔在间隔层上表面所形成的截面为一个中空的圆盘型面，并合孔的上部分是一个圆柱体型形状，其内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆柱体的直径与在间隔层上表面所形成的圆盘面的直径相同，圆柱体的下底面高度与栅极增高层的上表面高度相同；间隔层中并合孔的下部分是一个倒置的尖角圆锥型形状，尖角朝向下方，其直径要小于上部分圆柱体的直径，倒置尖角圆锥型形状完全位于圆柱体型形状的下面，并且处于弧形栅极管制层的包围当中；间隔层中并合孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成渡越层；渡越层布满并合孔的内侧壁；渡越层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和渡越层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。
所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；渡越层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。
一种倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器的制作工艺如下1)阴极玻璃面板的制作对整体平板玻璃划割，制作出阴极玻璃面板；2)绝缘层的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；3)栅极引线层的制作在绝缘层上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；4)栅极增高层的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；5)栅极管制层的制作在栅极增高层中弧形孔内侧壁上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制层；6)间隔层的制作在栅极增高层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；7)渡越层的制作在间隔层中并合孔内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成渡越层；8)阴极导电层的制作在渡越层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；9)阴极引线层的制作在间隔层上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；10)阴极覆盖层的制作在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；11)倒置弧形下栅控多面阴极结构的表面清洁处理对倒置弧形下栅控多面阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；12)碳纳米管的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；13)阳极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；14)阳极导电层的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；15)绝缘浆料层的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；16)荧光粉层的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；17)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；18)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下的积极效果首先，在所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构中，将栅极结构制作成对称的弧形形状并且位于碳纳米管阴极结构的下方。当在栅极结构上施加适当电压以后，栅极引线层能够将所施加的外界电压传递到器件内部的栅极管制层上面，而栅极管制层是用于控制碳纳米管阴极电子发射的，这样就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，体现了栅极结构的强大控制功能。由于栅极结构呈现对称的弧形结构，这样就可以能够均匀的将外界电压施加给碳纳米管阴极，确保整体器件发光的均匀性和稳定性。
其次，在所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构中，将碳纳米管制备在了呈现多面结构的阴极导电层的上面。这样，极大地增加了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射；充分利用了碳纳米管阴极中边缘位置能够发射大量电子的现象，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率。缩减了栅极结构和碳纳米管阴极结构二者之间的距离，有效地降低了栅极工作电压。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；此外，在所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。
图1给出了倒置弧形下栅控多面阴极结构的纵向结构示意图；图2给出了倒置弧形下栅控多面阴极结构的横向结构示意图；图3给出了带有倒置弧形下栅控多面阴极结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但并不局限于这些实施例。
所述的一种带有倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[17]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[11]以及倒置弧形下栅控多面阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[16]以及消气剂[18]附属元件。
所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、栅极引线层[3]、栅极增高层[4]、栅极管制层[5]、间隔层[6]、渡越层[7]、阴极导电层[8]、阴极引线层[9]、阴极覆盖层[10]和碳纳米管[11]部分。
所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的上表面为平面，下表面要覆盖住栅极引线层；栅极增高层的上表面上存在弧形孔，即弧形孔在栅极增高层上表面所形成的截面为一个中空的圆盘面，此处直径最大，从栅极增高层的上表面开始，依次逐渐向栅极增高层的内部凹陷，其侧面形成一个向上凸起的弧形面，最后汇聚于栅极增高层的下表面处；栅极增高层的弧形孔底部要暴露出栅极引线层；栅极增高层中弧形孔内侧壁上面的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层布满栅极增高层中弧形孔的内侧壁，并且和栅极引线层是相互连通的；栅极增高层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层上表面为平面，下表面完全覆盖栅极增高层以及栅极管制层；间隔层上表面上存在并合孔，即并合孔在间隔层上表面所形成的截面为一个中空的圆盘型面，并合孔的上部分是一个圆柱体型形状，其内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆柱体的直径与在间隔层上表面所形成的圆盘面的直径相同，圆柱体的下底面高度与栅极增高层的上表面高度相同；间隔层中并合孔的下部分是一个倒置的尖角圆锥型形状，尖角朝向下方，其直径要小于上部分圆柱体的直径，倒置尖角圆锥型形状完全位于圆柱体型形状的下面，并且处于弧形栅极管制层的包围当中；间隔层中并合孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成渡越层；渡越层布满并合孔的内侧壁；渡越层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和渡越层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。
所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；渡越层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。
一种倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器的制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)绝缘层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；3)栅极引线层[3]的制作在绝缘层上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；4)栅极增高层[4]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；5)栅极管制层[5]的制作在栅极增高层中弧形孔内侧壁上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制层；6)间隔层[6]的制作在栅极增高层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；7)渡越层[7]的制作在间隔层中并合孔内侧壁上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成渡越层；
8)阴极导电层[8]的制作在渡越层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；9)阴极引线层[9]的制作在间隔层上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；10)阴极覆盖层[10]的制作在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；11)倒置弧形下栅控多面阴极结构的表面清洁处理对倒置弧形下栅控多面阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；12)碳纳米管[11]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；13)碳纳米管的后处理对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；14)阳极玻璃面板[12]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；15)阳极导电层[13]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；16)绝缘浆料层[14]的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；17)荧光粉层[15]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；18)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[16]和四周玻璃围框[17]装配到一起，并将消气剂[18]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；19)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
权利要求
1.一种倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[17]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[16]以及消气剂附属元件[18]；其特征在于在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层[3]、碳纳米管[11]以及倒置弧形下栅控多面阴极结构。
2.根据权利要求1所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器，其特征在于所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的上表面为平面，下表面要覆盖住栅极引线层；栅极增高层的上表面上存在弧形孔，即弧形孔在栅极增高层上表面所形成的截面为一个中空的圆盘面，此处的直径最大，从栅极增高层的上表面开始，依次逐渐向栅极增高层的内部凹陷，其侧面形成一个向上凸起的弧形面，最后汇聚于栅极增高层的下表面处；栅极增高层的弧形孔底部要暴露出栅极引线层；栅极增高层中弧形孔内侧壁上面的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层布满栅极增高层中弧形孔的内侧壁，并且和栅极引线层是相互连通的；栅极增高层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的上表面为平面，下表面完全覆盖栅极增高层以及栅极管制层；间隔层的上表面上存在并合孔，即并合孔在间隔层上表面所形成的截面为一个中空的圆盘型面，并合孔的上部分是一个圆柱体型形状，其内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆柱体的直径与在间隔层上表面所形成的圆盘面的直径相同，圆柱体的下底面高度与栅极增高层的上表面高度相同；间隔层中并合孔的下部分是一个倒置的尖角圆锥型形状，尖角朝向下方，其直径要小于上部分圆柱体的直径，倒置尖角圆锥型形状完全位于圆柱体型形状的下面，并且处于弧形栅极管制层的包围当中；间隔层中并合孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成渡越层；渡越层布满并合孔的内侧壁；渡越层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和渡越层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。
3.根据权利要求2所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器，其特征在于所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；渡越层为金属金、银、铝、铜、钼、铬；阴极导电层为金属铁、钴、镍。
4.一种倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板玻璃划割，制出阴极玻璃面板；2)绝缘层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；3)栅极引线层[3]的制作在绝缘层上面制备出金属层，刻蚀后形成栅极引线层；4)栅极增高层[4]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；5)栅极管制层[5]的制作在栅极增高层中弧形孔内侧壁上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制层；6)间隔层[6]的制作在栅极增高层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；7)渡越层[7]的制作在间隔层中并合孔内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成渡越层；8)阴极导电层[8]的制作在渡越层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；9)阴极引线层[9]的制作在间隔层上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；10)阴极覆盖层[10]的制作在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；11)倒置弧形下栅控多面阴极结构的表面清洁处理对倒置弧形下栅控多面阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；12)碳纳米管[11]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；13)阳极玻璃面板[12]的制作对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；14)阳极导电层[13]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；15)绝缘浆料层[14]的制作在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；16)荧光粉层[15]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；17)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[16]和四周玻璃围框[17]装配到一起，并将消气剂[18]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；18)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
5.根据权利要求4所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度150℃，保持时间5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度580℃，保持时间10分钟。
6.根据权利要求4所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度120℃，保持时间10分钟。
7.根据权利要求4所述的倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
全文摘要
本发明涉及一种倒置弧形下栅控多面阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及倒置弧形下栅控多面阴极结构；能够有效提高碳纳米管的电子发射效率，降低栅极工作电压，有助于提高器件的制作质量；具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。
文档编号H01J9/02GK101075527SQ20071005459
公开日2007年11月21日 申请日期2007年6月19日 优先权日2007年6月19日
发明者李玉魁 申请人:中原工学院